1. แหล่งพลาสมาชนิดแคโทดกลวง (hollow cathode plasma source) ซึ่งประกอบรวมด้วย ขั้วไฟฟ้า (electrode) ที่หนึ่ง (1) และขั้วไฟฟ้าที่สอง (2) ขั้วไฟฟ้าแต่ละขั้วประกอบรวมด้วยโพรง ยาว (elongated cavity) (4) ที่ซึ่งแคโทดยาวขนานกันไปเป็นอย่างยิ่ง ที่ซึ่งขั้วไฟฟ้าที่หนึ่งและที่สอง (1,2) ทั้งสองขั้วมีทางเข้าแก๊ส (gas inlet) สำหรับแก๊สที่เกิด เป็นพลาสมา (plasma formin1. A hollow cathode plasma source, which is composed of one (1) electrode and the second (2) electrode. ) Where the cathodes are extremely parallel to each other. Where the first and second (1,2) electrodes, both of which have a gas inlet for a plasma formin
TH1701003079A2014-12-05
Hollow cathode type plasma source
TH1701003079A
(en)