SU970510A1 - Комбинированный ионно-геттерный магниторазр дный насос - Google Patents

Description

(5) КОМБИНИРОВАННЫЙ ИОННО-ГЕТТЕРНЫЙ МАГНИ-ТОРАЗРЯДНЫЙ

1

Изобретение относитс  к вакуумной технике, в частности к высоковакуумным насосам поверхностного дей ртви .

Известны ионно-геттерные насосы, содержащие различного рода испарители геттера. Эти насосы отличаютс  высокой быстротой действи  по активным газам при относительно малых габаритах и весе и р дом других-преимуществ 1 J.

Недостатком данных насосов  вл етс  низка  быстрота откачки инертных газов, поэтому в вакуумных системах используют комбинацию из ионно-геттерного насоса, предназначенного в основном дл  откачки активных газов, и вспомогательного насоса , поглощающего инертные газы.

Известен комбинированный ионногеттерный магниторазр дный насос, содержащий герметичный корпус с размещенными в нем испарителем геттераj

НАСОС

сорбирующей поверхностью и магниторазр дными  чейками 2.

Достоинством известной конструкт ции  вл етс  снижение габаритов и веса системы высоковакуумной откачки , однако недостаточно э(М)ективное использование откамной способности магниторазр дных  чеек по инертным газам.снижает скорость откачки насоса в целом.

10

Цель изобретени  - увеличение- быстроты откачки, комбинированного ионно-геттерного магниторазр дного насоса .

15 Указанна  цель достигаетс  тем, что в комбинированном ионно-геттерном магниторазр дном насосе, содержащем герметичный корпус с размещенными в «ем испарителем геттера, сор бирующей поверхностью и магниторазр дными  чейками, магниторазр дные  чейки расположены по откачиваемому потоку ниже сорбирующей поверхности. 39 На чертеже представлена принципиальна  схема возможного варианта предлагаемого насоса. Насос состоит из корпуса 1, в котором размещен испаритель 2 геттера. В качестве испарител  могут быть ис пользованы пр моканальный, косвенного накала, электрадуговой и другие типы источников геттера. Сорбирующа  поверхность 3 выполнена охлажда емой, расположена аксиально испарите лю 2 и вместе с частью корпуса 1 насоса образует замкнутую зону, соеди ненную с геттерной частью .насоса со стороны, противоположной входному сечению насоса, т.е. ниже по откачиваемому потоку. Внутри этой зоны наход тс  аноды k магниторазр дных  ч ек, а ее входное сечение закрыто сеткой 5, наход щейс  под потенциалом корпуса насоса. В качестве като дов магниторазр дных  чеек в предлагаемых насосах могут быть использованы стенки корпуса 1 насоса. Посто нные магниты (не показаны) необхоДИМЫ дл  работы магнитооазр дных  чеек. Предлагаемое устройство работает следующим образом. Откачка активных газов осуществл етс  пленкой геттера, осаждаемого из испарител  2 на сорбирующую поверхность 3. Геттер, осаждаемый на эту поверхность, поглощает подавл ющую часть потока активных газов. Поэтому во входное сечение магниторазр дных  чеек попадают практически только инертные газы, слабо поглощаемые пленкой геттера. Поскольку быстрота откачки магниторазр  дных  чеек по инертным газам растет при снижении доли активных газов в откач ваемой газовой смеси, предлагаемое расположение магниторазр дных  чеек в корпусе насоса позвол ет увеличить быстроту действи  насоса по инертным газам по сравнению с извест ными конструкци ми. В результате воз растает быстрота откачки системы в целом. Откачка инертных газов в магниторазр дных  чейках осуществл етс  как внедрением ионов инертных газов в ка тод, так и их замурованием на поверх ност х анода k. Дл  процесса поглоще ни  инертных газов геттерирующие свойства распыл емого материала катода не имеют значени  (ПОЭТОМУ катодь О4 магниторазр дных  чеек , предназначенных только дл  откачки инертных газов, могут быть выполнены из любого металла имеющего необходимый коэффициент распылени . В предлагаемой конструкции катодами  чеек могут СЛУЖИТЬ стенки корпуса 1 насоса изготовленного,например , из нержавеющей стали, коэффициент распылени  которой практически равен коэффициенту распылени  титана-, Использование стенок корпуса насоса :В качестве катода магниторазр дных  чеек увеличивает проводимость этих  чеек и, следовательно, дополнительно эффективную быстроту действи  насоса по инертным газам. Оценка показывает , что можно ожидать увеличени  эффективной быстроты действи  насоса по инертным газам в 1, раза по сравнению с известными конструкци ми . Дл  предотвращени  выхода плазмы, гор щей в магниторазр дных  чейках в процессе их работы, за пределы  чеек их входное сечение закрыто сеткой 5. При использовании электродуговых испарителей 2 геттера наличие сетки 5 позвол ет также изолировать магниторазр дные  чейки от плазмы, возникающей при включении испарител , а применение немагнитного материала дл  охлаждаемой полости позвол ет использовать магнитное поле магниторазр дных  чеек дл  повышени  эффективности работы геттерной части насоса . Таким образом, изобретение позвол ет повысить быстроту откачки насоса , защитить магниторазр дные  чейки от запылени .испар емым геттером, отказатьс  от применени  титановых катодов в магниторазр дных  чейках и повысить эффективность работы геттерной части насоса за счет использовани  магнитного пол  магниторазр дных  чеек . Ожидаема  экономическа  эффективность определ етс , в первую очередь, упрощением конструкции магниторазр дных  чеек и повышением быстроты откачки насоса по инертным газам. Стоимость магниторазр дного блока комбинированного насоса составл ет 20-30% от стоимости насоса в целом. Поэтому повышение быстроты откачки магниторазр дных  чеек по инертным газам в 2 раза эквивалентно снижению стоимости насоса на, 10-15%.

597051

В частности, стоимость одного насоса типа ЭГИН-10/1,5 при использовании изобретени  может быть снижена на 1000 руб. .

Комбинированные ионно-геттерные . j насосы предлагаемой конструкции могут быть использованы в электрофизическом аппаратостроении и других отрасл х науки и техники, использующих высокий вакуум.Ю

Claims (2)

1.Патент Великобритании

№ , кл. Н 1 О, опублик. 1971.

2.Глушаченко Е. В. и др. О совместной работе магниторазр дного и ионно-геттерного насосов,- В кн..: Физика и техника вакуума. Казань, Из-во Казанского университета, 197, с. 2б5 (прототип).