TH145803A

TH145803A - เครื่องพลาสมา cvd, วิธีการทำพลาสมา cvd, เครื่องสปัตเตอริงแบบทำปฏิกิริยาและวิธีทำสปัตเตอริงแบบทำปฏิกิริยา

Info

Publication number: TH145803A
Application number: TH1301005593A
Authority: TH
Inventors: เอจิริ นายฮิดรเอะ; ซาคาโมโตะ นายเคอิทาโระ; โนมูระ นายฟูมิยาซุ; อุเอดะ นายมาซาโนริ
Original assignee: นางสาวยิ่งลักษณ์ ไกรฤกษ์; นางสาวปวริศา อุดมธนภัทร; นางสาววรรษิกา ฟักมีทอง
Filing date: 2012-02-14
Publication date: 2016-03-04

Abstract

DC60 (30/09/56) เครื่องพลาสมา CVD ซึ่งในบรรจุภัณฑ์สุญญากาศมีโรลหลักและขั้วไฟฟ้ากำเนิดพลาสมา และเป็นเครื่องสร้างฟิล์มสุญญากาศโดยการลำเลียงวัสดุพื้นแบบผืนยาวไปบนผิวหน้าโรลหลักดัง กล่าวพร้อมกับสร้างฟิล์มบางบนผิวหน้าของวัสดุพื้นแบบผืนยาวดังกล่าว บริเวณที่สร้างฟิล์มซึ่งถูก ประกบด้วยโรลหลักดังกล่าวดังกล่าวและขั้วไฟฟ้ากำเนิดพลาสมาดังกล่าวนั้น จะถูกล้อมกรอบที่ต้น ทางและปลายทางของทิศทางการลำเลียงของวัสดุพื้นแบบผืนยาวดังกล่าว โดยการติดตั้งผนังด้านข้าง ที่ทิศทางตามความกว้างวัสดุพื้นแบบผืนยาวดังกล่าวอย่างละหนึ่งแผ่นเพื่อล้อมกรอบบริเวณที่สร้าง ฟิล์มดังกล่าว โดยที่ผนังด้านข้างดังกล่าวถูกปิดกั้นทางฉนวนไฟฟ้าจากขั้วไฟฟ้ากำเนิดพลาสมาดัง กล่าว และมีแถวของรูป้อนก๊าซซึ่งมีรูป้อนก๊าซหลายรูเรียงเดี่ยวบนผนังด้านข้างด้านใดด้านหนึ่งของต้น ทางและปลายทางของทิศทางการลำเลียงของวัสดุพื้นแบบผืนยาวดังกล่าวไม่ต่ำกว่า 1 แถว เครื่องพลาสมา CVD ซึ่งในบรรจุภัณฑ์สุญญากาศมีโรลหลักและขั้วไฟฟ้ากำเนิดพลาสมา และเป็นเครื่องสร้างฟิล์มสุญญากาศโยการลำเลียงวัสดุพื้นแบบผืนยาวไปบนผิวหน้าโรลหลักดัง กล่าวพร้อมกับสร้างฟิล์มบางบนผิวหน้าของวัสดุพื้นแบบผืนยาวดังกล่าว บริเวณที่สร้างฟิล์มซึ่งถูก ประกบด้วยโรลหลักดังกล่าวดังกล่าวและขั้วไฟฟ้ากำเนิดพลาสมาดังกล่าวนั้น จะถูกล้อมกรอบที่ต้น ทางและปลายทางของทิศทางการลำเลียงของวัสดุพื้นแบบผืนยางดังกล่าว โดยการติดตั้งผนังด้านข้าง ที่ทิศทางตามความกว้างวัสดุพื้นแบบผืนยาวดังกล่าวอย่างละหนึ่งแผ่นเพื่อล้อมกรอบบริเวณที่สร้าง ฟิล์มดังกล่าว โดยที่ผนังด้านข้างดังกล่าวถูกปิดกั้นทางฉนวนไฟฟ้าจากขั้วไฟฟ้ากำเนินพลาสมาดัง กล่าว และมีแถวของรูป้อนก๊าซซึ่งมีรูป้อนก๊าซหลายรูเรียงเดี่ยวบนผนังด้านข้างด้านใดด้านหนึ่งของต้น ทางและปลายทางของทิศทางการาลำเลียงของวัสดุพื้นแบบผืนยาวดังกล่าวไม่ต่ำกว่า 1 แถว

Claims

1. เครื่องพลาสมา CVD ซึ่งเป็นเครื่องพลาสมา CVD ที่ประกอบไปด้วยโรลหลักและขั้วไฟฟ้า กำเนิดพลาสมาในบรรจุภัณฑ์สุญญากาศ โดยทำการส่งวัสดุพื้นแบบผืนยาวนานไปบนผิว หน้าของโรลหลักดังกล่าวพร้อมกับทำการสร้างฟิล์มบางบนผิวหน้าของวัสดุพื้นแบบผืนยาวดัง กล่าว บริเวณที่สร้างฟิล์มซึ่งถูกประกบด้วยโรลหลักดังกล่าวและขั้วไฟฟ้ากำเนิดพลาสมาดัง กล่าวนั้นจะถูกล้อมกรอบที่ต้นทางและปลายทางของทิศทางการลำเลียงของวัสดุพื้นแบบผืน ยาวดังกล่าว โดยการติดตั้งผนังด้านข้างที่ทอดตัวในทิศทางตแท็ก :