TH110010A -
System and method of calibration for the readout channel
- Google Patents
System and method of calibration for the readout channel
Info
Publication number
TH110010A
TH110010ATH901001809ATH0901001809ATH110010ATH 110010 ATH110010 ATH 110010ATH 901001809 ATH901001809 ATH 901001809ATH 0901001809 ATH0901001809 ATH 0901001809ATH 110010 ATH110010 ATH 110010A
DC60 (21/07/52) มีการจัดให้มีวิธีการและระบบสำหรับลดความผิดพลาดทางตำแหน่งสำหรับการจัดตำแหน่ง ลำแสงไม่ว่าจะลงบนหรือจากชิ้นงาน มีการจัดให้มีเครื่องหมายปรับเทียบ และภาพของเครื่องหมาย ปรับเทียบจะถูกจับไว้ เพื่อเปรียบเทียบกับเครื่องหมายชี้นำ ตำแหน่งของเครื่องหมายชี้นำจะเป็นไป ตามชุดข้อมูลแบบหรือพิกัด ตำแหน่งของภาพเครื่องหมายปรับเทียบจะถูกปรับจนกระทั่งภาพตรงกับ เครื่องหมายชี้นำ ดังนั้น ชุดของปัจจัยชดเชยวิชั่นจึงจะสามารถกำหนดขึ้นมาได้ หลังจากนั้น ภาพของ เครื่องหมายเลเซอร์ก็จะถูกจับไว้ และปรับให้ตรงกับเครื่องหมายชี้นำ เพื่อเป็นการกำหนดชุดปัจจัยชด เชยของช่องสำหรับอ่านข้อมูล จากนั้น ชุดของข้อมูลแบบจะได้รับการปรับโดยยึดตามปัจจัยชดเชยวิ ชั่นและปัจจัยชดเชยเลเซอร์ และถูกนำมาใช้เพื่อจัดตำแหน่งลำแสงบนชิ้นงานหรือจับแสงจากชิ้นงาน เพื่อสร้างเป็นรูปภาพ DC60 (21/07/52) provides a method and a system for reducing positioning errors for alignment. Beam, either down on or off the workpiece A calibration mark is provided. And a picture of the mark Calibration will be captured. To compare with the guiding mark The position of the guiding mark will be According to the data set, model or coordinates The position of the image, the calibration mark will be adjusted until the image matches. Guiding mark, so a set of vision compensation factors can be determined, after which the image of the laser mark is captured. And adjusted to match the guiding mark To determine the compensation factor set The chuck of the reading channel, then the series of pattern data will be adjusted based on the offset factor. And laser compensation factor And is used to position the beam on the workpiece or to capture the light from the workpiece. To make a picture
Claims (1)
: DC60 (21/07/52) มีการจัดให้มีวิธีการและระบบสำหรับลดความผิดพลาดทางตำแหน่งสำหรับการจัดตำแหน่ง ลำแสงไม่ว่าจะลงบนหรือจากชิ้นงาน มีการจัดให้มีเครื่องหมายปรับเทียบ และภาพของเครื่องหมาย ปรับเทียบจะถูกจับไว้ เพื่อเปรียบเทียบกับเครื่องหมายชี้นำ ตำแหน่งของเครื่องหมายชี้นำจะเป็นไป ตามชุดข้อมูลแบบหรือพิกัด ตำแหน่งของภาพเครื่องหมายปรับเทียบจะถูกปรับจนกระทั่งภาพตรงกับ เครื่องหมายชี้นำ ดังนั้น ชุดของปัจจัยชดเชยวิชั่นจึงจะสามารถกำหนดขึ้นมาได้ หลังจากนั้น ภาพของ เครื่องหมายเลเซอร์ก็จะถูกจับไว้ และปรับให้ตรงกับเครื่องหมายชี้นำ เพื่อเป็นการกำหนดชุดปัจจัยชด เชยของช่องสำหรับอ่านข้อมูล จากนั้น ชุดของข้อมูลแบบจะได้รับการปรับโดยยึดตามปัจจัยชดเชยวิ ชั่นและปัจจัยชดเชยเลเซอร์ และถูกนำมาใช้เพื่อจัดตำแหน่งลำแสงบนชิ้นงานหรือจับแสงจากชิ้นงาน เพื่อสร้างเป็นรูปภาพ ข้อถือสิทธิ์ (ข้อที่หนึ่ง) ซึ่งจะปรากฏบนหน้าประกาศโฆษณา : แท็ก :: DC60 (21/07/52) A method and a system for reducing positioning errors for alignment is provided. Beam, either down on or off the workpiece A calibration mark is provided. And a picture of the mark Calibration will be captured. To compare with the guiding mark The position of the guiding mark will be According to the data set, model or coordinates The position of the image, the calibration mark will be adjusted until the image matches. Guiding mark, so a set of vision compensation factors can be determined, after which the image of the laser mark is captured. And adjusted to match the guiding mark To determine the compensation factor set The chuck of the reading channel, then the series of pattern data will be adjusted based on the offset factor. And laser compensation factor And is used to position the beam on the workpiece or to capture the light from the workpiece. To create an image, the claim (item one) will appear on the post: tag:
TH901001809A2009-04-23
System and method of calibration for the readout channel
TH110010A
(en)
Lithographic marker structure, lithographic projection apparatus comprising such a lithographic marker structure and method for substrate alignment using such a lithographic marker structure