SU972280A1 - Чувствительный элемент мембранного датчика давлени - Google Patents

Description

(54) ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ МЕМБРАННОГО ДАТЧИКА ДАВЛЕНИЯ

1

Изобретение относитс  к измерительной технике и может быть использовано, в частности , при измерении давлени .

Известны полупроводниковые датчики давлени , содержаш,ие корпус, выполненный за одно целое с мембраной, в центральной части которой расположены два тензорезистора р- и п-типов, составл ющие половину моста схемы датчика 1.

Недостатком такого датчика  вл етс  то, что тензорезисторы р- и п-типов выполн ютс  дискретно, не из одного полупроводникового кристалла и требуют дополнительного специального подбора в мосты. Дискретность выполнени  тензорезисторов, хрупкость и малые габариты также затрудн ют их установку и монтаж на мембране, а при создании миниатюрных датчиков така  возможность практически исключаетс .

Наиболее близким техническим решением к предлагаемому  вл етс  чувствительный элемент мембранного датчика давлени , содержащий тензорезисторы и контактные площадки, изготовленные из единого полупроводникового кристалла в форме двух параллельных полос, объединенных на концах перемычками, причем кажда  из полос

разделена контактными площадками на части 2.

Недостаток чувствительного элемента - низка  точность измерений, вызванна  большой величиной температурного дрейфа нулевого сигнала, а также существенной нелинейностью выходного сигнала, обусловленна  одновременным наличием прот женной формы чувствительного элемента, выт нутого вдоль диаметра мембраны и совпадающего с ни.м по длине, и зависимостью

10 сопротивлени  и тензочувствительности тензорезисторов от температуры.

Цель изобретени  - повышение точности измерений, за счет уменьшени  тем15 пературного дрейфа нул .

Указанна  цель достигаетс  тем, что в чувствительном элементе мембранного датчика , содержащем полупроводниковые тензорезисторы , выполненные в виде двух параллельных полос, концы которых соединены перемычками, причем кажда  из полос разделена контактными площадками на части, смежные части полос с прилегающими к ним част ми j OHTaKTHbix площадок выполнены разного типа проводимости, а переход меж

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Чувствительный элемент мембранного датчика давления, содержащий полупроводниковые тензорезисторы, выполненные в виде двух параллельных полос, концы которых соединены перемычками, причем каждая из 25 полос разделена контактными площадками на части, отличающийся тем, что, с целью повышения точности за счет уменьшения температурного дрейфа нуля, смежные части полос с прилегающими к ним частями контактных площадок выполнены разного ³⁰ типа проводимости, а переход между ними зашунтирован введенными в устройство омическими контактами.