SU977947A1 - Устройство дл контрол угловых параметров плоскопараллельных пластин - Google Patents

Description

(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ КОНТРОЛЯ УГЛОВЫХ ПАРАМЕТРОВ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНЫХ ПЛАСТИН

1

Изобретение относитс  к контрольноизмерительной технике и может быть использовано , в частностн, дл  контрол  угловых параметров (влиновидности, угла отклонени  выход шего луча) как про зрачных, так и непрозрачных полированных . плоскопараллельных пластин.

Известно устройство дл  контрол  углов отклонени  лучей плоскопаралле ьной пластинкой, содержащее коллиматор и ,р зрительную трубу, предварительно ycTat новленную так, что ее оптическа  ось параллельна оптической оси коллиматораС Недостатками известного устройства. 5  вл ютс  невысока  точность, невозможность непосредственного определени  клиновидности прозрачных пластин, которую необходимо контролировать, например, на подложках двусторонних зеркал, невоз- 20 можность определени  клиношдности непрозрачных пластин.

Наиболее близким к изобретению по технической сущности  вл етс  устройство дл  контрол  угловых параметров плоокопараллельных пластин, содержащее а токоллиматор и предметный столик.

При контроле угловых параметров пластин автокоштиматор расположен так, что его оптическа  ось перпендикул рна опорной плоскости предметного столика . На столик устанавливают пластину, например прозрачную, и измер ют угловое рассто ние между наблюдаемыми в поле зрени  бликами, образованными светом автоколлиматора, отраженным от поверхностей пластины. Если же пластина непрозрачна  или нет возмо)|сности определить показатель преломлени  стекла, то измер ют угловые параметры следующим образом.

Claims (2)

1. На прюдметвый столик устанавливают последовательно образцовую (эталонную) деталь, затем контролируемую. Углова  величина смещени  автоколлимацисжного блика от верхних поверхностей смен емых деталей характеризует величину клиновидности121 . 397 . Однако известное ус ройсгво имеет низкую производительность контрол , поскольку угловые параметры невозможно определить непосредственно, а дл  косвенного определени  необходимо предва- ритепьно определить показатель преломлени  стекла, что довольно трудоемко; низкую точность контрол  из-эа погрешности определени  показател  предомлени , из-за погрешности базировани  образповой и контролируемой деталей на предметном столике прибора, а также из за раздельного, а не одновременного наблюдени  бликов в поле зрени ; низкую надежность контрол ,- так как не определена погрешность базировани  (случайна  величина) пластин на предметном столике и возможно расстраивание измерительной схемы устройства во врем  бмены деталей. Цель изобретеш{  повышение производительности , точности и надежности контрол  угловых параметров (угла отклнени  выход щего  уча и кчиновидности) гоюскопарачлельных пластин. Поставленна  й.епь достигаетс  тем, что устройство дл  контрол  угловых параметров плоскопаралпельных пластин снабжено оптическим блоком, расположен ным в ходе световогб пучка автоколлима тора над предметным столиком и выполненным в виде ромбической призмы со светодели тельным покрытием на одной из ее ограждающих граней и клина с утлом 45 между его гран ми, склеенных между собой так, что одна из граней клина сопр жена с отражающей гранью со све- тоделительным покрытием ромбической призмы, а ребро его перпендикул рно ее главному сечению, и призмой БКР-180 дл  взаимного сопр жени  двух вышедши из ромбической призмы и клина параллел ных световых пучков, расположенной под предметным столиком. На фиг. 1 изображена принципиальна  схема устройства дл  контрол  угловых параметров плоскопараллельных пластин; на фиг, 2 - поле зрени  автоколлиматора в момент измерени . . Устройство содержит автоколлимагор 1, предметный столик 2, оптический &IO расположенный в светового пучка автоколлиматора 1 над предметным столиком 2 и выполненный в виде ромбичес кой 3 со светоделительным покрытием 4 на одной из ее отражающих граней и клина 5 с утлом 45° между ег гран л4и, склеенных между собой так, чт одна из граней клина сопр жена с отражающей гранью со светодел и тельным itoкрытием 4 ромбической призмы 3, а ребро его перпендикул рно ее главному сечению , призму .6 BKP-ISO. Устройство работает следующим образом . При отсутствии контролируемой плоскопараллельной Пластины 7 на предметном столике 2 в центре пол  зрени  ав- токоллиматора 1 наблюдаетс  один  ркий блик, например, в виде перекрести , представл ющий собой изображение марки. Контролируемую плоскопараллельную пластину 7 (прозрачную или непрозрачную) устанавливают на предметный столик 2. В случае прозрачной пластины в поле зрени  автоколиматора будут наблюдатьс  шесть бликов (фиг. 2); два  рких и неподвижных при наклонах предметного столика 2 с пластиной 7 блика А и А, образованных светом пучков П и Пл, прошедшим через контролируемую пластину 7, и группа из четырех, расположенных на одной линии, бликов В, В, С и Cj/ перемещаюша с  в поле зрени  при наклонах контролируемой пластины 7 без изменени  их относительного расположени . Блики Вх), С и Bj, С 2 образованы светом пучковП и П соответственно. отралсенным от обеих поверхностей контролируемой пластины 7. При этом угловое рассто ние об между бликами А и Art характеризует величину о - угол отклонени  выход щего луча пластиной и св зано с ней формулой об 2 сА а угловое рассто ние fb между бликами В и В, характеризует клиновидность Q контролируемой пластины и св зано с ней формулой/5 2 0.. Последн   формула справведлива и дл  непрозрачных пластин, причем в этом случае блоки А и А2, С и С в поле зрени  отсутствуют. Обе формулы показывают, что угловые рассто ни  оС и /Ь не завис т от показател  преломлени  стекла контролируемой пластины , а следовательно, нет необходимости его определени  Рл  возможности оценки любого параметра ( cf или 0 ). Исключение необходимости определени  показател  преломлени  стекла контролируемой пластины, а также возможность контрол  обоих параметров за одну установку пластины 7 на предметном столике 2 обеспечивает повышение производительности контрол . Равенство коэффициентов в формулах, св зывающих величины cL и сЛ, |Ъ и 6 обеспечивает возможность, учитыва  этот коэффициент при градуировке шкалы устройства, непосредственно определ ть величины о и 0 по шкале , а не расчетным путем, что также спо собствует повышениюпроизводительности гонтроп . Важной особенностью предлагаемого устройства  вл етс  абсс ютна  нерасстраиваемость его измерительной схемы дл  определени  обоих величин о и 9, Никакие.малые подвижки автоколлиматора 1, оптического блока, призмы 6 BKP-ISO или предметного столика 2 с контролируемой пластиной 7 не вли ют на угловые рассто ни  оС и р между бликами в поле зрени . Нерастраиваемость измерительной схемы, а также исключени  вли ни  погрешности базировани  пластины на результаты измерений обеспечивают более высокую надежность контрол . Одновременное, а не раздельное во времени наблюдение бликов в поле зрени , исключение погрешностей базировани  и определени  показател  пре|Ломлени  стекла контролируемой пластины обеспечивает более высокую тцчность контрол . -Формула изобретени  Устройство т  контрол  угловых параметров плоскопараллельных пластин. содержашее автоколлиматор и предметный столик,О тличаюшеес  тем, что, с.целью повышени  производительности , точности и надежности контрол , оно снабжено оптическим блоком, расположенным в ходе светового пучка автоко лиматора над предметным столиком и выполненным в виде ромбической призмы со светоделительным покрытием на одной из ее отражающих граней., и клика с углом 45° между его гран ми, склеенных между собой так, что одна из граней клина сопр жена с отражающей гранью со светоделительным покрытием ромбической призмы, а ребро его перпендикул рно ее главному f /сечению, и призмой БКР-180 дл  взаимного сопр жени  двух вьпиедших из ромбической призмы и ;хлина параллельных световых пучков , расположенной под предметным ликом. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Кривов з.Л. М. и др. Практика оптической измерительной лаборатории, М,, Машиностроение, 1974, с. 157.
2. 2.Афанасьев В А. Оптические изме рени , М., Недра, 1968, с. 5О-51 ( прототип).