SU889742A1 - Вакуумный затвор - Google Patents
Вакуумный затвор Download PDFInfo
- Publication number
- SU889742A1 SU889742A1 SU802908997A SU2908997A SU889742A1 SU 889742 A1 SU889742 A1 SU 889742A1 SU 802908997 A SU802908997 A SU 802908997A SU 2908997 A SU2908997 A SU 2908997A SU 889742 A1 SU889742 A1 SU 889742A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- flange
- housing
- vacuum
- seal
- vacuum gate
- Prior art date
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/564—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases
- C23C14/566—Means for minimising impurities in the coating chamber such as dust, moisture, residual gases using a load-lock chamber
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
Description
Изобретение относитс к вакуумной технике и может быть использовано в вакуумном технологическом обору довании. Известен вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещени f 1 Однако этот вакуумный затвор имеет недостаточно высокую надежность уплотнени , обусловленную тем, что отверстие в корпусе уплотн етс толь ко в одном месте. Поэтому при наруше нии уплотнени в этом месте происходит разгерметизаци вакуумной системы . Кроме того, необходимость слож ной конструкции привода, вызванна взаимным расположением отверсти и фланца с уплотнением, также снижает надежность уплотнени . Наиболее близким по технической сущности вл етс вакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещени , причем на сопр гаемых поверхност х корпуса и фланца выполнены соответственно углублени и выступ. Этот затвор имеет более простую конструкцию . Недостаток данного затвора заключаетс в том, что при вьтолнении фланца с уплотнением цилиндрической формы надежность герметизации вл етс недостаточно высокой, так как в этом случае имеет место неравномерное распределение усилий по криволинейной поверхности углублени в корпусе в месте уплотнени . Цель изобретени - повьшение надежности герметизации. Указанна цель достигаетс тем, что в вакуумном затворе, содержащем корпус с отверстием, фланец с уплотнением , соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещени , причем на сопр гаемых поверхност х
Claims (1)
- Формула изобретенияВакуумный затвор, содержащий корпус с отверстием, фланец с уплотнением, соединенный с приводом возвратно-поступательного перемещения, причем на сопрягаемых поверхностях корпуса и фланца выполнены соответственно углубление и выступ, отли чающий'с я тем, что, с целью повышения надежности герметизации, углубление и выступ сопрягаемых поверхностей корпуса и фланца выполнены трапецеидальной формы.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802908997A SU889742A1 (ru) | 1980-04-09 | 1980-04-09 | Вакуумный затвор |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU802908997A SU889742A1 (ru) | 1980-04-09 | 1980-04-09 | Вакуумный затвор |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU889742A1 true SU889742A1 (ru) | 1981-12-15 |
Family
ID=20889264
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU802908997A SU889742A1 (ru) | 1980-04-09 | 1980-04-09 | Вакуумный затвор |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU889742A1 (ru) |
-
1980
- 1980-04-09 SU SU802908997A patent/SU889742A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5050764A (en) | Lateral compression sealing system and method of making seal | |
| ATE163741T1 (de) | Abdichtung | |
| US3740981A (en) | Closure device for locks | |
| SE7902156L (sv) | Klaffventil | |
| CA2019761A1 (en) | Tamper-evident, flexible, reclosable packages | |
| ES279896U (es) | Un dispositivo de conectador electrico, protegido contra la entrada de humedad | |
| ATE93345T1 (de) | Feuchtigkeitssichere abdichtung fuer koaxialverbinder. | |
| EP0151029A3 (en) | Ring seal for contaminant trapping | |
| CA2113878A1 (en) | Shaft seal and bore assembly | |
| SU889742A1 (ru) | Вакуумный затвор | |
| CA2123862A1 (en) | Hose connector for a vacuum | |
| BR8603525A (pt) | Panela de pressao | |
| US5632628A (en) | Header for use in a pressurized disc drive | |
| GB2008022A (en) | Outsert moulding | |
| EP0113949A3 (en) | High flow valve with accelerating cam equipped moveable cup | |
| EP0377493A3 (en) | Reactor coolant pump auxiliary flexible vacuum seal for reactor coolant system vacuum degasification | |
| GB1397705A (en) | Liquid sealing traps | |
| DE3365528D1 (en) | Multiple way gate valve | |
| RU2051305C1 (ru) | Затвор крупногабаритной горизонтальной вакуумной камеры | |
| ES8507668A1 (es) | Perfeccionamientos en un freno de disco | |
| SU666364A1 (ru) | Фланцевое высоковакуумное соединение | |
| USD275652S (en) | Bottle | |
| SU393154A1 (ru) | Замковое устройство для герметичной крышки | |
| SU1590779A1 (ru) | Радиальное уплотнение | |
| FR2630471B1 (fr) | Joint destine a l'etancheite laterale d'un clapet de barrage |