Изобретение относитс к измерител ной технике и может быть использовано при измерении линейных перемещени Известно устройство дл измерени линейных переметений на основе акустической модул ции света 1. Однако данное устройство отличает с сложной конструкцией .и низкой точ ностью измерени . Наиболее близким к предлагаемому вл етс устройство.дл ультразвукового измерени линейных перемещений, содержащее неподвижную и подвижную пьезоэлектрические пластины и измеритель разности фаз излученной и при н той волн 2. Недостатком устройства вл етс то, что возбуждаема преобразователем ультразвукова волна распростран етс в обе стороны от преобразовател ,что сказываетс на точности измерени .. Цель изобретени - повышение точности измерений. Поставленна цель достигаетс тем, что устройство снабжено поглотител ми поверхностно-акустических волн, установленными на концах пьезоэлектрических пластин,- и двум износостойкими полосками, закрепленными на неподвижной пьеэопластине со стороны, обращенной к подвижной пьезопластине. На чертеже-показана принципиальна схема устройства дл ультразвукового измерени линейных перемещений. Устройство содержит неподвижную пьезоэлектрическую пластину 1, котора через встречно-штыревой преобразователь 2 соединена с генератором 3, а. подвижна пьезоэлектрическа пластина 4 через встречно-штыревой преобразователь 5 соединена с фазометром б. Выход фазометра присоединен к входу блока 7 регистрации. На концах пьезоэлектрических пластин 1 и 4 нанесены поглотители 8 поверхностноакустических волн, а на неподвижную пьезоэлектрическую пластину 1 нанесены две полоски 9 из износостойкого материала, к которым посредством юстировочных винтов 10 и амортизирующей . прокладки 11 упруго прижимаетс подвижна пластина 4. подвижна пластина 4 прикреплена к исследуемому объекту 12. Устройство работает следующим образом . При подаче возбуждающего напр жени от генератора 3 встречно- штыревой преобразователь 2 возбуждает акусти .ческую волну, распростран ющуюс от встречно штыревого преобразовател 2 в обе стороны. Одна волна переходит в пьезоэлектрическую пластину 4, принимаетс встречно-штыревым преобразователем 5 и подаетс на вход фазометра 6. На другой вход подаетс сигнал от возбуждающего генератора 3, Выход фазометра 6 присоединен к входу блока 7 регистрации.The invention relates to a measuring technique and can be used in measuring linear displacements. A device for measuring linear sweeps based on acoustic modulation of light 1 is known. However, this device is distinguished with a complex structure and low measurement accuracy. The device closest to the present invention is for ultrasonic measurement of linear displacements containing stationary and movable piezoelectric plates and measuring the phase difference of the emitted and received waves 2. The disadvantage of the device is that the ultrasonic wave excited by the transducer propagates to both sides of the transducer that affects the measurement accuracy. The purpose of the invention is to improve the measurement accuracy. The goal is achieved by the fact that the device is equipped with absorbers of surface-acoustic waves mounted at the ends of the piezoelectric plates, and with two wear-resistant strips attached to the fixed pieoplastic from the side facing the moving piezoplastic. The drawing shows a schematic diagram of an apparatus for ultrasonic measuring linear displacements. The device contains a stationary piezoelectric plate 1, which is connected to the generator 3 through the interdigital transducer 2, a. The mobile piezoelectric plate 4 is connected through an interdigital transducer 5 to a phase meter. b. The output of the phase meter is connected to the input of the registration unit 7. At the ends of the piezoelectric plates 1 and 4, there are applied absorbers of 8 surface acoustic waves, and on a fixed piezoelectric plate 1 two strips 9 of wear-resistant material are applied, to which are fitted with adjustment screws 10 and a shock-absorbing one. The gaskets 11 are resiliently pressed against the movable plate 4. The movable plate 4 is attached to the object under study 12. The device operates as follows. When applying the excitation voltage from the generator 3, the interdigitated transducer 2 excites an acoustic wave propagating from the interdigital transducer 2 in both directions. One wave enters the piezoelectric plate 4, is received by the interdigital transducer 5 and is fed to the input of the phase meter 6. The signal from the excitation generator 3 is fed to the other input. The output of the phase meter 6 is connected to the input of the recording unit 7.
Измеренный фазовый угол пр мо пропорционален линейному рассто нию между встречно-штыревы преобразователем 5. Часть энергии, котора не переходит в пьезопластину 4, поглощаетс поглотител ми 8. Поглотител ми 8 также поглощаетс паразитна волна, распростран юща с от встречно-штыревого преобразовател 2 влево.The measured phase angle is directly proportional to the linear distance between the interdigital transducer 5. Some of the energy that does not go into piezo plate 4 is absorbed by the absorbers 8. The absorbers 8 also absorb the parasitic wave propagating from the interdigital transducer 2 to the left.
Таким образом исключаютс паразитные сигналы, св занные с переотражениём . ,Цл обеспечени пьезоэлектрической св зи между пьезопл.астинами 1 .и 4 и обеспечени надежного механического контакта между пъезопластинами 1 и 4 нанесены две полоски 9 иэ износостойкого материала/Полоски 9 нанесены вдоль тракта акустического пучка, чтобы акустический луч распростран лс между этими пластинами, а рассто ние между полосками равно ширине встречно-штыревого преобразовател .In this way, spurious signals associated with multiplexing are eliminated. To ensure a piezoelectric connection between piezoplates, 1. and 4, and to ensure reliable mechanical contact between piezoplates 1 and 4, two strips 9 of wear-resistant material are applied. Strips 9 are applied along the acoustic beam path so that the acoustic beam propagates between these plates, and the distance between the stripes is equal to the width of the interdigital transducer.