SU936024A1 - Способ изготовлени трафарета дл ориентации ферритовых сердечников - Google Patents

Description

(54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТРАФАРЕТА ДЛЯ ОРИЕНТАЦИИ ФЕРРИТОВЫХ СЕРДЕЧНИКОВ

1

Изобретение относитс  к вычислительной технике, в частности к технологическим процессам , обеспечивающим изготовление запоминающих устройств на ферритовых сердечниках .

Известен способ изготовлени  трафаретов дл  ориентации ферритовых сердечников заключающийс  в формировании сквозных отверстий в металлической пластине путем химического травлени  1.

Недостатками трафарета, полученного указанным способом,  вл етс  наличие растравов в местах образовани  сквозных отверстий и низка  механическа  прочность.

Наиболее близким по техническому рещению к предложенному  вл етс  способ изготовлени  трафарета дл  ориентации ферритовых сердечников, заключающийс  в нанесении фоторезиста на поверхность металлической пластины, экспонировании через фотощаблон и про влении экспонированного изображени  с образованием в металлической пластине участков, свободных от фоторезиста, нанесении на эти участки защитного покрыти , например никелевого , удалении фоторезиста с поверхности

металлической пластины, формировании сквозных отверстий в металлической пластине методом травлени  2.

Недостатком этого способа изготовлени  трафарета  вл етс  образование нависающих слоев металла над отверсти ми в област х растрава пластины, что снижает срок службы трафарета, и отсутствие в трафарете вертикальности стенок сквозных отверстий.

Цель изобретени  - повыщение надежности трафарета.

Эта цель достигаетс  тем, что согласно способу изготовлени  трафарета дл  ориентации ферритовых сердечников сформированные сквозные отверсти  в металлической пластине заполн ют, например, фоторезистом , а затем производ т термообработку, превраща  фоторезист в стеклообразное состо ние.

На чертеже представлена последовательность технологических операций предложенного способа.

Способ изготовлени  трафарета заключаетс  в следующем.

Бронзовую фольгу 1 (опорную пластину), толщиною примерно 0,1 мм, обезжиривают и на обеих ее поверхност х формируют фоторезистивные слои ЭД, толщина которых равна толщине будущих никелевых слоев, путем экспонировани  и про влени  создают фоторезистивный рельеф 3 (в), обнажа  поверхность опорной пластины 1 в местах расположени  перемычек 4 между отверсти ми будущего трафарета. Затем производ т гальваническое наращивание слоев никел  5 (г) на вскрытых участках опорной пластины 1, т. е. в местах расположени  перемычек. После удалени  фоторезистивного рельефа опорна  пластина 1 защищена сло ми никел  5 в местах расположени  перемычек и свободна от никел  в местах расположени  отверстий будущего трафарета (д). Поэтому при последующем травлении опорной пластины 1 в трав щем растворе, не действующем на никель, формируютс  сквозные отверсти  6 (е). В силу изотропии травлени  сравнительно толстой опорной пластины 1 отверсти  6 имеют в сечении форму песочных часов, и участки 7 никелевых слоев нависают над отверсти ми. При заполнении трафарета ферритовыми сердечниками тонкие никелевые слои на участках нависани  7 разрущаютс  и размеры ориентирующих отверстий трафарета определ ютс  уже размерами отверстий в опорной пластине 1 из берилиевой бронзы, т. е. значительно отличаютс  от заданных. Практически из-за этого трафарет становитс  непригодным дл  дальнейшей эксплуатации после 2-3 заполнений ферритовыми сердечниками. После формировани  отверстий в опорной пластине 1 производ т их заполнение материалом 8 (ж), обладающим анизотропией травлени , например фоторезистом. Эта операци  может быть выполнена путем окунани  заготовки трафарета с предварительно сформированными р;рверсти ми в фоторезист. При этом фоторезист заполн ет отверсти  6 и удерживаетс  силами поверхностного нат жени . После просущивани  заготовку трафарета экспонируют через предварительно совмещенные

фотошаблоны 9 (з). Экспонирование можно проводить и без фотошаблонов в случае, если контур ориентирующих отверстий в никелевых сло х четкий и размеры отверстий соответствуют заданным. Роль фотошаблонов при этом выполн ют слои никел . После про влени , т. е. удалени  проэкспонированных участков фоторезиста в про вл ющем растворе, трафарет подвергают термообработке при 80-100°С в течение 10-15 мин. При этом неэкспонированный фоторезист под непрозрачными участками фотошаблона и под никелевыми сло ми в област х растрава опорной пластины задубливаетс  и принимает стеклообразное состо ние .

Предложенный способ не содержит сложных операций и позвол ет изготавливать трафареты без применени  спецоборудовани .

Claims (2)

1.Патент Японии № 52-4416, кл. 97 (7) G11, опублик. 1978.

2.Патент Японии № 52-4136,

кл. 97 (7) G11, опублик. 1978 (прототип).

X XXXXVXXXXXXXXX XX

а ХХХХХХХХХХХУХ XX ХХХХХХх ХХХХХх КХХ

ХХХУХХХ XXX ХХХХХХ X ХХХХХХХХХХХХХХ

х ххххххххххххххХ

VA

VXX Хх X ХХХХХХХХХХХХ

XX ХХХХХХХХХХХХХХХ XX X ХХХХХХХХХХХХХХХ

X X X XX ХХХХХ XXVxXXXXX

г -X X XX ХХХХХ ХХХХХХХХХ XX XXXXVXX ХХХХХХХХХХ

9 X X X X XX X X ХХХХХХХХХХХХ -X X XXX X X ХХХХХХХХХХХХ X XV XX X X ХХХХХХХХХХХХХ

LA

Sтгч