SU892399A1

SU892399A1 - Monochromatic lens for projection photolithography

Info

Publication number: SU892399A1
Application number: SU772541514A
Authority: SU
Inventors: Сергей Тимофеевич Бобров; Борис Николаевич Котлецов; Юрий Георгиевич Туркевич
Original assignee: Предприятие П/Я Х-5263
Priority date: 1977-11-09
Filing date: 1977-11-09
Publication date: 1981-12-23

Description

(54) МОНОХРОМАТИЧЕСКИЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ ПРОЕКЦИОННОЙ(54) MONOCHROMATIC LENS FOR PROJECTION

ФОТОЛИТОГРАФИИPHOTO LITERATURE

Изобретение относитс к оптическому приборостроению и может найти применение в проекционной фотолитографии. Известен р д линзовых и зеркальнолинзовых объективов, предназначенных дл целей проекционной фотолитографии И Однако эти объективы содержат большое количество компонентов - lO-16 линз, что создает сложности расчета, изготовлени и эксплуатации объектов и привод т к высокой стоимости их. Наиболее близким к предлагаемому i вл етс мсиохроматический объектив. Состо щий из одной апланатической голографической линзы, обладающей минималь ными цл голо графических линз аберраци ми 12} Голографическа линза выполнена в виде зонной пластины с радиусами г колец, описываемыми въфажением Г 1 где - фокусное рассто ние пластинър, Я - длинй волны света; h - пор дковый кольца. Предельные пол , обеспечиваемые такой линзой, при волновых аберраци х, не превъпиающих 0,25 X , составл ют величину 2ii l,3cA-f, где 2, - диаметр пол изображени , (А - разрешение,f - фокусное рассто ние линзы; Я - длина, волны. Однако малъю пол изображени , полу- чаемъю с такой линзой, ограничивают возможности использовани ее дл проекционной фотолитографии. Цель изобретени - увеличение пол изображени объектива с сохранением его въгсокого качества. Поставленна цель достигаетс тем, то, в монохроматический объектив, содеращий голографическую линзу в виде зоной пластинки, введены втора аналогича Голографическа линза и апертурна The invention relates to optical instrumentation and can be used in projection photolithography. A number of lens and mirror-lens lenses are known, designed for projection photolithography purposes. However, these lenses contain a large number of components — lO-16 lenses, which make it difficult to calculate, manufacture and operate objects and result in their high cost. Closest to the proposed i is a microchromatic lens. Consisting of a single aplanatic holographic lens with minimal holographic lens lenses aberrations 12} The holographic lens is made in the form of a zone plate with radii of g rings described by the injection of G 1 where is the focal distance of the plates, I - the wavelength of light; h is the order ring. The marginal fields provided by such a lens, with wave aberrations not exceeding 0.25 X, amount to 2ii l, 3cA-f, where 2 is the diameter of the image, (A is the resolution, f is the focal length of the lens; I - length, waves. However, the small field of the image obtained with such a lens limits its use for projection photolithography. The purpose of the invention is to increase the image field of the lens while preserving its vigorous quality. The goal is achieved by having a monochromatic lens containing holographic lens as a zone plate, introduced a second similar holographic lens and an aperture

диафрагма, причем радиусы г копец голографических пинэ подчин ютс уравнениюa diaphragm, with the radii r kopets holographic pine obey the equation

p ,p,

- фокусное рассто ние линзы; - focal length of the lens;

где X - длина волны света; п - пор дковый номер кольца; линзы расположены на фокусном paccToj НИН друг от друга, а апертурна диафрагма расположена между голографическими линзами на одинаковых рассто ни х от них.where X is the wavelength of light; n is the serial number of the ring; The lenses are located on the focal paccToj NIN from each other, and the aperture diaphragm is located between the holographic lenses at equal distances from them.

На чертеже изображена оптическа схема обьектвва.The drawing shows the optical layout of the object.

Обьектйв, сфокусированный на объект 1, содернснт гопографическае линзы 2 и 3 н апертурную 4. Отображение, ппосжости объекта 11роисходит в плос сость изображени обьекта 5.The object, focused on object 1, is concentrated on the topographic lenses 2 and 3 on the aperture 4. The display of the object 11 is in flatness of the image of object 5.

Объект 1 расположен в фокальной плоскости первой гопографической линзы 2, рассто ние мужду гопографическими линзами 2 и 3 равно фокусному рассто нию линзы, разрешение всей системы определено апертурной диафрагмой 4, расположенной между линзами 2 и 3 на одинаковом рассто нии от них. Обе голографические линзы 2 и 3 вьтолнены в виде зон11ЫХ пластинок с радиусами колецObject 1 is located in the focal plane of the first holographic lens 2, the distance between the topographic lenses 2 and 3 is equal to the focal length of the lens, the resolution of the entire system is determined by the aperture diaphragm 4 located between the lenses 2 and 3 at the same distance from them. Both holographic lenses 2 and 3 are made in the form of zone plates with radii of rings.

1one

{И {AND

где - фокусное рассто ние линзы, Я - длина волны света; П - пор дковый номер кольца.where is the focal length of the lens, I is the wavelength of the light; P is the serial number of the ring.

//

Плоскость изображени обьекта 5 расположена в фокальной плоскости второй голографической линзы 3.The image plane of object 5 is located in the focal plane of the second holographic lens 3.

Claims

1. Optical-mechanical industry, 1967, No. I, p. 60

2. Quantum Electronics, 1972, 35 № 3, (9), s, 1O (prototype).

(

/

Have

Jl