SU847099A1 - Piezo-resonance vacuum meter - Google Patents
Piezo-resonance vacuum meter Download PDFInfo
- Publication number
- SU847099A1 SU847099A1 SU792718250A SU2718250A SU847099A1 SU 847099 A1 SU847099 A1 SU 847099A1 SU 792718250 A SU792718250 A SU 792718250A SU 2718250 A SU2718250 A SU 2718250A SU 847099 A1 SU847099 A1 SU 847099A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- mixer
- vacuum
- oscillator
- output
- piezoelectric element
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
1one
Изобретение относитс к измерительной технике, в частности, к измерител м вакуума .The invention relates to a measurement technique, in particular, to vacuum gauges.
Известны измерители вакуума, например термопарные вакуумметры и вакуумметры сопротивлени 1.Vacuum gauges are known, for example, thermocouple vacuum gauges and resistance vacuum gauges 1.
Недостаток этих вакуумметров - мала точность измерени .The disadvantage of these vacuum gauges is low measurement accuracy.
Известен вакуумметр, содержащий первый автогенератор, в цепь которого включен пьезоэлектрический элемент в виде термочувствительного кварцевого диска Y среза с напыленным на нем резонатором и нагревателем , второй автогенератор, в который включен резонатор опорного генератора , и смеситель 2.Known gauge containing the first oscillator, the circuit of which includes a piezoelectric element in the form of a heat-sensitive quartz disc Y cut with a sprayed on it resonator and heater, the second oscillator, which includes a reference oscillator, and a mixer 2.
Недостаток такого вакуумметра - мала точность преобразовани .The disadvantage of such a vacuum gauge is low conversion accuracy.
Цель изобретени - повышение точности измерений.The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy.
Поставленна цель достигаетс тем, что вакуумметр снабжен третьим автогенератором и вторым смесителем, при этом на пьезоэлектрическом элементе размещен второй резонатор, который включен в колебательный контур третьего автогенератора, причем этом автогенератор соединен с вхоДОМ смесител , другой вход которого подключен к выходу первого смесител .The goal is achieved by the fact that the vacuum gauge is equipped with a third oscillator and a second mixer, while a second resonator is placed on the piezoelectric element, which is included in the oscillating circuit of the third oscillator, and the oscillator is connected to the mixer input, another input connected to the output of the first mixer.
На фиг. 1 изображена блок-схема пьезорезонансного вакуумметра; на фиг. 2 - зависимости изменени частот на выходах автогенераторов от величины вакуума; на фиг. 3 - зависимость изменени частоты на выходе первого смесител от величины вакуума; на фиг. 4 - зависимость изменени частоты на выходе пьезорезонансного вакуумметра от величины вакуума.FIG. 1 is a block diagram of a piezoresonance vacuum gauge; in fig. 2 - dependence of the frequency change at the outputs of the autogenerators on the magnitude of the vacuum; in fig. 3 - dependence of the frequency change at the output of the first mixer on the magnitude of the vacuum; in fig. 4 shows the dependence of the frequency change at the output of the piezoresonance vacuum gauge on the magnitude of the vacuum.
Пьезорезонансный вакуумметр (фиг. 1) Piezoresonance vacuum gauge (Fig. 1)
10 содержит термочувствительный измерительный пьезоэлектрический элемент 1 (например кварцева пластина Y-среза) с напыленными на нем двум резонаторами 2 и 3 и нагревателем 4. Резонаторы 2 и 3 включены в частотнозадающие цепи автогене15 раторов 5 и 6 соответственно.10 contains a temperature-sensitive measuring piezoelectric element 1 (for example, a Y-cut quartz plate) with two resonators 2 and 3 and a heater 4 sprayed on it. Resonators 2 and 3 are included in the frequency-response circuits of autogenerators 5 and 6, respectively.
Опорный пьезоэлектрический элемент 7 с напыленным резонатором включен в автогенератор 8. Выходы автогенераторов 5 и 8 св заны со входами смесител 9.The reference piezoelectric element 7 with the sprayed resonator is included in the oscillator 8. The outputs of the autogenerators 5 and 8 are connected to the inputs of the mixer 9.
Выходы автогенератора 6 и смесител 9 Outputs of the oscillator 6 and the mixer 9
Claims (2)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792718250A SU847099A1 (en) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | Piezo-resonance vacuum meter |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU792718250A SU847099A1 (en) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | Piezo-resonance vacuum meter |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU847099A1 true SU847099A1 (en) | 1981-07-15 |
Family
ID=20807507
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU792718250A SU847099A1 (en) | 1979-01-29 | 1979-01-29 | Piezo-resonance vacuum meter |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU847099A1 (en) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4959999A (en) * | 1988-02-18 | 1990-10-02 | Seiko Electronic Components Ltd. | Vacuum gauge of thermo-conductive type with quartz oscillator |
RU2627544C2 (en) * | 2015-09-30 | 2017-08-08 | Валерий Владимирович Коваленко | Piezo resonant-viscous vacuum gauge |
RU175121U1 (en) * | 2016-06-08 | 2017-11-21 | Юлия Александровна Солдатова | PRIMARY CONVERTER OF A PIEZER RESONANT VISCOUS VACUUM METER |
-
1979
- 1979-01-29 SU SU792718250A patent/SU847099A1/en active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4959999A (en) * | 1988-02-18 | 1990-10-02 | Seiko Electronic Components Ltd. | Vacuum gauge of thermo-conductive type with quartz oscillator |
RU2627544C2 (en) * | 2015-09-30 | 2017-08-08 | Валерий Владимирович Коваленко | Piezo resonant-viscous vacuum gauge |
RU175121U1 (en) * | 2016-06-08 | 2017-11-21 | Юлия Александровна Солдатова | PRIMARY CONVERTER OF A PIEZER RESONANT VISCOUS VACUUM METER |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US3355949A (en) | Crystal temperature and pressure transucer | |
SU847099A1 (en) | Piezo-resonance vacuum meter | |
SU998874A1 (en) | Device for measuring temperature and mechanical forces | |
JPS5594122A (en) | Thermometer | |
JPS5895230A (en) | Method and apparatus for electronic type temperature measurement | |
SU917003A1 (en) | Device for measuring temperature difference | |
US3400330A (en) | Refractometer that measures the difference in refractive indices of a gas at two frequencies | |
SU855941A1 (en) | Device for determining extremum point of temperature-frequency characteristic of quartz resonators | |
SU1435968A1 (en) | Pressure transducer | |
SU437918A1 (en) | Microbalances | |
SU657255A1 (en) | Ultrasonic flowmeter | |
SU688865A1 (en) | Vibration-type density meter | |
SU757885A1 (en) | Manometric element | |
SU1291829A1 (en) | Device for measuring pressure | |
SU527608A1 (en) | Quartz thermometer | |
SU958876A1 (en) | Device for measuring non-electrical values | |
RU2062998C1 (en) | Level gauge | |
SU1137362A2 (en) | Pressure and temperature pickup | |
SU1293626A1 (en) | Device for determining ultrasound velocity | |
SU842561A1 (en) | Ultrasonic device for measuring parameters of a medium | |
SU543836A1 (en) | Self-tuning mechanical frequency meter | |
SU979903A1 (en) | Differential piezoelectric converter | |
SU737884A1 (en) | Device for measuring electrophysical characteristics of piezoceramic resonators | |
SU913235A1 (en) | Device for measuring ultrasound absorption coefficient | |
SU1187090A1 (en) | Dispersed power meter |