TH1901007056A - วิธีการผลิตตัวขับเร้าขนาดไมโครชนิดใช้ไฟฟ้าพลังดันซึ่งมีขั้วไฟฟ้าห่อหุ้มอยู่โดยรอบ - Google Patents
วิธีการผลิตตัวขับเร้าขนาดไมโครชนิดใช้ไฟฟ้าพลังดันซึ่งมีขั้วไฟฟ้าห่อหุ้มอยู่โดยรอบInfo
- Publication number
- TH1901007056A TH1901007056A TH1901007056A TH1901007056A TH1901007056A TH 1901007056 A TH1901007056 A TH 1901007056A TH 1901007056 A TH1901007056 A TH 1901007056A TH 1901007056 A TH1901007056 A TH 1901007056A TH 1901007056 A TH1901007056 A TH 1901007056A
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- micro
- around
- page
- actuators
- electrodes
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract 3
- 238000010276 construction Methods 0.000 claims abstract 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims 2
Abstract
------06/02/2563------(OCR) หน้า 1 ของจำนวน 1 หน้า บทสรุปการประดิษฐ์ วิธีการผลิตตัวขับเร้าขนาดไมโครชนิดใช้ไฟฟ้าพลังดันซึ่งมีขั้วไฟฟ้าห่อหุ้มอยู่โดยรอบนั้นจะรวมถึงการสร้างองค์ประกอบที่ใช้ไฟฟ้าพลังดันซึ่งมีขั้วไฟฟ้ากลางขนาดใหญ่อยู่บนหน้าด้าน บนสุดและมีขั้วไฟฟ้าที่ห่อหุ้มอยู่โดยรอบซึ่งมีส่วนที่เป็นหน้าด้านล่าง, ปลายที่อยู่ตรงข้ามกัน สองด้านของอุปกรณ์และส่วนปลายที่อยู่ตรงข้ามกันสองส่วนของหน้าด้านบนสุดจากนั้นอุปกรณ์ ดังกล่าวก็จะถูกตัดผ่านกึ่งกลาง แล้วก็แยกอุปกรณ์นั้นออกเป็นตัวขับเร้าขนาดไมโครชนิดใช้ไฟฟ้าพลังดันแยกกันสองตัวซึ่งต่างก็มีขั้วไฟฟ้าที่ห่อหุ้มอยู่โดยรอบ ------------
Claims (1)
1. วิธีการผลิตตัวขับเร้าขนาดไมโคร โดยที่วิธีการดังกล่าวซึ่งประกอบรวมด้วย: การสร้างเวเฟอร์ที่หนึ่งอย่างน้อยหนึ่งอันซึ่งทำด้วยวัสดุไฟฟ้าพลังดันที่มีส่วนที่เป็นขั้วไฟฟ้าหนึ่งตัวหรือมากกว่านั้น; การสร้างแถบยาวหนึ่งแถบหรือมากกว่านั้นซึ่งทำด้วยวัสดุไฟฟ้าพลังดันจากเวเฟอร์ที่หนึ่งซึ่งทำด้วยวัสดุไฟฟ้าพลังดัน;แท็ก :
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH1901007056A true TH1901007056A (th) | 2021-03-15 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| ATE349099T1 (de) | Diodenanordnung | |
| JP2014179616A5 (th) | ||
| EP3260953A3 (en) | Localized and/or encapsulated haptic actuators and elements | |
| CA3086621A1 (en) | Stator unit and stator module | |
| EA201692178A1 (ru) | Электрический соединительный элемент для контактирования электропроводной структуры на подложке | |
| JP2014211631A5 (th) | ||
| US11532287B2 (en) | Electrode drive circuit of a microfluidic apparatus, a microfluidic apparatus and a drive method | |
| JP6243674B2 (ja) | マイクロエレクトロメカニカルシステム（ｍｅｍｓ）スイッチを作動させるためのゲート回路を含むスイッチング装置 | |
| TH1901007056A (th) | วิธีการผลิตตัวขับเร้าขนาดไมโครชนิดใช้ไฟฟ้าพลังดันซึ่งมีขั้วไฟฟ้าห่อหุ้มอยู่โดยรอบ | |
| US9379112B2 (en) | Integrated circuit with transistor array and layout method thereof | |
| RU2018104316A (ru) | Фотопроводящая антенная решетка | |
| JP2005164595A (ja) | 生体分子の分離、輸送、および集中のための進行波グリッド | |
| FR3046675B1 (fr) | Convertisseur electromecanique et son procede de fabrication | |
| JP2017507353A5 (th) | ||
| TW200717992A (en) | Electrostatic actuator and its drive method | |
| JP4304181B2 (ja) | 半導体装置 | |
| JP6315447B2 (ja) | 圧電アクチュエータ | |
| TH1901004143A (th) | โครงสร้างชุดพิกเซลและวิธีการผลิตโครงสร้างนั้น | |
| TH177801A (th) | หน่วยความจำแบบโปร่งแสงที่เตรียมได้จากวิธีการประกบรีดด้วยความร้อน | |
| US9748445B2 (en) | Light emitting diode (LED) die module, LED element with the LED die module and method of manufacturing the LED die module | |
| ES2173719T3 (es) | Organo de accionamiento piezoelectrico paso a paso. | |
| KR102156239B1 (ko) | 유전영동기반 입자 채집 장치용 전극 | |
| JP2013128138A5 (th) | ||
| TH160603A (th) | อุปกรณ์เชิงแสงที่ว่องไวเชิงไฟฟ้า | |
| WO2000077510A3 (de) | Verfahren und vorrichtung zur gelelektrophorese |