SU838472A2

SU838472A2 - Thermal manometer

Info

Publication number: SU838472A2
Application number: SU792835489A
Authority: SU
Inventors: Павел Николаевич Аверьянов; Наталья Алексеевна Рамзаева; Константин Константинович Михайлов
Original assignee: Предприятие П/Я М-5539
Priority date: 1979-10-30
Filing date: 1979-10-30
Publication date: 1981-06-15

Description

(54) ТЕПЛОВОЙ МАНОМЕТР(54) HEAT MANOMETER

1one

Изобретение относитс к измерительной технике, в частности к пьезорезонансным тепловым манометрам дл измерени вакуума.The invention relates to a measurement technique, in particular, piezoresonance thermal manometers for measuring vacuum.

По основному авт. св. № 513283, известен тепловой манометр, который содержит корпус, расположенные в нем нагревательный и термочувствител ный элементы, где роль термочувствительного элемента выполн ет кварцевый пьезоэлемент У - среза Til Однако данное устройство характеризуетс недостаточной чувствительностью пьезоэлемента, вызванной неравномерностью его температурного пол .According to the main author. St. No. 513283, is known for thermal pressure gauge, which contains a case, heating and temperature-sensitive elements located in it, where the role of the temperature-sensitive element is played by a quartz piezoelectric element Y - cut Til However, this device is characterized by insufficient sensitivity of the piezoelectric element caused by the unevenness of its temperature field.

Цель изобретени - повышение чувствительности пьезоэлемента.The purpose of the invention is to increase the sensitivity of the piezoelectric element.

Поставленна цель достигаетс тем, что нагревательный элемент выполнен в виде оболочки, а термочувствительный элемент расположен внутри нее.The goal is achieved by the fact that the heating element is designed as a shell, and the temperature-sensitive element is located inside it.

На фиг. 1 схематично изобрс1жен тепловой манометр; на фиг. 2 - его градуировочна характеристика.FIG. 1 schematically depicts a thermal pressure gauge; in fig. 2 - its calibration characteristic.

Манометр содержит корпус 1, соединенный с измер емым давлением, кварцевый пьезоэлемент У-среза 2, размещенный внутри нагревательногоThe pressure gauge includes a housing 1 connected to the measured pressure, a quartz piezo element of the Y-cut 2, placed inside the heating

элемента 3, выполненного в виде сферической оболочки.element 3, made in the form of a spherical shell.

Манометр работает следующим образом .The pressure gauge works as follows.

К нагревателю 3 подводитс посто нна мощность . При этом пьеэоэлемент изолирован от измер емого давлени и находитс в равномерном температурном поле, создаваемым сферическим нагревателем 3. Электроды пьезоэле ,мента не подвержены загр знению и коррозии. При изменении давлени измен ютс услови теплообмена между наход щимис в корпусе 1 разреженным газом и пьеэоэлемёнтом, что вызывает изменение резонансной «астоты пьезоэлемента .Heater 3 is supplied with constant power. At the same time, the piezoelectric element is isolated from the measured pressure and is in a uniform temperature field created by a spherical heater 3. The electrodes of the piezoelectric element are not susceptible to contamination and corrosion. With a change in pressure, the conditions of heat exchange between the rarefied gas and the piezoelement in the housing 1 change, which causes a change in the resonant frequency of the piezoelectric element.

Чувствительность в диапазоне 5-10 - 5-10 мм рт.ст. составл ет не менее 200 кГц/мм рт.ст. при резонансной частоте fо МГц.Sensitivity in the range of 5-10 - 5-10 mm Hg. is at least 200 kHz / mmHg. at the resonant frequency fo MHz.

Использование предлагаемого пьезорезонансного теплового манометра позвол ет повысить точность измерений , производительность труда и надежность получаемой информации, формула изобрет енн The use of the proposed piezoresonance heat gauge allows to increase the measurement accuracy, labor productivity and reliability of the information received, the formula of the invention

Тепловой манометр по авт. св. 513283, отличающийс тем, что, с целью повышени чувств тельности, нагревательный элемент выполнен в виде оболочки, а термочувствительный элемент расположен внутри нее.Thermal gauge auth. St. 513283, characterized in that, in order to increase the sensitivity, the heating element is made in the form of a shell, and the temperature-sensitive element is located inside it.

UJ.1 Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1, Авторское свидетельство СССР № 513283, кл. G 01 L 21/10, 08.12,74 (прототип).UJ.1 Sources of information taken into account in the examination 1, USSR Author's Certificate No. 513283, cl. G 01 L 21/10, 08.12,74 (prototype).

Claims

Claim

Thermal manometer according to ed. St.

30 No. 513283, characterized

838-4 7 2 in that, in order to increase sensitivity, the heating element is made in the form of a shell, and the heat-sensitive element is located inside it.