SU940601A1 - Способ получения диэлектрических покрытий - Google Patents
Способ получения диэлектрических покрытийInfo
- Publication number
- SU940601A1 SU940601A1 SU3251240/25A SU3251240A SU940601A1 SU 940601 A1 SU940601 A1 SU 940601A1 SU 3251240/25 A SU3251240/25 A SU 3251240/25A SU 3251240 A SU3251240 A SU 3251240A SU 940601 A1 SU940601 A1 SU 940601A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- dielectric coatings
- obtaining dielectric
- obtaining
- coatings
- absent
- Prior art date
Links
Landscapes
- Developing Agents For Electrophotography (AREA)
- Peptides Or Proteins (AREA)
- Insulating Bodies (AREA)
Abstract
1. Способ получения диэлектрических покрытий на подложках арсенида галлия и твердых растворов типа CaAlAs, включающий размещение подложек в реакторе, их нагрев, формирование пассивирующих и диэлектрических слоев, отличающийся тем, что, с целью улучшения электрофизических свойств границы раздела диэлектрический слой - подложка за счет уменьшения плотности поверхностных состояний, диэлектрический слой формируют методом осаждения из газовой фазы, содержащей триметилалюминий, арсин, кислород при мольных соотношениях алюминия, мышьяка и кислорода 1:(5-10):(10 - 10 ) соответственно и температуре подложек 600 - 650С.2. Способ получения диэлектрических покрытий по п. 1, отличающийся тем, что после формирования диэлектрических слоев на их поверхности методом осаждения из газовой фазы формируют пассивирующие слои полупроводникового твердого раствора из ряда Ga AlAs:O или диэлектрика.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3251240/25A SU940601A1 (ru) | 1980-12-29 | 1980-12-29 | Способ получения диэлектрических покрытий |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU3251240/25A SU940601A1 (ru) | 1980-12-29 | 1980-12-29 | Способ получения диэлектрических покрытий |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU940601A1 true SU940601A1 (ru) | 1996-05-20 |
Family
ID=60518670
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU3251240/25A SU940601A1 (ru) | 1980-12-29 | 1980-12-29 | Способ получения диэлектрических покрытий |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU940601A1 (ru) |
-
1980
- 1980-12-29 SU SU3251240/25A patent/SU940601A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| GB2028228B (en) | Method of coating | |
| SU940601A1 (ru) | Способ получения диэлектрических покрытий | |
| SU980465A1 (ru) | Способ возведения искусственного острова на акватории | |
| SU892881A1 (ru) | Способ получения этилового эфира 2,3-диметилиндолкарбоновой-5-кислоты | |
| SU953798A1 (ru) | Способ получения тетрахлорсилана | |
| SU1193950A1 (ru) | Способ изготовления микроканальных пластин | |
| SU1208765A1 (ru) | Способ получения производных феноксифенилмочевины | |
| SU1037450A1 (ru) | Способ получения истинной ацетилхолинэстеразы | |
| SU841243A1 (ru) | Способ получения гексафторацетона | |
| SU1081999A1 (ru) | Способ получения клея | |
| SU877952A1 (ru) | Способ переработки редкометального сырья | |
| SU1259873A1 (ru) | Способ изготовления пленочных резисторов | |
| SU1196536A1 (ru) | Способ создания вакуума | |
| SU647984A1 (ru) | Способ изготовления диэлектрических деталей | |
| SU925072A1 (ru) | Способ получения 2,5-диметокси-2-диметоксиметил-2,5-дигидрофурана | |
| SU701000A1 (ru) | Способ непрерывного литья | |
| SU1240079A1 (ru) | Способ получения тетрабутоксититана | |
| SU811519A1 (ru) | Способ получения белкового раствора | |
| SU875715A1 (ru) | Способ полунепрерывной разливки металлов | |
| SU1148279A1 (ru) | Способ получения м-фенилендиамина | |
| SU1154974A1 (ru) | Способ изготовления сегнетокерамической мишени | |
| SU1051981A1 (ru) | Способ защиты от коррозии ледоколов и судов ледового плавания | |
| SU1262907A1 (ru) | Способ получения n-винилкарбазола | |
| SU862571A1 (ru) | Полиимидофенилхиноксалинохиназолоны для тепло- и термостойких материалов и способ их получения | |
| SU955654A1 (ru) | Фтороксиды графита и способ их получения |