SU915123A1 - Электростатическая система отклонения 1 • - Google Patents
Электростатическая система отклонения 1 • Download PDFInfo
- Publication number
- SU915123A1 SU915123A1 SU802977311A SU2977311A SU915123A1 SU 915123 A1 SU915123 A1 SU 915123A1 SU 802977311 A SU802977311 A SU 802977311A SU 2977311 A SU2977311 A SU 2977311A SU 915123 A1 SU915123 A1 SU 915123A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- deflecting
- deflection system
- electrostatic deflection
- plates
- strips
- Prior art date
Links
Landscapes
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
Изобретение относится к электронной оптике,, в частности к электроннолучевым приборам, и может быть использовано для отклонения пучка заряженных частиц.
Известна электростатическая система отклонения, содержащая две пластины произвольной формы, расположенные симметрично относительно ее средней плоскости, и два внешних охватывающих пластины электрода, размещенных симметрично относительно средней плоскости [1].
Однако, в случае отклонения пучка в обоих направлениях, применение таких систем затруднено из-за их громоздкости и сложности.
Известна также электростатическая система отклонения, содержащая отклоняющие пластины, выполненные в виде ряда полос, расположенных по конической или цилиндрической поверхности параллельно образующим [2].
Однако, во время работы системы в местах соприкосновения, пластин с изолирующим цилиндром, на изоляционном материале последнего наводятся электростатические заряды. Кроме того, в промежутках между пластинами могут оседать заряженные час2
тицы, что приводит к образованию «плаваю· щего» заряда на изоляторе. Эти заряды искажают необходимую однородность отклоняющего поля и создают различного рода аберрации.
5 Цель изобретения — улучшение однородности отклоняющего поля и уменьшение аберрации отклоняющей системы.
Указанная цель достигается тем, что в известной электростатической системе отклонения, содержащей отклоняющие пластины, выполненные в виде ряда полос, расположенных по конической или цилиндрической поверхности параллельно образующим, полосы, составляющие отклоняющую пластину, установлены на отдельных кольцах с 15 их внутренней стороны, причем последние фиксированы между собой центрирующими стержнями, проходящими через отверстия в кольцах, между которыми расположены изоляционные шайбы.
2θ На фиг. 1 изображена отклоняющая система; на фиг. 2 — разрез Б—Б на фиг. 1; на фиг. 3 — отклоняющая пластина; на фиг. 4 вид В на фиг. 3.
Отклоняющая система (фиг. 1 и 2) содержит отклоняющие пластины 1, сцентри915123
4
3
рованные изоляционными стержнями 2, основание 3, изоляционные шайбы 4, прижимное
кольцо 5, крепежный винт 6, установочные
винты 7.
Отклоняющая пластина 1 (фиг. 3 и 4) состоит из полос 8, расположенных по об- 5 щей, например, цилиндрической поверхности параллельно образующей цилиндра, закрепленных на кольце 9. Кольцо имеет два центровочных отверстия 10 под стержни 2, размещенных диаметрально противополож- но оптической оси системы, и три отверстия 10 11 для прохода винтов 6.
В сборе стержни 2 центрируют отклоняющие пластины 1 так, что полосы одной пластины, вложенные между полосами, составляющими другие пластины, располагаются по одной общей поверхности С. При этом винт 6 через прижимное кольцо 5 и дистанционные изоляционные шайбы 4 надежно фиксируют систему в собранном виде.
В этой конструкции стержни 2 и шайбы 4, изготовленные из изоляционных материалов, ю расположены вне рабочей зоны системы, экранированы от нее набором полос 8 отклоняющих пластин. Это сводит к минимуму вредное влияние электростатических зарядов, возникающих во время работы системы 15 на изоляторах на распределение поля между пластинами.' Отклоняющее поле становится однородней, устраняются различного рода аберрации.
Предлагаемая конструкция отклоняющей системы не требует сложной юстировки, имеет меньшие искажения электронного пятна и растра. Она может найти применение в электроннолучевых приборах различного типа с электростатическим отклонением луча.
Claims (1)
- Формула изобретенияЭлектростатическая система отклонения, содержащая отклоняющие пластины, выполненные в виде ряда полос, расположенных по конической или цилиндрической поверхности параллельно · образующим, отличающаяся тем, что, с целью улучшения однородности отклоняющего поля, полосы, состав ляющие отклоняющую пластину, установлены на отдельных кольцах с их внутренней стороны, причем последние фиксированы между собой центрирующими стержнями, проходящими через отверстия в кольцах, между которыми расположены изоляционные шайбы.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802977311A SU915123A1 (ru) | 1980-09-03 | 1980-09-03 | Электростатическая система отклонения 1 • |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802977311A SU915123A1 (ru) | 1980-09-03 | 1980-09-03 | Электростатическая система отклонения 1 • |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU915123A1 true SU915123A1 (ru) | 1982-03-23 |
Family
ID=20915970
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU802977311A SU915123A1 (ru) | 1980-09-03 | 1980-09-03 | Электростатическая система отклонения 1 • |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU915123A1 (ru) |
-
1980
- 1980-09-03 SU SU802977311A patent/SU915123A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5019706A (en) | Ion cyclotron resonance spectrometer | |
| US4002912A (en) | Electrostatic lens to focus an ion beam to uniform density | |
| US2859378A (en) | Electrode system for cathode ray tubes | |
| GB1305523A (ru) | ||
| US4317065A (en) | Color picture tube having an improved electron gun with expanded lenses | |
| US4823003A (en) | Charged particle optical systems having therein means for correcting aberrations | |
| US4766314A (en) | Lens arrangement for the focusing of electrically charged particles, and mass spectrometer with such a lens arrangement | |
| US4409487A (en) | Electrode arrangement for electrostatic deflection system | |
| US5041731A (en) | Deflection compensating device for converging lens | |
| US2412687A (en) | Electron lens | |
| SU915123A1 (ru) | Электростатическая система отклонения 1 • | |
| KR950027891A (ko) | 컬러음극선관 | |
| US4866279A (en) | Device for the reflection of a low-energy ion beam | |
| US4774408A (en) | Time of flight mass spectrometer | |
| US3900760A (en) | Electron beam tube having post deflection lens | |
| US2617077A (en) | Electrostatic deflection system for cathode-ray tubes | |
| US4188560A (en) | Flanged cylindrical electron multipliers | |
| JP2816849B2 (ja) | 静電偏向器 | |
| US4682073A (en) | Electron optics for the electron beam generating system of a color picture tube | |
| US3558879A (en) | Electrostatic deflector for selectively and adjustably bending a charged particle beam | |
| US3317769A (en) | Cathode-ray tube having a quadripole electrostatic focusing lens | |
| US3649862A (en) | Separated ion beam source with adjustable separation | |
| US3544836A (en) | Slot stigmator | |
| US3379874A (en) | Ion source for a mass spectrometer with specific electrode structure to accelerate and focus ions | |
| US3202864A (en) | Electron beam device having divergent emission electron gun |