SU842567A1

SU842567A1 - Ультразвуковой способ контрол КАчЕСТВА МНОгОСлОйНыХ издЕлий

Info

Publication number: SU842567A1
Application number: SU792760391A
Authority: SU
Inventors: Владимир Михайлович Колешко; Анатолий Владимирович Гулай
Original assignee: Институт Электроники Ан Белорус-Ской Ccp
Priority date: 1979-04-28
Filing date: 1979-04-28
Publication date: 1981-06-30

Description

Изобретение относится к неразрушающим испытаниям и может быть использовано для контроля качества полупроводниковых приборов и интегральных _ микросхем.

Известен способ контроля шероховатости поверхности изделий, заключающийся в том, что на контролируемую поверхно.сть устанавливают преобразователь, возбуждают его радиоимпуль- ^υсами и определяют резонансную частоту преобразователя до получения максимального значения амплитуда их огибающей [1].

Недостатком известного способа· 15 является низкая точность контроля, так как контроль ведут на низких резонансных частотах.

Наиболее близкий к предлагаемому ультразвуковой способ контроля ка- *0 честВа многослойных изделий заключается в то^, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через . изделие колебания, измеряют инфор— ²⁵мативный их параметр и по его производной судят о качестве изделий [2], Недостатком данного способа также являетс.я низкая точность контроля, .так как на точность определения 30 минимального значения производной амплитудно-частотной характеристики поверхностных волн оказывает влияние· невоспроизводимость качества акустических контактов между поверхностью образца и преобразователями.

Цель изобретения - повышение точности контроля.

Поставленная цель достигается тем, что за информативный параметр принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн.

На фиг, 1 представлена блок-схема устройства, реализующего способ; на фиг. 2 - график зависимости коэффициента от частоты.

Устройство содержит генератор 1 электрических колебаний, модулятор 2, излучающий преобразователь 3; приемный преобразователь 4, усилитель

5,. измеритель 6 нелинейных искажений, индикатор 7 и дифференцирующий блок 8.

Способ осуществляется следующим образом. __

С помощью генератора 1 электрических колебаний возбуждают в образце поверхностные волны различных частот, С помощью приемного преобразова. теля 4 осуществляют прием этих волн.

Электрические колебания с выхода преобразователя поступают через усилитель 5 на измеритель 6 нелинейных искажений.

Используемый в качестве информативного параметра коэффициент нели-, нейных искажений поверхностных волн вычисляется по формуле 'ю где А|- амплитудное значение первой гармоники поверхностной волны;

А·- амплитудное значение 1 гармоники.'5 . .Сигнал, пропорциональный коэффициенту К, подается на один вход индикатора 7, на другой вход которого •поступает сигнал, пропорциональный К* с выхода дифференцирующего блока 20 8, где К* - производная коэффициента нелинейных искажений'.

С помощью модулятора Z осуществляется изменение частоты выходного напряжения генератора 1. 25

Предлагаемый способ позволяет повысить точность контроля многослойных изделий.

Claims

Изобретение относитс к неразрушанадим испытани м и может быть испо эовано дл контрол качества полупроводниковых приборов и интегральн микросхем. Известен способ контрол шероховатости поверхности изделий, заключающийс в том, что на контролируем поверхность устанавливают преобразо ватель, возбуждают его радиоимпульсами и определ ют резонансную частоту преобразовател до получени максимального значени амплитуда их ;огибающей 11., Недостатком известного способа вл етс низка точность контрол , так как контроль ведут на низких резонансных частотах. Наиболее близкий к предлагаемому ультразвуковой спосрб контрол качества многослойных изделий заключаетс в то, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через . изделие колебани , измер ют информатившдй их параметр и по его произ водной суд т о качестве изделий 2 Недостатком данного способа также вл етс. низка точность контрол , ,так как на точность определени минимального значени производной ёмплитудно-частотной характеристики поверхностных волн оказывает вли ние; невоспроизводимрсть качества акустических контактов между поверхностью образца и преобразовател ми. Цель изобретени - повышение точности контрол . Поставленна цель достигаетс тем, что за информативный параметр принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн. На фиг. 1 представлена блок-схема устройства, реашизуювдего способ; I на фиг, 2 - график зависимости коэффициента от частоты. Устройство содержит генератор 1 электрических колебаний, модул тор 2, излучающий преобразователь З; приемный преобразователь 4, усилитель 5,. измеритель 6 нелинейных искажений , индикатор 7 и дифференци1рующий блок 8. Способ осуществл етс следующим :Образом. С помощью генератора 1 электрических колебаний возбуждают в образце поверхностные волны различных .частот , С помо1фью приемного преобразовател 4 осу кествл ют прием этих волн. Электрические колебани с выхода преобразовател поступают через усилитель 5 на измеритель б нелинейнМх искажений. Используемый в качестве информативного параметра коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн шлчисл етс по формуле 15:4«2Л где амплитудное значение первой гармоники поверхностной волны; А. - амплитудное значение i гармоники. . .Сигнал, пропорциональный коэффициенту К, подаетс на один вход индикатора 7, на другой вход которо поступает сигнал, пропорциональный К с выхода дифференцирующего блока 8, где К - производна коэффициент нелинейных искажений . С модул тора 2 осуществл етс изменение частоты выходного напр жени генератора I. Предлагаемый способ позвол ет повысить точность контрол многослойных изделий. Формула изобретени Ультразвуковой способ контрол качества многослойных изделий, заключакицийс в том, что в изделии возбуждают поверхностные волны различных частот, принимают прошедшие через изделие колебани , изл1ер ют информативный их параметр и по его производной суд т р качестве издели о т л ич ающи йс тем, что, с целью повыцгени точности контрол , за информативный па аметрч.принимают коэффициент нелинейных искажений поверхностных волн. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1..Авторское свидетельство СССР № 418791, КЛ. G 01 N 29/04, 1973.
2.Авторское свидетельство СССР W 658468, КЛ. G 01 N 29/04, 1977 ( прототип )

KI

Кз

К,