SU907885A1 - Зондова головка - Google Patents

Description

f Б) ЗОНДОВАЯ ГОЛОВКА

Изобретение Относитс  к технологическому оборудованию электронной промышленности, а именно к установкам контрол  и исследовани  полупроводниковых структур. Известны зондовые головки, аыполненные в виде игольчатых зондов, размещенных в держател х, соединенных с механизмом нагружени  зондЪв fl Однако вследствие индивидуального нагружени  зондов, их контактные давлени  не идентичны, что в значительной степени вли ет на достоверность результата измерений. Известна также зондова  головка, содержаща  корпус с закрепленными в нем изолированными друг от друга зондами, механизм нагружени  зондов, выполненный в виде подпружиненного толкател  и пакета балочных опор J 2 Недостатком известного устройства  вл етс  неплавное нагружение зондов , а также изменейие упругих свойст пружины нагружени  в процессе эксплу атации, что ведет к нестабильности параметров головки и значительным погрешност м при измерении. Цель изобретени  - повышение точности контрол . Поставленна  цель достигаетс  тем, что в зондовой головке, преимущественно дл  контрол  полупроводниковых структур, содержащей корпус, основание , в диэлектрических направл ю(|(их которого размещены зонды, механизм нагружени  зондов с пакетом балочных опор и толкатели, механизм нагружени  зондов снабжен парой посто нных магнитов, размещенных в корпусе один над другим одноименными полюсами навстречу , один другому и выполненных с возможностью взаимодействи  через толкатель со сферической поверхностью с пакетом балочных опор. На чертеже изображена принципиальна  схема зондовой головки. Зондова  головка состоит из корпуса 1 с крышкой 2, выполненной из

магнитом гкого материала, внутри которого размещен механизм нагружени  зондов, включающий пару посто нных магнитов 3 и 1, расположенных навстречу один другому одноименными полюсами . Регулировочный винт 5 служит дл  ограничени  перемещени  магнита. Магнит k через толкатель 6 опираетс  на центр начальной балки пакета балочных опор 7. На корпусе гайкой 8 закреплено основание 9 с диэлектрическими направл ющими 10, в которых расположены зонды 11. Зонды 11 нерабочими концами попарно опираютс  на равноотсто щие от середины концы замыкающих балок пакета балочных опор

Устройство работает следующим образом.

При опускании зондовой головки на контролируемую полупроводниковую структуру 12, зонды 11, вход  в соприкосновение со структурой 12, перемещаютс  в диэлектрических направл ющих 10 основани  9 и воздействуют на толкатель 6 (через пакет балочных опор 7) f представл ю чий собой цилиндрический стержень, который сферической поверхностью воздействует на магнит , сближа  его с магнитом 3 Вследствие того, что магниты 3 и направлены друг к другу одноименными полюсами, силы взаимодействи  их магнитных полей, стара сь сохранить первоначальное положение магнитов 3 и 4, создают давление на зонды 11, необходимое дл  надежного контактировани  их с полупроводниковой структурой 12.

Усилие давлени  зондов 11 на структуру 12 зависит от начального положени  магнита 2 в осевой направлении , которое устанавливаетс  регулировочным винтом 5

Конструкци  зондовой головки позвол ет исключить необходимость индивидуальной подгонки зондов по давлению на структуру, что значительно снижает себестоимость изготовлени  зондовой голрвки. Применение вместо пружинных элементов в устройствах нагружени  посто нных магнитов , в. свою очередь, позвол ет стабилизировать параметры зондовой грловки , а значит и увеличить достоверность результатов контрол .

Claims (2)

1.Авторское свидетельство СССР tf , кл. Н 05 К l/Qi, 197.

2.Авторское свидетельство СССР

№ , кл. н 05 к 1/04, 197

(прототип).