TH143206A - Device for Cleaning an Encapsulating Device for Electronic Components - Google Patents

Device for Cleaning an Encapsulating Device for Electronic Components

Info

Publication number
TH143206A
TH143206A TH1401000233A TH1401000233A TH143206A TH 143206 A TH143206 A TH 143206A TH 1401000233 A TH1401000233 A TH 1401000233A TH 1401000233 A TH1401000233 A TH 1401000233A TH 143206 A TH143206 A TH 143206A
Authority
TH
Thailand
Prior art keywords
components
exposed
brush
protruding
encapsulation
Prior art date
Application number
TH1401000233A
Other languages
Thai (th)
Other versions
TH67643B (en
TH1401000233B (en
Inventor
เวนรุยจ์
แลมเบอร์ตัส เจอราดัส มาเรีย โรฮานเนส
เดรล เวน
ฟรานซิสซัส เจอราดัส อัลเบอร์ตัส
Original Assignee
นายปรารถนา อุบลสุวรรณ
ว่าที่ ร.ต.วินยาธกร ใจเอก
Filing date
Publication date
Application filed by นายปรารถนา อุบลสุวรรณ, ว่าที่ ร.ต.วินยาธกร ใจเอก filed Critical นายปรารถนา อุบลสุวรรณ
Publication of TH143206A publication Critical patent/TH143206A/en
Publication of TH1401000233B publication Critical patent/TH1401000233B/en
Publication of TH67643B publication Critical patent/TH67643B/en

Links

Abstract

DC60 (14/01/57) การประดิษฐ์เกี่ยวข้องกับส่วนประกอบ (2) สำหรับการทำความสะอาดอุปกรณ์ห่อหุ้ม(1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ซึ่งประกอบด้วยแปรง (13) ที่มีส่วนประกอบของแปรง (14), ตัวขับเคลื่อน (16) สำหรับการย้ายแปรง (13), ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10) และอุปกรณ์ ดูด (12) การประดิษฐ์เกี่ยวข้องเพิ่มเติมด้วยเช่นกันกับอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบ อิเล็กทรอนิกส์ที่จัดให้มีด้วยส่วนประกอบในการทำความสะอาด (2) เช่นนี้และสู่วิธีการสำหรับการ ทำความสะอาดอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ การประดิษฐ์เกี่ยวข้องกับส่วนประกอบ(2)สำหรับการทำความสะอาดอุปกรณ์ห่อหุ้ม(1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ซึ่งประกอบด้วยแปรง(13)ที่มีส่วนประกอบของแปรง(14), ตัวขับเคลื่อน(16)สำหรับการาย้ายแปรง(13),ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา(10)และอุปกรณ์ ดูด(12)การประดิษฐ์เกี่ยวข้องเพิ่มเติมด้วยเช่นกันกับอุปกรณ์ห่อหุ้ม(1)สำหรับส่วนประกอบ อิเล็กทรอนิกส์ที่จัดให้มีด้วยส่วนประกอบในการทความสะอาด(2)เช่นนี้และสู่วิธีการสำหรับการ ทำความสะอาดอุปกรณ์ห่อหุ้ม(1)สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ DC60 (14/01/57) invention involves components (2) for cleaning the encapsulation device (1) for electronic components consisting of brushes (13) with brush assembly (14), drive (16) for Moving brushes (13), protruding contact components (10) and suction devices (12) the invention is also related to the encapsulation device (1) for components. Electronic equipment provided with such cleaning components (2) and to means for Clean encapsulation devices (1) for electronic components. The invention involves components (2) for cleaning the encapsulation device (1) for electronic components consisting of a brush (13) with a brush assembly (14), a drive (16) for moving the brush (13), Protruding exposed components (10) and devices Suction (12) The invention involves additionally with the encapsulation device (1) for the components. Electronic components are provided with such cleaning components (2) and the means for Clean encapsulation devices (1) for electronic components.

Claims (1)

ข้อถือสิทธฺ์ (ทั้งหมด) ซึ่งจะไม่ปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา :------12/07/2561------(OCR) หน้า 1 ของจำนวน 3 หน้า ข้อถือสิทธิ 1.อุปกรณ์สำหรับทำความสะอาดอุปกรณ์ห่อหุ้มสำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ที่ประกอบรวมด้วย อุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ และ ส่วนประกอบในการทำความสะอาด (2) ซึ่งประกอบรวมด้วย: -แปรง (13, 14, 30) ที่จัดให้มีด้วยส่วนประกอบแปรงจำนวนหนํ่ง (15, 31) -ตัวขับเคลื่อน (16, 17, 36) สำหรับการย้ายแปรง (13, 14, 30) สัมพันธ์กับอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ -ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) และ - อุปกรณ์ลูดที่จัดให้มีด้วยปลายเปิดในการดูดอย่างน้อยหนํ่งแห่ง (12, 26, 27, 33, 42, 55, 56) ที่วางตำแหน่งชิดกับส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) โดยที่ตัว ขับเคลื่อน (16, 17, 36) ถูกตัดแปลงเพื่อเคลื่อนย้ายแปรง (13, 14, 30) ไปตามส่วนประกอบที่สัมผัส ที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) ตังนั้นส่วนประกอบแปรงที่ยื่นออกมา (15, 31) ถูกย้ายสัมพันธ์ กันโดยส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) ที่ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) ถูกจับคู\'กับอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับ ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ และปลายเปิดในการดูดนั้น (12, 26, 27, 33, 42, 55, 56) ถูกจัดเรืยงบน ด้านตรงข้ามของส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) 2.อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ส่วนประกอบ แปรง (15, 31) เป็นขน (31) 3. อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 2 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ฃน (31) ถูกผลิต จากพลาสติก 4.อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) ยืดยาว 5.อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32,41,50) ทำเป็นหลายรูปแบบ (52, 53, 54) 6.อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ แปรง (13, 14, 30) มีรูปแบบที่ยืดยาวจากสิ่งซึ่งเคลื่อนที่ได้ในทิศทางตามยาวสัมพันธ์กับส่วนประกอบที่สัมผัส ที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) 7.อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ตัวขับ (16, 17, 36) ประกอบรวมด้วยมอเตอร์ไฟท้เาอย่างน้อยที่สุดหนื่งเครื่อง (16) 8.อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่แปรง (13, 14, 30) ถูกจัดให้มีด้วยปลายเปิดในการจ่ายอย่างน้อยที่สุดหนํ่งแห่ง (34, 35) สำหรับก๊าซ หน้า 2 ของจำนวน 3 หน้า 9.อุปกรณ์ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 1 หรือ 2 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ ส่วนประกอบในการทำความสะอาด (2) ถูกจัดให้มีด้วยเช่นกันด้วยเครื่องมือสร้างไอออน 1 0.อุปกรณ์ชื่งประกอบรวมด้วยอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ที่ จัดให้มีด้วยส่วนประกอบในการทำความสะอาด (2) ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิข้อใดข้อหนื่งของ ข้อถือสิทธิก่อนหน้า โดยที่อุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ถูกจัดให้มีด้วย -ชิ้นส่วนแม่พิมพ์อย่างน้อยที่สุดสองชิ้น(3,20)เคลื่อนย้ายได้สัมพันธ์กันและคัดแปลงเพื่อ ผูกมัดส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการห่อหุ้มและ - เครื่องมือ!เอน (8, 9) สำหรับวัสดุในการห่อหุ้มซงเชื่อมต่อกับช่องของแม่พิมพ์ (7) ที่ระบุ โดยชิ้นส่วนแม่พิมพ์(3, 20) และการโอบล้อมส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์สำหรับการห่อหุ้ม 1 1.อุปกรณ์ซื่งประกอบรวมด้วยอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 10 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10,24,25, 32,41, 50)ยื่นออกมาด้านนอกพื้นผิวสัมผัส (11, 51) ของหนงในชิ้นส่วนแม่พิมพ์(3, 20) 1 2.อุปกรณ์ซงประกอบรวมด้วยอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 10หรือ11 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่อุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับ ส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ ประกอบรวมด้วยจำนวนมากกว่าหนงของส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่น ออกมา(10,24,25,32,41,50) 1 3. วิธีการสำหรับการทำความสะอาดอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบ อิเล็กทรอนิกส์ ซํ่งประกอบรวมด้วยขั้นตอนการผ่านกระบวนการ A)การทำความสะอาดด้านที่สัมผัสของชิ้นส่วนแม่พิมพ์(3, 20) ของอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์โดยการย้ายที่สัมพันธ์ของแปรง (13, 14, 30) B)การนำแปรง (13, 14, 30) มาสัมผัสกับส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) ซื่งถูกจับคู่กับอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1) สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์และการเคลื่อน แปรง (13, 14, 30) สัมพันธ์กับส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) ดังนั้น ส่วนประกอบแปรง (15, 31) ของแปรง (13, 14, 30) ถูกแตะโดยส่วนประกอบที่สัมผัส (10, 24, 25, 32, 41, 50) และส่วนประกอบแปรง (15, 31) ย้ายสัมพันธ์กัน และ C)การดูดออก อากาศแวดล้อมบนด้านตรงข้ามของส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50), อย่างน้อยที่สุดขณะที่ปฎิปติขั้นตอนการผ่านกระบวนการ B), ดังนั้นอากาศถูก ระบาย ที่ตำแหน่งของส่วนประกอบแปรงซึ๋งย้ายร่วมกัน (15, 31) 1 4.วิธีการตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 13 ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่แปรง (13, 14, 30) ถูกขนส่งอย่างไม่ต่อเนื่องไปตามส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา (10, 24, 25, 32, 41, 50) ระหว่างขั้นตอนการผ่านกระบวนการ B) หน้า 3 ของจำนวน 3 หน้า 1 5.วิธีการตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 13หรือ14ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ขั้นตอน การผ่านกระบวนการ B) และ C) ถูกปฎิปติขณะที่แปรง (13, 14, 30) เป็นการเข้าใกล้ด้านที่สัมผัสที่ ถูกทำความสะอาดของชิ้นส่วนแม่พิมพ์ (3, 20) ของอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1)สำหรับส่วนประกอบ อิเล็กทรอนิกส์ 1 6.วิธีการตามที่ถือสิทธิในข้อถือสิทธิที่ 13หรือ 14ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ขั้นตอน การผ่านกระบวนการ B) และ C) ถูกปฎิปติขณะที่แปรง (13, 14, 30) ถูกกำจัดจากด้านสัมผัสที่ทำ ความสะอาดของชิ้นส่วนแม่พิมพ์(3, 20) ของอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1)สำหรับส่วนประกอบ อิเล็กทรอนิกส์ ------------Disclaimer (all) which will not appear on the advertisement page. : ------ 12/07/2018 ------ (OCR) Page 1 of 3 pages Disclaimer 1. Equipment for cleaning the encapsulation equipment for electronic components. That includes Encapsulation device (1) for electronic components and cleaning components (2), which includes: - brushes (13, 14, 30) supplied with number of brush components (15, 31). Driven (16, 17, 36) for moving brush (13, 14, 30) relative to encapsulation device (1) for electronic components. - exposed protruding components (10, 24, 25, 32, 41, 50) and - drop equipment provided with at least one suction opening (12, 26, 27, 33 , 42, 55, 56) positioned adjacent to exposed components (10, 24, 25, 32, 41, 50), with the drive (16, 17, 36) cut to move the brush. (13, 14, 30) along the protruding part (10, 24, 25, 32, 41, 50), then the protruding brush component (15, 31) is moved. Together by exposed protruding components (10, 24, 25, 32, 41, 50) that are characterized by which Exposed exposed components (10, 24, 25, 32, 41, 50) are \ 'paired to the encapsulation device (1) for the electronic component. And the open end in that suction (12, 26, 27, 33, 42, 55, 56) is rated above. The opposite side of the exposed protruding component (10, 24, 25, 32, 41, 50) 2. The device, as entitled in claim 1, is characterized by the brush component (15, 31). Carry (31) 3. The equipment, as it is entitled to claim 2, is characterized by which the (31) is made of plastic 4. The device according to the right in the 1st or 2nd claim is characterized by that The exposed component (10, 24, 25, 32, 41, 50) extends 5. The device, as held by claim 1 or 2, is characterized by which Exposed exposed components (10, 24, 25, 32,41,50) form multiple designs (52, 53, 54) 6. The device, as held by claim 1 or 2, is characterized by At the brush (13, 14, 30) there is a pattern that extends from the one moving in a longitudinal direction relative to the protruding tangent component (10, 24, 25, 32, 41, 50). The right to claim 1 or 2 is characterized by the driver (16, 17, 36) comprising at least one electric motor (16). Claims 1 or 2 are characterized in that brushes (13, 14, 30) are provided with an open end in at least one supply (34, 35) for gas, page 2 of the number 3. 9. Equipment as held in claim 1 or 2 is characterized by which Cleaning components (2) are also provided with an ionizer 1 0. An encapsulation assembly device (1) for electronic components that are Provide with cleaning components (2) as it holds in any of the right claims on Previous claim Where the encapsulation device (1) for electronic components Was provided too - At least two molded parts (3,20) are moved relative to each other and converted to Bonded electronic components for encapsulation and - tool! Lean (8, 9) for encapsulation material, connected to mold cavity (7) indicated by mold part (3, 20) and enclosing component. Encapsulation electronics 1 1. Enclosures (1) for electronic components As held by claim, Claim 10 is characterized by the exposed exposed component (10,24,25, 32,41, 50) extending outside the contact surface (11, 51) of the section. In the molded parts (3, 20) 1 2. The assembly of the encapsulation device (1) for electronic components. As held by claim 10 or 11, it is characterized by the encapsulation device (1) for electronic components. It consists of a greater number of parts exposed to the protrusion. Come out (10,24,25,32,41,50) 1 3. Method for cleaning the encapsulation device (1) for components electronics This includes the process of going through the process. A) cleaning of the exposed side of molded parts (3, 20) of the encapsulation device (1) for electronic components by moving the brush relative (13, 14, 30) B) brush conductivity (13, 14, 30) comes into contact with exposed protruding components (10, 24, 25, 32, 41, 50), which are matched with encapsulation devices (1) for electronic components and brush travel (13, 14, 30). ) Relative to the exposed component (10, 24, 25, 32, 41, 50), so the brush component (15, 31) of the brush (13, 14, 30) is touched by the exposed component (10, 24 , 25, 32, 41, 50) and brush components (15, 31) move relative to each other and C) extraction of ambient air on opposite sides of exposed protruding components (10, 24, 25, 32, 41). , 50), at least while the throughput process B), therefore, air is vented at the location of the brush components that move together (15, 31) 1 4. The method, as it holds the right to clause Holds the 13th right to be characterized by the brushes (13, 14, 30) being transported inconsistently along the exposed exposed components (10, 24, 25, 32, 41, 50) during the passing process. B) process page 3 of the amount 3 pages 1 5. Method of holding the right to the claim that 13 or 14 is characterized by which step B) and C) passes are performed while the brush (13, 14, 30) approaches the exposed side. Was cleaned of molded parts (3, 20) of the encapsulation device. (1) for ingredients Electronic 1 6. The method by which Claims 13 or 14 are characterized by the procedure. Processing B) and C) were performed while the brushes (13, 14, 30) were eliminated from the exposed contact side. Cleanliness of molded parts (3, 20) of the encapsulation device. (1) for ingredients Electronic ------------ 1. ระบบ(system)ที่ประกอบรวมด้วย อุปกรณ์ห่อหุ้ม(1)สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ และ ส่วนประกอบ(2)สำหรับการทำความสะอาด ซึ่งประกอบรวมด้วย: -แปรง(13,14,30)ที่จัดให้มีด้วยส่วนประกอบแปรงจำนวนหนึ่ง(15,31) -ตัวขับเคลื่อน(16,17,36)สำหรับการย้ายแปรง(13,14,30) สัมพันธ์กับอุปกรณ์ห่อหุ้ม (1)สำหรับส่วนประกอบอิเล็กทรอนิกส์ -ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา(10,24,25,32,41,50)และ -อุปกรณ์ดูดที่จัดให้มีด้วยปลายเปิดในการดูดอย่างน้อยหนึ่งแห่ง(12,26,27,33,42,55, 56)ที่วางตำแหน่งชิดกับส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา(10,24,25,32,41,50)โดยที่ตัว ขับเคลื่อน(16,17,36)ถูกดัดแปลงเพื่อเคลื่อนย้ายแปรง(13,14,30)ไปตามส่วนประกอบที่สัมผัส ที่ยื่นออกมา(10,24,25,32,41,50)ดังนั้นส่วนประกอบแปรงที่ยื่นออกมา(15,31)ถูกย้ายสัมพันธ์ กันโดยส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา(10,24,25,32,41,50)ที่ถูกกำหนดคุณลักษณะโดยที่ ส่วนประกอบที่สัมผัสที่ยื่นออกมา(10,24,25,32,41,50)ถูกจับคู่กับอุปกรณ์ห่อหุ้ม(1)และ ปลายเปิดในการดูดนั้น(12,26,27,33,42,55,56)ถูกจัดเรียงบนด้านตรงข้ามของส่วนประกอบที่ สัมผัสที่ยื่นออกมา(10,24,25,32,41,50)1. System (system) that includes Shrouds (1) for electronic components and components (2) for cleaning. Which includes: - brushes (13,14,30) provided with a number of brush components (15,31) - drives (16,17,36) for brush moving (13,14,30) With encapsulation device (1) for electronic components - exposed protruding components (10,24,25,32,41,50) and - A suction device provided with at least one suction opening (12,26,27,33,42,55, 56) positioned close to the exposed protruding component (10,24,25 , 32,41,50) where the body Propulsion (16,17,36) has been modified to move the brush (13,14,30) along the exposed components. Protruding (10,24,25,32,41,50), so the protruding brush component (15,31) is moved relative to Together by exposed protruding components (10,24,25,32,41,50) that are characterized by which The exposed protruding components (10,24,25,32,41,50) are paired with the encapsulation device (1) and The open end in that suction (12,26,27,33,42,55,56) is arranged on the opposite side of the component. Touch protruding (10,24,25,32,41,50)
TH1401000233A 2012-07-12 Device for Cleaning an Encapsulating Device for Electronic Components TH67643B (en)

Publications (3)

Publication Number Publication Date
TH143206A true TH143206A (en) 2015-09-22
TH1401000233B TH1401000233B (en) 2015-09-22
TH67643B TH67643B (en) 2019-01-22

Family

ID=

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102032866B1 (en) Device for cleaning an encapsulating device for electronic components
JP4637155B2 (en) Static elimination and dust removal device and static elimination and dust removal method
CN104475401B (en) Automatic double-sided cleaning device for magnetic cell
EP2720102A3 (en) Robot cleaner and control method thereof
ATE427032T1 (en) SHIELDING DEVICE FOR ELECTROMAGNETIC INTERFERENCE AND PRODUCTION METHOD THEREOF
CN105363709A (en) Mold cleaning device
CN101579856A (en) Bad crystal grain selector and method thereof
JP2014510667A5 (en)
TH143206A (en) Device for Cleaning an Encapsulating Device for Electronic Components
TH67643B (en) Device for Cleaning an Encapsulating Device for Electronic Components
GB2491397B (en) An apparatus and a method of shaping an edge of an aerofoil
CN210694511U (en) Glue removing device for circuit board production
DE602006006475D1 (en) BRUSH ELEMENT, ARRANGEMENT, BRUSH DEVICE AND CONNECTION AND SEPARATION METHOD
JP2014189806A5 (en)
ATE473670T1 (en) DRIVE UNIT FOR AN ELECTRICAL CLEANING DEVICE
KR101538974B1 (en) Sawing Apparatus of Semiconductor Materials
KR102446950B1 (en) Substrate cleaning module and substrate transferring apparatus having the same
JP5572522B2 (en) Static elimination dust removal equipment
WO2014121861A3 (en) Method for utilizing and device for cleaning permanent magnets
ATE433369T1 (en) DEVICE FOR PROCESSING THE PLACEMENT SURFACE OF A MOLDED PROFILE MADE OF THERMOPLASTIC FOAM FORMING A NEGATIVE SHAPE FOR A SHAFT FLOOR CHANNEL
CN105689295A (en) Dust sweeping device
CN204354357U (en) A kind of plastic forming device
CN204338803U (en) Be applied to the cutting film apparatus on vacuo-forming equipment
JP5545230B2 (en) Substrate transport chuck and substrate splitting / transporting device
CN101264827A (en) Method and device for cleaning cigarette strip transporting chain plate