1. Изобретение относитс к регул торам соотношени двух потоков и предназначено дл регулировани и автоматичес-кого поддержани соотношений массовых расходов потоков или массового расхода испар емого вещества в газе-носитепе. Известно устройство дл регулировани соотношени массовых расходов двух потоков. Устройство содержит теплообменник , термобатареи (термопреобрааова- тели), кажда из которых - термопары, потеноиометрический задатчик, регул тор и исполнительный механизм. Термопрео&разрватели соединены последовательно друг с другом, а точка их соединени сое дивева с входсм потёнциометрического задатчика, второй вход которого соединен с выходом потёнциометрического за- датчика, соединенного с термопреобразо- вател ми, а выход регул тора соединен с исполнитель№1м механизмом, установленным на трубопроводе одного из потоков и теплообменника, на входных и выходных патрубках каждого компонента установлены термопары соответствующих тврморд3HCTOj )OB. Принцип работы устройства заключаат с в следующем. Потеншюметрнческим задатчиком устанавливают требуе9«1ов соотношенве расхо доБ реагентов. Реагенты (потоки) с различной температурой, прохощ через теп лоо еннвк, обмениваютс те1Ш( . Зависимость между расходами 171 и № первого и второго потоков и вх приращени ми температуры АЬ и Abgимеет спедующнй вид tA. ч, . ЛЬ где с и с А - теплоемкость, т.е. отноше ние приращений температур обратно про порционально произведени м массовых рао ходов жидкостей на их теплоемкость. Приращени температурд-t-jи utj измер ютс термометрами первого и второго, термопреобразователей. Выходной снгвал последних поступает на вход регул тора. Регул тор воздействует на исполнительный мехаШюм, перемещение регулирующего органа которого происходит до уотановпени заданного соотношени расхода реагентов. Теплообмен реагентов осуществл етс через стенку теплообменника в результате чего между ними отсутствует непосредственный контакт. Это исключает энтальпийные изменени и св занную с ними погрешность регулировани массового соотношени расходов двух pearei&тов l . Недостатком этого устройства вл етс низка точность регулировани соотношений расходов потоков, вызванна вли н№-ем окружающей среды {термопреобразователи установлены каждый на своем трубопроводе , т.е. наход тс в разных температурных услови х, погрешность в этом случае возникает из-за иа енени температуры окружающей среды), вли нием температуры потоков (при равенстве температур потоков и окружающей среды температура потоков может мен тьс , а это вызывает изменение сигнала). Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому вл етс устройство дл регулировани соотношени масс вых расходов потоков. Устройство содержит термопреобразователи, например терморезисторы, и регул тор, один вход которого соединен с потеншнометрическим задатчиком, а выход - с входом исполнительного механизма, установленного на трубопроводе одного из потоков. Кроме того, устройство содержит резистивны делитель напр жени , включенный в первое и второе плечи моста, одна диагональ которого подключена к источнику питани термопреобразователей, друга - к другом входу регул тора, а терморезистрры охватывают одновременно все трубопроводы и включены в третье и четвертое плечи мос та. На компараторе сравниваютс сигналы с измерител и потендиометрического задатчика . Сигналы прессовани воздействуют на исполнительный механизм, который регулирует один из потоков таким образом , чтобы отношение массовых расходов потоков вызвало сигнал с моста, усиле№ный усилителем и равный сигналу с задатчика . Потенциометрическтш задатчиком устанавливают требуемое соотношение (пропорцию) расходов потоков 2 J. Недостатком известного устройства вл етс низка точность регулировани , обусловленна тем, что на точность и величину выходного сигнала оказывают ли ние изменение давлени , температур ы потока, действие физико-химических роцессов при смещении потоков. Целью изобретени вл етс повыш&ие точности устройства. Поставленна цель достигаетс тем, го в устройство дл регулировани cootошени массовых расходов потоков в рубопроводах, содержащее терморезисоры , источник питани , резистивный деитель напр жени , выполненный в виде становленного между посто нными резисорами переменного резистора, и регул ор , вь1ход которого подключен к входу сполнительного механизма, размещенноо в одном из трубопроводов, введены отендиометрический делитель напр жени , одключенный паратшельно источнику пиани и парам размещенных на каждом трубопроводе последовательно соединенных терморезисторов, причем точки соединени терморезисторов в каждой паре соединены между собой через резистивный делитель напр жени , к переменному резистору которого подключены входы регул тора, а установочный вход переменного резистора соединен с движком потенииометрического делител напр жени . На чертеже представлена принципиаль ,, на схема устройства. Устройство содержит термопреобразователи в виде терморезисторов 1-4, которые размещены (охватывают)цопарно на трубопроводах 5 и б исоединены последовательно . Дл устранени вли ни окружающей среды и разности температур потоков на точность регулировани соотношени потоков устройство снабжено теплопровод щим кожухом 7 из материала с высокой теплопроводностью, например , меди, охватывающим одновременно оба трубопровода 5 и 6. Пары последовательно соединенных терморезисторов 1, 2 и 3,4 подключены параллельно потенциометрическому делителю 8 напр жени и источнику 9 питани . На одном из тру бопроводов , например 5, установлен иополнительный механизм 10, каждый из трубопроводов 5 и б соединен с барботером (смесителем) 11. Точки коммутации терморезисторов 1 и 2, 3 и 4 соединены попарно между собой и подключены к резистивному делителю напр жени , состо щему из двух посто нных 12 и 13 и переменного 14 резисторов, причем установочный вход переменного резистора 14 св зан с движком потенциометрического делител 8 напр жени , а выводы переменногр резистора 14 подключены к вх6« дам дифференииальшго усипитеп 15, выход которого соединен с входом компаратора 16 и измерителем 17 соотношени массовых расходов потоков. Другой вход компаратора 16 св зан с зада тчиком 18 соотношени , питаемым от источника посто нного напр жёий (не показан), а выход подключен к исполнительному механизму 1О.. Устройство работает следующим образом . Включают источник 9 питани термопреобразователей 1-4 дл их нагрева. На вход допопнителБНого механизма 1О, размещенного в трубопроводе 5, подают поток газа, а по трубопроводу 6 подают тот же поток газа, но с добавкой другог газа (пара), например диффузата. Газы, проход р трубопроводах 5 и 6, вьюывают охлаждение термопреобразователей 2 и4 в большей степени, чем 3 и 1, так как к ним газ подходит уже подогр е. тым. Функции термопреобразрвателей 1, 2 И 3 совмещешл с функцией нагревател так как термопреобразователи выполнены из материала с высоким температурным коэффициентом сопротивлени и обладают высокой чувствительностью к изменению температуры, в частности при изменении массового расхода потоков. Между точками коммутации терморезисторов 1-4 по вл етс сигнал, пропорциональный раз ности расходов потоков, который делитс потенциометрическим делителем 8 напр жени и часть его поступает на входы дифференциального усилител 15, с выхода которого усиленный сигнал поступает на измеритель 17 и один из входов компаратора 16. По сигналу измеритеп суд т -о разности (сротпошении) массо-вых расходов потоков. В зависимости от положени перемен ного резистора 14, средн т.очка которого соединена с потенциометрическим . делителем 8 напр жени , измен етс чув ствительность к изменению (к сигналу {засходов потоков в трубопроводах 5 или 6. Так как изменение положени установечного входа резистора 14 мен ет соот ношение сигналов с расхода потоков-в трубопроводах 5 и 6, то можно получить одинаковые сигналы во всем диапазоне изменени потоков при подаче одинаковых расходов потоков. Это позвол ет повысит точность измерени разности расходов потоков в случае измерени расхода пара или соотноше{га массовых расходов по токов при близких значени х расходов потоков . Изменение положени установочного входа резистора 14 измен ет шунтирование сигнала в больйгей или меньшей степени с трубопроводов 5 или 6 за счет уменьшени чувствительности сигнала по-« тенциометрическим епителем 8. Дл исключени смещени О выходного сигнал ла во ъсем диапазоне расходов потоков при их равенстве положение движка потешгаометрического делител 8 может измен тьс . Дл устранени смещени О при изменении чувствительности выбирают такое положение средней точки ПСУ тешшометрического делител 8, чтобы это смещение не наблюдалось во всем диапазоне (енени чувствительности. Значение выходного сигнала с дифференшшльного усилител 15 сравнивают с сигналом задатчика 18 расхода и компа ратф 16 управл ет работой исполнитель ного механизма 10. такт образо;.;, чтобы сигнал задатчика равн лс сигналу с ди4 ференциального усилител 15, т.е. проио ХОДИТ процесс автсматического регулирснвани соотношени расходов потоков, Измен напр жение, подаваемое на задатчик 18, можно задать любую необ ходймую величину отношени массовых ршсходов потоков и поддерживать это отношение посто нным с высокой точноотью .,. Введение в конструкцию устройства . потенциометркческого делител напр же ни позволило увеличить точность регулировани близких значений расходов потоков или соотношений расходов, близких к единице, например, при регулировании расхода диффузанта. Изменение давлени , температуры потока , действи фвзико- химических процеосов при смешении потоков, действие внешней температуры и других факторов не вли ет на-точность и величину выходнс го сигнала. Так как терморезисторы нагреты , то температура потока может, быть любой, в т. ч. и равной температуре окружающей сроды. Устройство может найти применение . дл регулировани массовых расходов испар емого вещества в газе-носителе, например, в попупроводниковом про зво/ стве на операции легировани и на опе рации наращивани эпитаксиальных слоев. Использование этого устройства ва операции легировани позвол ет повысить производительность труда и увеличить выход горной продукции. Формула взобретеви Устройство дл регулировани соотно шешш массовых расходов потоков в труи бопроводах, содержащее терморезисторы, источник питани , резистивный делитель напр жени , выполненный в виде jrcTaHOBленно1Ч между посто нными резисторами переменного резистора, и регул тор, выход которого подключен к входу исполни тельного механизма, размещенного в од ном из трубопроводов, отличаю - ш е е с тем, что, с целью повышени точности устройства оно содергкит поте диометрический делитель напр жени , подключенный параллельно источнику ni тани и парам размещенных на каждом трубопроводе последовательно соединенны терморезисторов, ггричем точки соединени терморезисторов в каждой паре соединены между собой через резистивный делитель напр жени , к переменному р&зистору которого подключены входы регул тора , а установочный вход первменн1 го резистора соединен с движком потении- ометрического делител напр жени . Источники информашга, прин тые во внимание при экспертизе 1.Авторское свидетельство СССР №619907, кл. Q 051) 11/16, 1978, 2.Авторское свидетельство СССР № 805268, кл. 0-051} 11/16, 1979 (прототип) 1. The invention relates to regulators of the ratio of two streams and is intended to regulate and automatically maintain the ratios of the mass flow rates of the flows or the mass flow rate of the vaporized substance in the carrier gas. A device for controlling the mass flow ratio of the two streams is known. The device contains a heat exchanger, thermopiles (thermocouples), each of which are thermocouples, a potentiometer, regulator and actuator. Thermocouple & disintegrators are connected in series with each other, and their point of connection is divay soybeans with an inlet of a potentiometric unit, the second input of which is connected to the output of a potentiometric sensor connected to the thermoconverters, and the output of the regulator is connected to the actuator 1m mechanism installed On the pipeline of one of the streams and the heat exchanger, on the inlet and outlet nozzles of each component are installed thermocouples of the respective TvMord3HCTOj) OB. The principle of operation of the device is as follows. Potential meter setting set the required 9 "ratio of the consumption of reagents. Reagents (streams) with different temperatures, through-heat through heat exchange, exchange temperature (. The relationship between flow rates 171 and the first and second flows and input increments of temperature AB and Abg has the following form: tA.h,. L where c and c A - heat capacity, i.e., the ratio of temperature increments inversely proportional to the product of mass flow of liquids by their heat capacity. The temperature increments t-j and utj are measured by the first and second thermometers, and the temperature transducers. The output of the latter is fed to the regulator input. exalted The actuator moves to the actuator, the regulator moving of which occurs before the set reagent consumption ratio is set. Reagents heat transfer through the heat exchanger wall, as a result of which there is no direct contact between them. This eliminates the enthalpy changes and the associated error of the two pearei & This l device. The disadvantage of this device is the low control accuracy of the flow rate ratios caused by the influence of the environment. thermal medium {thermal converters are installed each on its own pipeline, i.e. in different temperature conditions, the error in this case arises due to ambient temperature), the influence of the temperature of the flows (with equal temperatures of the flows and the environment, the temperature of the flows may vary, and this causes a change in signal). The closest in technical essence to the present invention is a device for controlling the ratio of the mass flow rates of flows. The device contains thermocouples, for example, thermistors, and a regulator, one input of which is connected to a potential metering unit, and the output - to the input of an actuator installed on the pipeline of one of the streams. In addition, the device contains a resistive voltage divider included in the first and second shoulders of the bridge, one diagonal of which is connected to the power supply of the thermal converters, the other to the other input of the regulator, and the thermal resistor simultaneously covers all pipes and is connected to the third and fourth shoulders of the bridge . The comparator compares the signals from the meter and the potentiometer. The pressing signals act on the actuator, which adjusts one of the flows so that the ratio of the mass flow rates of the flows causes a signal from the bridge, amplified by an amplifier and equal to the signal from the setter. A potentiometer setting device establishes the required ratio (ratio) of flow rates 2 J. A disadvantage of the known device is the low control accuracy, due to the fact that the accuracy and size of the output signal is affected by the pressure change, the temperature of the flow, and the action of the physicochemical processes during flow displacement . The aim of the invention is to improve the accuracy of the device. The goal is achieved by a device containing a thermal resistor, a power source, a resistive voltage suppressor made as a variable resistor between the permanent resistors, and a controller whose input is connected to the input of the splicing device. , placed in one of the pipelines, an otndiometric voltage divider was inserted, connected to the power source and the pairs located on each pipeline tionary connected thermistors, thermistors point compounds wherein in each pair are interconnected via a resistive voltage divider to a variable resistor which is connected to the inputs of the controller, and adjusting the variable resistor input connected to the engine poteniiometricheskogo voltage divider. The drawing shows the principle, on the device diagram. The device contains thermocouples in the form of thermistors 1-4, which are placed (encompass) integrally on the pipelines 5 and b are connected in series. To eliminate the influence of the environment and the temperature difference between the flows on the accuracy of controlling the ratio of flows, the device is equipped with a heat-conducting casing 7 made of a material with high thermal conductivity, such as copper, simultaneously covering both pipes 5 and 6. Couples of series-connected thermistors 1, 2 and 3,4 connected in parallel with a potentiometric voltage divider 8 and a power source 9. An additional mechanism 10 is installed on one of the pipelines, for example, 5, each of pipes 5 and b is connected to a bubbler (mixer) 11. The switching points of thermistors 1 and 2, 3 and 4 are connected in pairs to each other and connected to a resistive voltage divider, consisting of two constant 12 and 13 and variable 14 resistors, the installation input of the variable resistor 14 is connected to the potentiometric voltage divider 8, and the terminals of the variable resistor 14 are connected to the differential input 15, the output of which is connected to the input of the comparator 16 and the meter 17 ratio of mass flow rates. The other input of the comparator 16 is connected to the relationship setpoint 18 supplied from a constant voltage source (not shown), and the output is connected to the actuator 1O. The device operates as follows. The power supply 9 of the thermocouples 1-4 is turned on to heat them. The gas flow is supplied to the inlet of the additional mechanism 1O located in the pipeline 5, and the same gas stream is fed through the pipeline 6, but with the addition of another gas (steam), for example a diffusate. Gases, passage p of pipelines 5 and 6, draw cooling of thermal converters 2 and 4 to a greater extent than 3 and 1, since the gas is already suitable for them heated. The functions of thermal converters 1, 2, and 3 are combined with the function of a heater, since thermal converters are made of a material with a high temperature coefficient of resistance and are highly sensitive to temperature changes, in particular when the mass flow rate changes. Between the switching points of thermistors 1-4, a signal appears proportional to the difference in flow rates, which is divided by a potentiometric voltage divider 8 and a part of it is fed to the inputs of a differential amplifier 15, from which output the amplified signal goes to meter 17 and one of the comparator 16 inputs . By a signal, measure the court of the difference of the mass flow rates of the flows. Depending on the position of the variable resistor 14, the middle point of which is connected to the potentiometric one. the voltage divider 8, changes the sensitivity to change (to the signal {flow flow in pipelines 5 or 6. Since the change in the position of the set input of resistor 14 changes the ratio of signals from the flow rate in pipelines 5 and 6, you can get the same signals over the entire range of flow variations when applying the same flow rates. This will improve the accuracy of measuring the difference in flow rates in the case of measuring steam consumption or the ratio {hectares of mass flow rates for similar flow rates Changing the position of the setup input of the resistor 14 changes the signal shunting to a greater or lesser extent from pipelines 5 or 6 by reducing the sensitivity of the signal with a Potentiometric capacitor 8. To avoid bias O, the output signal is in the entire range of flow rates when they are equal to the position of the slider The poteshgaometric divider 8 can be changed. To eliminate the displacement O, the sensitivity of the midpoint of the PES of the testometric divider 8 is chosen when the sensitivity is changed, so that this displacement is not has been observed over the entire range (of sensitivity). The value of the output signal from the differential amplifier 15 is compared with the signal of the flow setting device 18 and the compressor 16 controls the operation of the executive mechanism 10. the clock is formed; so that the signal of the control device is equal to the signal from the differential amplifier 15, i.e. The process of automatic flow rate flow adjustment proceeds. The change in voltage applied to the setpoint 18 can be set to any necessary value for the ratio of mass flow flows and maintain this ratio constant with high accuracy. Introduction to the design of the device. A potentiometer divider, for example, has made it possible to increase the accuracy of controlling close values of flow rates or cost ratios close to one, for example, when controlling the flow rate of diffusant. The change in pressure, temperature of the stream, the effect of the chemical-chemical processes during the mixing of the streams, the effect of the external temperature and other factors do not affect the accuracy and magnitude of the output signal. Since the thermistors are heated, the flow temperature can be any, including and the temperature of the surrounding nature. The device can be used. to control the mass flow rates of the vaporized substance in the carrier gas, for example, in semiconductor space, for doping operations and operations for building up epitaxial layers. The use of this device in a doping operation allows an increase in labor productivity and an increase in the output of mining products. Acquisition formula A device for adjusting the ratio of mass flow rates in pipelines, containing thermistors, a power source, a resistive voltage divider made in the form of jrcTaHOb11CH between fixed resistors of a variable resistor, and a regulator, the output of which is connected to the input of the executive mechanism, placed in one of the pipelines, I differ from the fact that, in order to increase the accuracy of the device, it contains a diometric voltage divider connected in parallel to the source ni and thermistors placed on each pipeline are connected in series with thermistors, each thermistor junction point of each pair is interconnected via a resistive voltage divider, the controller inputs are connected to the variable p & the primary resistor is connected to the variable sweater Isometric voltage divider. Sources of information taken into account in the examination 1. USSR author's certificate number 619907, cl. Q 051) 11/16, 1978, 2. USSR Author's Certificate No. 805268, cl. 0-051} 11/16, 1979 (prototype)