SU818837A1 - Устройство дл обработки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй - Google Patents
Устройство дл обработки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй Download PDFInfo
- Publication number
- SU818837A1 SU818837A1 SU782694590A SU2694590A SU818837A1 SU 818837 A1 SU818837 A1 SU 818837A1 SU 782694590 A SU782694590 A SU 782694590A SU 2694590 A SU2694590 A SU 2694590A SU 818837 A1 SU818837 A1 SU 818837A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- cavity
- bellows
- housing
- socket
- vacuum
- Prior art date
Links
Landscapes
- Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
Изобретение относитс -к а-бразивной обработке и может быть ислользова о дл химико-механической доводки, полировки плоских поверхностей деталей из стекла, керами-ки, пластмассы, идает ых сплавов и т. д.
Известие устройство дл доводки плоских по1верх1н остей деталей, содержащее привод , )кольцеоб|разный корпус с гнездами дл обрабатьгваемых изделий, соединенными с источником вакуума пооредством гибкого шланга, кинем.атичбски ов за ного с механизмом лрижима изделий к доводочному диску, смоитированиым в стакане 1.
Основными недостатками этого устройства вл ютс :
-трудность регулировки рабочего усили ирижат1и обрабатываемых пластин к вращающемус доводочному диску стайка, опр1едел ющего интен 1ивность и точность процесса обработки, из-за наличи значительных сил трени в вакуумном уплотнении сальни-кового т«п.а, которое гермет1и31Ирует вращающийс корпус;
-усилие герметтизаадии в вакуумном уплот бнии снижает скорость вращени устройства с пластинами, что отрицательно оказываетс «а качестве полировки пластин;
-неудовлетворительна воспроизводимость тех1нологачео го процесса пол ировки , вызванна непосто нством аил трени во вращающеМСЯ вакуумном уплотнении пр,и его регулировании;
-огрыв обрабатываемых пластин от плоскостей пнезд в случае повреждени любой ,из обрабатываемых пластин, так как наступает раэгерМвтизащи всех гнезд устройства;
-затрата времени, св занна с повторным закреплением всех пластин в случае замены одной дефектной пластины.
Целью изобр1етени вл етс повыше5 ние точности (И качества обработки плоских поверхностей деталей.
Эта цель достигаетс тем, что устр|0йство снабжено сильфонами, один из кото1рых закреплен иа стакане и на св занной с (ме0 ханизмом прижима втулке привода, образу полость, соединенную с источн1иком вакуума , а другой - на введенном в устройство и расположенном на корпусе переходном кольце и втулке, лри этом полость, об5 разов.ан«а корпусом и вторым сильфоном, соединена с В1нутреиней полостью первого сильфона и выполненными в корпусе радиальньши и вертикальными вакуумнЫ|М-и каналами с гнездами дл обрабатываемых
30 изделий.
Устройство ана-бжено ра.сположвнным в корпусе над каждым :гнездо1м эксцентриковым клаланом с тарельчатым штоком, полость которого соединена с -рабочей .полостью гнезда.
На фиг. 1 изображен станок, в .котором лрлменено предлагаемое устройство, общий вид; л а фиг. 2 - лредлагаемое устройство, разрез; «а фиг. 3 - разрез А-А фиг. 2; на флг. 4 - разрез Б-Б фиг. 2; «а флг. 5 - разрез В-В флг. 2; на флг. 6 - разрез Г-Г фиг. 2.
СталоК (см. фиг. 1) состоит из станины, доводочного диска /, обт нутого электростатической замшей (;в случае лолировки), устройства 2 дл обработки ллоских ловерхностей деталей с приводом и поводка 3, совершающего колебательные движанл Поводок имеет лружинный меха:Н1Изм лрижима издели -к доводоч1но,му диску, обеспечивающий поджим пластин к доводочному диску с удельным давлением от 0,1 до 0,5 кГс1см (в случае доллровки .кремниевых лластин).
Устройство (ciM. фиг. 2) дл О бработки ллоских ловерхностей деталей состолт из жольцеобразного корпуса 4, в то.рц:01вых расточках которого, расположенлых по о.круж«ости колцентрично .центральной ве|ртикальной оси, вак :мно-ллотно закреплены вкладыщи 5, торты которых расположены строго в О.ДНОЙ плоскости .и притерты с высокой точностью и чистотой, к нижней плоскости 1кольце0браз ог-о корпуса прикреплена обойма 6, котора сеаими отверсти ми охватывает вкладыш, при этом нижн ллоскость обоймы (Выступает над. торцами в.кладышей на величину меньше, чем окончательна толщина обработанной пластины . В отверсти юбоймы встав.л ютс обрабатываемые пластины 7, .которые своими ллоскостЯМи прилегают к тор.цам вкладышей . Каждый вкладыш имеет множество отверстий дл .присоса обрабатываемой пласт1И1ны ло .плоокосии. Отверсти Вкла.дыщей в.месте с его внутренней полостью образуют рабочую поло:сть г гнезда, .котора соед)инена каналами а (фиг. 3) с полостью б. В этой .полости размещена тарелка тарельчатого штока 8 эксцентрижового клапана . Тарельчатый шток подпружинен и перемещаетс по отверстию вертикально ра.сположенной ступенчатой втудки 9 с ф.ланчи-ком. Поло1сть б .соединена с помощью верт1ика.льното отверсти и радиального канала д с основной полостью в «ольпеобразного корпуса. Кол.ичество эксцентриковых клапанов соответствует количеству обрабатываемых пластин.
Руко тка 10 э(К1Сцентрико.вого клапана может занимать три положени :
- горизонтальное положение руко тки
-вертикальное положение руко тки соответствует опусканию тарельчатого штока вниз ПО.Д действием пружины //;
-промен-суточное положение, показанное на фиг. 2 жирными лини ми.
Нагружающий элемент устройства со .держит эксцентриковый вал 12, одна из ступеней которого выполнена полой и смонтирована в расточке стакана 13 иа шари ,ко1под.ши.пнике 14. На ступени эксцентрикового вала установлена втулка 15 на шарикаподшипниках 16 с ;возмож-ностью плоскопарал.лельного iKpyroB:Oiro /колебательного движени отноаительно верти .кальной оси Oi-О стакана. Втулка она бжена двум сильф онами - (внутренним .сильфоиом 17 и наружным сильфоном 8. Вн.утренний сильфон верхним .краем .прлжр-еплен к стакану и образует полость, -соедин емую гибким шлангом 19 с источником вакуума. Наружный сильфон через перехо .дное кольцо 20 прикреплен к кольцеобразному корпусу и образует вм-есте с внутренней полостью внутреннего сильфона и расточкой кольцеобразного корпуса 3aiM.Kнутую полость в, -соеди:нен1ную радиальным д .и вертикальными каналами с гнездами дл обрабатываемых .пластин.
Давление на доводочный (полировочный ) .диск станка от механизма прижима передаетс по вертикальной оси Oi-Oi через .переходник 2,1, .ста1ка.н 13, жестко -св зан1ный с переходником с помощью штифтов 22, шариколодшниК, далее эксцентриковый вал, шаровой наконечник вала, подшипник 23, корпус, вкладыши и обрабатываемые издели .
Уплотнитель 24 ((фиг. 6) абеслечивает вакуумно-плотное крепление ступенчатой втулки .9 с ф.лаН|Чиком над каждым гнездо .м в расточке кольцеобразноло корпуса. Перемещение тарельчатого штока 8 осуществл етс с помощью руко тки 10 с экс .центриком, вращающимс вокруг оси 25.
Нижний торец втулки 9 снабжен верхним зубам 26, а торец цил1И1НДрической расточии (iB полости б) снабжен нижшим зубом 27.
Тарелка штока 8 снабжена двум уплотнител ми: верх1ним уплотнителем 28 и нижним уплотнителем 29, а также пазами дл -напуска воздуха при разважуумированл:и гнезда. Сам шток 8 также имеет паз HI дл напуска воздуха в по.лость б.
Устройство дл обработки плосмих поВ1е|рх;ностей деталей работает следующим образом. В ИСХО.ДНО.М положении устройство 2 приподн то над доводочным диском 1 стакана. Руко тки .10 эксцентриковых клапанов наход тс в вертикальном положении , что -соответствует отсечке рабочей полости пиезд от ;источ,ни;ка .вакуума.
Включаетс источник в.акуума и после достижени необходимого разр жени . R 1 жчпр ич птпрпг.тий обоймы 6 на тооец
В:кладыша 5 устанавливают пластину 7, подлежущую обработке.
Поворотом руко тки 10 против часовой стрелки ее перевод т в горизонтальное положение , при этом та рельчатый шток 8 поднимаетс вверх, а его верхний уплотнитель 25 герметизирует нолость б. Ра-боча1Я полость г гнезда соедина етс через каналы а, полость б, вертикальное отверстие и горизонтальный каиал д с основной нолостью в, .наход щейс под вакуумом, и пластины 7 закренл ютс в отверсти х обоймы в под действием давлени атмосфе|ры (присасываютс к плоскост м вкладышей 5). После закреплени Bicex пластин уст|ройство 2 опускаетс на доводоч ый диск ста.н.ка (см. фиг. 1) и подсоедин етс к механизму прижима и поводку 3. Доводочный диск 1 смачиваетс полИ|рующим раствором. Включаетс станок и начинаетс пропесс обработки пластин. Скорость Вращени доводочного диска 1 равна 50- 150 об/мин, а поводок полировочного 1ста;нка совершает один двойной ход за один оборот диска.
При применении предлагаемого устройства в производстве достигаетс экономи за счет:
-повышени производительности труда креплени пластин .на устройстве;
-исключени вспомогательных опера .ций по приготовлению наклеечных смол, наклейки их на иметалл, расклейии пластин;
-упрощени процесса креплени пластин;
-повышени геометрической точности обработки пластин;
-.повышени прощента выхода годных изделий за счет достижени воспроиз1водиМОСТ1И технологического прО)Цесса;
- расширени технолопичесиих возможностей и повышени качества обработки .
Кроме того, исключаетс вырывание обрабатываемых пластин и их порча.
Формула .изобретени
Устройство дл обработки плоских поверх1ностей деталей, содержащее привод, кольцеобразный корпус с гнездами дл обра батываемых изделий, соед иненными с исТОЧНИКО .М ва1куума посредством гибкого шланга, ки.нематич©ски св занного с механизмом прижима .издели к доводочному диску, смонтированным в стакане, отличающеес тем, что, с целью повышени точности и качества обработки, устройство снабжено сильфо.нами, один из которых закреплен на стакане и на св занной с механизмом прижима втулке привода, образу полость, соединенную с источ:ником вакуума , а другой - на введенном в устройство и расположенном на корпусе переходном
кольце и втулке, при этом полость, образованна корпусом и вторым аильфоном, соединена с вн тпрешей полостью первого сильфона и выполненными в .корпусе .радиальными и вертикальными вакуумными каналами с гнездами дл обрабатываемых изделий.
2. Устройство .по п. 1, отличающеес тем, что 0;но снабжено расположенным В корпусе над каЖ.дым гнездом экоцентриковым клапаном с тарельчатым што.ком, полость которого соединена с рабочей полостью гнезда.
Источник информации, прин тый во внимание пр.и э.кспврти.зе:
1. Solid State Technology, 1972, v. 15/3, p. 62, Fig. 3.
I ) и,
0,Фаз . 5
Г-Г
Фиг.З
Б-В
фуг. 4
1Ъ
Claims (2)
1. Solid State Technology, 1972, v. 15/3, -p. 62, Fig. 3.
Фиг. /
Фиг.
2 β-Β
Фиг. 5
Г-Г фиг. 6
Заказ 420/358 Изд. № 290 Тираж 915 Подписное
НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий _____________________113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5____________________
Тип. Харьк. фил пред. «Патент»
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782694590A SU818837A1 (ru) | 1978-12-08 | 1978-12-08 | Устройство дл обработки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU782694590A SU818837A1 (ru) | 1978-12-08 | 1978-12-08 | Устройство дл обработки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU818837A1 true SU818837A1 (ru) | 1981-04-07 |
Family
ID=20797735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU782694590A SU818837A1 (ru) | 1978-12-08 | 1978-12-08 | Устройство дл обработки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU818837A1 (ru) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5441444A (en) * | 1992-10-12 | 1995-08-15 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kabushiki Kaisha | Polishing machine |
RU2478463C1 (ru) * | 2011-12-14 | 2013-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный университет приборостроения и информатики" | Устройство для одностороннего утонения пластин |
RU169926U1 (ru) * | 2015-12-01 | 2017-04-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Оренбургский государственный аграрный университет" | Приспособление для шлифования и притирки уплотнительных торцов корпусов форсунок |
-
1978
- 1978-12-08 SU SU782694590A patent/SU818837A1/ru active
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5441444A (en) * | 1992-10-12 | 1995-08-15 | Fujikoshi Kikai Kogyo Kabushiki Kaisha | Polishing machine |
RU2478463C1 (ru) * | 2011-12-14 | 2013-04-10 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Московский государственный университет приборостроения и информатики" | Устройство для одностороннего утонения пластин |
RU169926U1 (ru) * | 2015-12-01 | 2017-04-06 | Федеральное государственное бюджетное образовательное учреждение высшего образования "Оренбургский государственный аграрный университет" | Приспособление для шлифования и притирки уплотнительных торцов корпусов форсунок |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6506105B1 (en) | System and method for pneumatic diaphragm CMP head having separate retaining ring and multi-region wafer pressure control | |
US6966822B2 (en) | System and method for CMP having multi-pressure zone loading for improved edge and annular zone material removal control | |
SU818837A1 (ru) | Устройство дл обработки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй | |
AU680466B2 (en) | Pneumatic plunger mechanism for a glassware forming machine | |
CN109940498A (zh) | 齿轮抛光装置 | |
WO2001087541A2 (en) | Pneumatic diaphragm head having an independent retaining ring and multi-region pressure control, and method to use the same | |
US4482145A (en) | Apparatus for supplying suction air to rotary applicator | |
US3948007A (en) | Method for working the marginal zones of a lens | |
US10160087B2 (en) | Honing method for the precision machining of bores | |
GB1374617A (en) | Grinding machine and method and semiconductor formed thereby | |
US3333571A (en) | Apparatus for lining container closures | |
KR960005261B1 (ko) | 벽 길이가 깊게 형성된(deep-walled) 일체형 엔진 블록(monoblock) 가공물의 공동 단부에서 밸브 시이트를 가공하는 방법 및 그 장치 | |
US3978620A (en) | Apparatus for working the marginal zones of a lens | |
US3464292A (en) | Indexing mechanism | |
CN221474154U (zh) | 一种轴承密封圈的压入工装结构 | |
CN110842557B (zh) | 一种旋转式多位加工装置 | |
US2105024A (en) | Honing tool and method of use | |
US4312155A (en) | Apparatus for grinding grooves in the inner race of a constant velocity universal joint | |
JP3848278B2 (ja) | ストリップ形状ブランクの断続的供給装置 | |
US2439407A (en) | Dinnerware finishing apparatus | |
JPH03184755A (ja) | ブラウン管用中空ガラス物品のシールエッジ研磨装置 | |
CN221020676U (zh) | 三爪液压定位夹具 | |
SU504343A1 (ru) | Устройство дл обработки тел вращени | |
CN115741551A (zh) | 一种发动机活塞环自动装配用内撑装置 | |
CN221755412U (zh) | 一种用于工件正反面加工的夹具 |