TH168080B - วิธีสร้างของชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlc วิธีสร้างฟิล์ม dlc ตลอดจนชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlc - Google Patents
วิธีสร้างของชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlc วิธีสร้างฟิล์ม dlc ตลอดจนชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlcInfo
- Publication number
- TH168080B TH168080B TH1601002428A TH1601002428A TH168080B TH 168080 B TH168080 B TH 168080B TH 1601002428 A TH1601002428 A TH 1601002428A TH 1601002428 A TH1601002428 A TH 1601002428A TH 168080 B TH168080 B TH 168080B
- Authority
- TH
- Thailand
- Prior art keywords
- base material
- dlc film
- film
- layer
- center layer
- Prior art date
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title 1
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract 8
- 229910034327 TiC Inorganic materials 0.000 claims abstract 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract 2
- 238000005755 formation reaction Methods 0.000 claims abstract 2
Abstract
วิธีสร้างชั้นกึ่งกลางซึ่งใช้วิธี PVD ทำการสร้างชั้นกึ่งกลางที่ถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับ ฟิล์ม DLC ที่ซึ่งมีกระบวนการสร้างฟิล์มชั้น Ti ซึ่งสร้างฟิล์มชั้น Ti บนวัสดุฐาน กับกระบวนการสร้าง ฟิล์มชั้น TiC ซึ่งสร้างฟิล์ม TiC บนชั้น Ti โดยในกระบวนการสร้างฟิล์มชั้น Ti ทำการจ่ายก็าซ Ar ซึ่ง วัสดุฐานถูกขนส่งเข้า กำหนดความดันสร้างฟิล์มให้เป็นความดันภายใขอบเขต 0.4Pa ขึ้นไปและไม่ เกิน 1Pa แล้วทำการสร้างฟิล์มของชั้น Ti ในกระบวนการสร้างฟิล์มชั้น TiC ทำหารจ่ายก๊าซ Ar กับก๊าซ CH4 เข้าภายในห้องดังกล่าว กำหนดความดันสร้างฟิล์มให้เป็นความดันภายในของเขต 0.2Pa ขึ้นไป และต่ำกว่า 0.4Pa ทำการจ่ายแรงดันไฟฟ้าไบอัสที่ 2 ซึ่งเป็นแรงดันไฟฟ้าสูงกว่าแรงดันไฟฟ้าไบอัสที่ 1 ที่จ่ายให้กับวัสดุฐานในการะบวนการสร้างฟิล์มชั้น Ti และเป็นแรงดันไฟฟ้าไบอัสสูงกว่า -100V ให้กับ วัสดุฐาน แล้วทำการสร้างฟิล์มของชั้น TiC
Claims (1)
1. วิธีการสร้างชั้นกึ่งกลางซึ่งใช้วิธี PVD ทำการสร้างชั้นกึ่งกลางที่ถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับ ฟิล์ม DLC ที่ซึ่งมี กระบวนการสร้างฟิล์ม Ti ซึ่งสร้างฟิล์มชั้น Ti บนวัสดุฐาน และ กระบวนการสร้างฟิล์มชั้น TiC ซึ่งสร้างฟิล์มชั้น TiC บนชั้น Ti ดังกล่าว โดยในกระบวน
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| TH168080A TH168080A (th) | 2017-09-21 |
| TH1601002428A TH1601002428A (th) | 2017-09-21 |
| TH168080B true TH168080B (th) | 2017-09-21 |
Family
ID=
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| USD883632S1 (en) | Shoe | |
| MX2013007971A (es) | Elemento deslizante, en particular un aro de piston, que tiene un recubrimiento, y procedimiento para la produccion de un elemento deslizante. | |
| EA201691333A1 (ru) | Способ изготовления облицованного шпоном элемента | |
| PH12017500284B1 (en) | Protective coating-forming sheet and method for manufacturing semiconductor chip provided with protective coating | |
| ES2721163T3 (es) | Proceso para la producción por capas de una pieza de trabajo metálica mediante fabricación aditiva asistida por láser | |
| MX2017002432A (es) | Semirremolque refrigerado compuesto y metodo de elaboracion del mismo. | |
| MX2016005907A (es) | Metodo de formacion de la capa intermedia formada entre el material base y la pelicula dlc, metodo de formacion de la pelicula dlc, y capa intermedia formada entre el material base y la pelicula dlc. | |
| UY36135A (es) | ?un método para la fabricación de un material de superficie modificada, un material de superficie modificada y su uso? | |
| UA115101C2 (uk) | Спосіб виготовлення декорованої стінової або підлогової панелі | |
| BR112017027420A2 (pt) | artigo abrasivo e método de formação | |
| EP3734678A4 (en) | PEROWSKIT FILM LAYER, DEVICE, AND MANUFACTURING METHOD FOR EFFECTIVELY IMPROVING THE EFFICIENCY OF A LIGHT EMITTING DEVICE | |
| PH12016501335B1 (en) | Composite sheet for protective-film formation | |
| MX2018003227A (es) | Producto manufacturado para recubrir superficies y procedimientos relacionados de realizacion y colocacion. | |
| WO2018101743A3 (ko) | 적층체 | |
| CA158398S (en) | Film used to make packages | |
| AR101368A1 (es) | Forma cristalina de sofosbuvir y proceso para su preparación | |
| MX2016015711A (es) | Tubo altamente decorado, especialmente tubo laminado altamente decorado. | |
| TW201612956A (en) | Method of depositing a layer, method of manufacturing a transistor, layer stack for an electronic device, and an electronic device | |
| AR117302A1 (es) | Elemento tatuable para ornamentar objetos de moda o decoración | |
| TW201612137A (en) | Method for producing double-sided metallized ceramic substrates | |
| TW201612353A (en) | Method of manufacturing nitride semiconductor template | |
| TH168080B (th) | วิธีสร้างของชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlc วิธีสร้างฟิล์ม dlc ตลอดจนชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlc | |
| TH168080A (th) | วิธีสร้างของชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlc วิธีสร้างฟิล์ม dlc ตลอดจนชั้นกึ่งกลางซึ่งถูกสร้างขึ้นระหว่างวัสดุฐานกับฟิล์ม dlc | |
| USD795734S1 (en) | Holiday nipper ornament | |
| JP2017110293A5 (th) |