SU849425A1 - Mechanical resonator - Google Patents

Mechanical resonator Download PDF

Info

Publication number
SU849425A1
SU849425A1 SU782594913A SU2594913A SU849425A1 SU 849425 A1 SU849425 A1 SU 849425A1 SU 782594913 A SU782594913 A SU 782594913A SU 2594913 A SU2594913 A SU 2594913A SU 849425 A1 SU849425 A1 SU 849425A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
resonator
mechanical
mechanical resonator
sections
axis
Prior art date
Application number
SU782594913A
Other languages
Russian (ru)
Inventor
Наталия Яковлевна Ардеевская
Арнольд Вольдемарович Аугерт
Дмитрий Васильевич Плетнев
Original Assignee
Предприятие П/Я В-2962
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Предприятие П/Я В-2962 filed Critical Предприятие П/Я В-2962
Priority to SU782594913A priority Critical patent/SU849425A1/en
Application granted granted Critical
Publication of SU849425A1 publication Critical patent/SU849425A1/en

Links

Landscapes

  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Description

(34) МЕХАНИЧЕСКИЙ РЕЗОНАТОР(34) MECHANICAL RESONATOR

1one

Насто щее изобретение-относитс к радиоэлектронике и может быть использовано в электромеханических, фильтрах крутильных колебаний.The present invention relates to radio electronics and can be used in electromechanical, torsional filters.

Известен резонатор крутильных колебаний , выполненный в виде кварцевого стержн  пр моугольного сечени , снабженного сквозными щел ми 1 .A torsional vibration resonator made in the form of a quartz rod of rectangular cross-section, equipped with through holes 1, is known.

Недостатком известного резонатора  вл етс  невозможность уменьшени  габаритов на основной частоте.A disadvantage of the known resonator is the impossibility of reducing the dimensions at the fundamental frequency.

Из-вестен также механический резонатор , выполненный в виде монолитной пластины, состо щей из трех секций, симметричных относительно оси резонатора , образованных с помощью системы пазов ,.расположенных по граничащим боковым гран м и скрепленных по оси резонатора 2.Also known is a mechanical resonator, made in the form of a monolithic plate consisting of three sections, symmetrical about the axis of the resonator, formed by a system of grooves, located along the adjacent lateral edges and fastened along the axis of the resonator 2.

Недостатком известной конструкции резонатора  вл етс  то, что низкочастотные резонаторы, выполненные по этой конструкции, характеризуютс  значительными габаритами..A disadvantage of the known design of the resonator is that the low-frequency resonators made according to this design are characterized by considerable dimensions.

Цель изобретени  - уменьшение габаритов без снижени  надежности.The purpose of the invention is to reduce the size without reducing reliability.

Указанна  цель достигаетс  тем, что в механическом резонаторе, выполненном в виде монолитной пласти-.This goal is achieved by the fact that in a mechanical resonator made in the form of a monolithic plate.

ны, состо щей из трех секций, симметричных относительно оси резонатора , образованных с помощью системы пазов, расположенных по граничащим боковым гран м и скрепленных по оси резонатора, средн   секци  выполнена из д;вух замкнутых участков пластины сотверсти ми, расположенных и скрепленных по оси резонатора.The middle section is made of three sections, symmetrical with respect to the axis of the resonator, formed by a system of grooves located on the adjacent side faces and fastened along the axis of the resonator, the middle section is made of e; .

toto

На фиг. 1 и 2 показаны примеры конкретного выполнени , предлагаемого механического резонатора.FIG. 1 and 2 show examples of a specific embodiment of the proposed mechanical resonator.

Механический резонатор .содержит крайние секции 1 соединенные средней Mechanical resonator. Contains extreme sections 1 United Medium

15 секцией 2.15 section 2.

Средн   секци  2 выполнена в виде двух замкнутых участков 3 пластины с отверсти ми, расположенных и скрепленных по оси резонатора в области 4, The middle section 2 is made in the form of two closed sections 3 of a plate with openings located and fastened along the axis of the resonator in region 4,

20 а с крайними секци ми - в област х 5.20 and with the extreme sections in areas 5.

Механический .резонатор работает следующим образом.Mechanical. Resonator works as follows.

В воз бужденном механическом резонаторе крайние секции работают в ре25 жиме крутильных колебаний, а средн   преимущественно в режиме изгиба.In the excited mechanical resonator, the outer sections operate in the mode of torsional oscillations, and the average predominantly in the mode of bending.

При использовании механического резонатора в электромеханическом фильтре крутильных колебаний резо30When using a mechanical resonator in an electromechanical filter of torsional vibrations,

натор возбуждаетс  самосто тельно с помощью механических св зок.The actuator is self-excited by mechanical bindings.

В том слу.чае, когда резонатор используетс  в качестве пассивной пластины составного электромеханичес кого преобразовател , возбуждение его осуществл етс  за счет пьезоэффекта активной части. Последн   может быть выполнена в виде пьезопластин , механически соединенных со средней секцией пассивной пластины , или в виде пьеэосло , выполненного на среднюю секцию.In the case when the resonator is used as a passive plate of a composite electromechanical transducer, its excitation is carried out due to the piezoelectric effect of the active part. The latter can be made in the form of piezoplates, mechanically connected to the middle section of the passive plate, or in the form of a piezo-plate, made on the middle section.

При подаче электрического напр жени  соответствующей пол рности на электроды пьезоучастков, пол ризованных по толщине, в пьезоучастках возникают деформации, в результате . которых на крайних секци х резонатора по вл ютс  силы, создающие крут щий момент относительно- оси резонатора , а средн   секци  работает в режиме изгиба, что обуславливает меньшее механическое сопротивление.When electrical voltage of the corresponding polarity is applied to the electrodes of the piezo-sections, polarized in thickness, deformations occur in the piezo-sections, as a result. in the extreme sections of the resonator, forces appear that create a torque with respect to the axis of the resonator, and the middle section operates in the bending mode, which causes less mechanical resistance.

Предлагаемый механический резонатор позвол ет использовать современные технологические методы изготовлени  (фотолитографи , групповое химическое травление, напыление пьезослоев на металлические подложки) и создает предпосылки дл  создани  единого технологического цикла изготовлени  резонансных систем фильтров . При этом пассивную пластинуThe proposed mechanical resonator allows the use of modern technological methods of manufacture (photolithography, group chemical etching, deposition of piezolayers on metal substrates) and creates prerequisites for creating a single technological cycle for fabricating resonant filter systems. At the same time passive plate

целесообразно изготавливать толщиной пор дка 0,1-0,2 мм из элинварных сплавов с малым значением температурного коэффициента частоты, а пьезоактивную часть в виде пьезопластин толщиной 0,1-0,2 мм из пьезокерамики состава ЦТС, или в виде напыленного пьезосло  толщиной пор дка нескольких дес тков микрон.It is advisable to make a thickness of the order of 0.1-0.2 mm from elinvarnyh alloys with a small value of the temperature coefficient of frequency, and the piezoactive part in the form of piezoplates 0.1-0.2 mm thick from the piezoceramics of the PZT composition several tens of microns.

Claims (2)

1.Авторское саидетельство СССР № 253162, кл. Н 03 Н 3/02, 17.04.68-.1. USSR author's certificate No. 253162, cl. H 03 H 3/02, 04/17/68. 2.Авторское свидетельство СССР № 433622,.кл. Н 03 Н 9/26, 14:02.72 (прототип).2. USSR author's certificate number 433622, .kl. H 03 H 9/26, 14: 02.72 (prototype).
SU782594913A 1978-03-27 1978-03-27 Mechanical resonator SU849425A1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782594913A SU849425A1 (en) 1978-03-27 1978-03-27 Mechanical resonator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU782594913A SU849425A1 (en) 1978-03-27 1978-03-27 Mechanical resonator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU849425A1 true SU849425A1 (en) 1981-07-23

Family

ID=20755445

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU782594913A SU849425A1 (en) 1978-03-27 1978-03-27 Mechanical resonator

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU849425A1 (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3531522B2 (en) Piezoelectric resonator
EP1170862B1 (en) Piezoelectric resonator and piezoelectric filter using the same
US5962786A (en) Monolithic accelerometric transducer
JPH0230449B2 (en)
EP0427177B1 (en) Vibrator
WO2007088696A1 (en) Piezoelectric oscillator
GB2141231A (en) Force sensors
JP3514224B2 (en) Piezoelectric resonator, filter and electronic device
GB2188421A (en) Vibrating beam force transducer with a-frame beam root and frequency adjusting means
US5285127A (en) Single mode resonator and method
SU849425A1 (en) Mechanical resonator
JP2010226610A (en) Bent vibrating piece and oscillator employing the same
CN1574622B (en) Piezoelectric resonator component
GB2047954A (en) Tuning fork type piezo-electric vibrator
Plessky et al. 3 rd type of FBARs?
US3566166A (en) Mechanical resonator for use in an integrated semiconductor circuit
US11489511B2 (en) Highly dispersive bulk acoustic wave resonators
JPH0228922B2 (en) ATSUDENSHINDOSHI
JP5034540B2 (en) Piezoelectric vibrator, oscillator
JPS6177123A (en) Actuator for driving head
JPH0150134B2 (en)
JP2011151667A (en) Piezoelectric resonator
JPH0356013B2 (en)
JP2958004B2 (en) Device using domain-inverted LiNbO 3 substrate
JPH11340777A (en) Piezoelectric oscillating element