SU847094A1

SU847094A1 - Piezoelectric manometer

Info

Publication number: SU847094A1
Application number: SU792834217A
Authority: SU
Inventors: Адольф Иванович Трофимов; Олег Сергеевич Шмитов; Кирилл Сергеевич Александров; Мария Пантелеймоновна Зайцева; Анатолий Михайлович Сысоев; Юрий Иванович Кокорин
Priority date: 1979-10-30
Filing date: 1979-10-30
Publication date: 1981-07-15

Description

(54) ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ МАНОМЕТР(54) PIEZOELECTRIC MANOMETER

tt

Изобретение относитс к приборостроению , в частности к пьезоэлектрическим манометрам .The invention relates to instrumentation, in particular to piezoelectric pressure gauges.

Известны пьезоэлектрические манометры , содержащие корпус с размещенным в нем пьезорезонатором, по изменению добротности которого суд т об измер емом давлении 1.Piezoelectric pressure gauges are known, which include a housing with a piezoresonator placed in it, according to the change in the quality factor of which a measured pressure 1 is judged.

Известны также пьезоэлектрические манометры , содержащие корпус с установленными в нем пьезоэлементами с системами входных и выходных электродов, генератор и электрическую схему измерени добротности 2.Piezoelectric pressure gauges are also known, comprising a housing with piezo elements installed in it with systems of input and output electrodes, a generator and an electrical circuit for measuring the quality factor 2.

Недостатками этих манометров вл етс мала точност|| и сложность конструкции .The disadvantages of these gauges are low accuracy || and design complexity.

Цель изобретени т- повышение точности и упрощение конструкции.The purpose of the invention is to improve accuracy and simplify the design.

Указанна цель достигаетс тем, что пьезоэлемент закреплен на подвесках в корпусе в узлах сто чей волны собственных изггибных колебаний и жестко соединен своими торцами в плоскости излучающих поверхностей с двум демпфирующими элементами , выполненными в виде пластин, а также тем, что в электрическую схему измерени добротности введен блок выделени второй гармоники изгибной моды колебаний , соединенн{ 1й с выходными электродами пьезоэлемента и тем, что пьезоэлемент выполнен из монокристалла силиката или германата висмута.This goal is achieved by the fact that the piezoelectric element is fixed on the suspensions in the housing in the nodes of the standing wave of its own flexural vibrations and is rigidly connected with its ends in the plane of the radiating surfaces with two damping elements made in the form of plates, and the fact that a second harmonic extraction unit of the flexural mode of oscillation connected to the output electrodes of the piezoelectric element and that the piezoelectric element is made of a single crystal of silicate or bismuth germanate.

На чертеже представлена схема описываемого манометра.The drawing shows the scheme described manometer.

Манометр содержит корпус 1 с гермовыводами 2, на которых на подвесах 3 закреп ,д лен в узлах сто чей волны собственных изгибных колебаний пьезоэлемент 4 жестко соединенный своими торцами в плоскости излучающих поверхностей с двум демпфирующими элементами 5, выполненными в виде пластин. Входна и выходна системыThe pressure gauge includes a housing 1 with sealed leads 2, on which suspensions 3 is fixed, the piezoelectric element 4 is rigidly connected at the emitter stand of its own flexural vibrations 4 rigidly connected with its ends in the plane of the radiating surfaces with two damping elements 5 made in the form of plates. Input and Output Systems

15 электродов пьезоэлемента 4 соединены, соответственно , в электрическую схему измерени добротности, образованную генератором 6, блоком 7 выделени второй гармоники изгибной моды колебаний и регистрирующим прибором 8. Пьезоэлемент 4 выполнен из монокристалла силиката или германата висмута.The 15 electrodes of the piezoelectric element 4 are connected, respectively, to an electrical circuit for measuring the quality factor formed by the generator 6, the second harmonic extraction unit 7 of the bending vibration mode and the recording device 8. The piezoelectric element 4 is made of a single crystal of silicate or bismuth germanate.

Манометр работает следующим образом .The pressure gauge works as follows.

Claims

Claim

1. A piezoelectric pressure gauge, comprising a housing with a piezo element installed in it with input and output electrode systems, an oscillator and an electrical quality measurement circuit, characterized in that, in order to improve the accuracy and simplify the design, the piezoelectric element is fixed on the suspensions in the housing in the standing wave nodes natural bending vibrations and rigidly connected with their ends in the plane of the radiating surfaces with two damping elements made in the form of plates.

2. Pressure gauge by π. 1, characterized in that, in order to increase the sensitivity, a block for separating the second harmonic of the flexural mode of vibration, connected to the output electrodes of the piezoelectric element, is introduced into the Q-factor electrical circuit.

3. Pressure gauge π. 1, characterized in that, in order to improve accuracy and simplify the design, the piezoelement is made of a single crystal silicate or bismuth germanate.