TH160749ATH1501007950ATH1501007950ATH160749ATH 160749 ATH160749 ATH 160749ATH 1501007950 ATH1501007950 ATH 1501007950ATH 1501007950 ATH1501007950 ATH 1501007950ATH 160749 ATH160749 ATH 160749A
การประดิษฐ์นี้เกี่ยวข้องกับวิธีการสำหรับเคลือบชิ้นงานที่ประกอบรวมด้วยขั้นตอนต่อไปนี้ การอัดประจุห้องเคลือบสารด้วยชิ้นงานที่จะทำการเคลือบ; การปิดและดูดอากาศออกจากห้องเคลือบ สารให้ได้ตามแรงดันการทำงานที่กำหนด; การเริ่มใช้งานแหล่งกำเนิดการเคลือบ ซึ่งประกอบรวม ด้วย เป้าหมายซึ่งเป็นวัสดุต้นกำเนิด โดยที่อนุภาคจะถูกเร่งจากผิวหน้าของเป้าหมายในทิศทางของ ซับสเตรต โดยมีลักษณะเฉพาะคือ จะมีการป้องกันระหว่างผิวหน้าเป้าหมายกับซับสเตรต จนกว่า เป้าหมายจะได้รับการปรับสภาพ ซับสเตรตที่จะถูกเคลือบจะขึ้นอยู่กับการเตรียมการปรับคุณสมบัติ อย่างน้อยเป็นบางส่วนในขณะนั้น: This invention involves a method for coating the workpiece that is assembled with the following steps. Charging the coating chamber with the workpiece to be coated; Closing and sucking air from the coating chamber The substance is supplied according to the rated working pressure; Initial use of coating sources Which includes the target, the source material Where the particles are accelerated from the surface of the target in the direction of the substrate, characterized by There will be protection between the target surface and the substrate until the target has been conditioned. The substrate to be coated will depend on the preparation for qualification. At least in part at that moment:
Claims (1)
1. วิธีการสำหรับการเคลือบชิ้นงานที่ประกอบรวมด้วยขั้นตอนต่อไปนี้: - การอัดประจุห้องเคลือบสารด้วยชิ้นงานที่จะทำการเคลือบ; - การปิดและดูดอากาศออกจากห้องเคลือบสารให้ได้ตามแรงดันการทำงานที่กำหนด; - การเริ่มใช้งานแหล่งกำเนิดการเคลือบ ซึ่งประกอบรวมด้วย เป้าหมายซึ่งเป็นวัสดุต้น กำเนิด โดยที่อนุภาคจะถูกเร่งจากผิวหน้าของเป้าหมายไปยังซับวเตรต โดยมีลักษณะเฉพาะคือ จนกว่าเป้าหมายจะได้รับการปรับสภาพ จะมีการป้องกันระหว่าง ผิวหน้าเป้าหมายกับซับสเตรต โดยที่ในขณะนั้น ซัแท็ก :1. A method for coating the workpiece consists of the following steps: - Charging the coating chamber with the workpiece to be coated; - shutting down and sucking air from the coating chamber to the specified operating pressure; - Initialization of the source of coatings Which includes Target, the source material through which the particles are accelerated from the target surface to the substrate With unique characteristics Until the target has been conditioned There will be protection between Target surface and substrate Where at that moment the tag: