SU818837A1 - Устройство дл обработки плоскихпОВЕРХНОСТЕй дЕТАлЕй - Google Patents

Description

Изобретение относитс  -к а-бразивной обработке и может быть ислользова о дл  химико-механической доводки, полировки плоских поверхностей деталей из стекла, керами-ки, пластмассы, идает ых сплавов и т. д.

Известие устройство дл  доводки плоских по1верх1н остей деталей, содержащее привод , )кольцеоб|разный корпус с гнездами дл  обрабатьгваемых изделий, соединенными с источником вакуума пооредством гибкого шланга, кинем.атичбски ов за ного с механизмом лрижима изделий к доводочному диску, смоитированиым в стакане 1.

Основными недостатками этого устройства  вл ютс :

-трудность регулировки рабочего усили  ирижат1и  обрабатываемых пластин к вращающемус  доводочному диску стайка, опр1едел ющего интен 1ивность и точность процесса обработки, из-за наличи  значительных сил трени  в вакуумном уплотнении сальни-кового т«п.а, которое гермет1и31Ирует вращающийс  корпус;

-усилие герметтизаадии в вакуумном уплот бнии снижает скорость вращени  устройства с пластинами, что отрицательно оказываетс  «а качестве полировки пластин;

-неудовлетворительна  воспроизводимость тех1нологачео го процесса пол ировки , вызванна  непосто нством аил трени  во вращающеМСЯ вакуумном уплотнении пр,и его регулировании;

-огрыв обрабатываемых пластин от плоскостей пнезд в случае повреждени  любой ,из обрабатываемых пластин, так как наступает раэгерМвтизащи  всех гнезд устройства;

-затрата времени, св занна  с повторным закреплением всех пластин в случае замены одной дефектной пластины.

Целью изобр1етени   вл етс  повыше5 ние точности (И качества обработки плоских поверхностей деталей.

Эта цель достигаетс  тем, что устр|0йство снабжено сильфонами, один из кото1рых закреплен иа стакане и на св занной с (ме0 ханизмом прижима втулке привода, образу  полость, соединенную с источн1иком вакуума , а другой - на введенном в устройство и расположенном на корпусе переходном кольце и втулке, лри этом полость, об5 разов.ан«а  корпусом и вторым сильфоном, соединена с В1нутреиней полостью первого сильфона и выполненными в корпусе радиальньши и вертикальными вакуумнЫ|М-и каналами с гнездами дл  обрабатываемых

30 изделий.

Устройство ана-бжено ра.сположвнным в корпусе над каждым :гнездо1м эксцентриковым клаланом с тарельчатым штоком, полость которого соединена с -рабочей .полостью гнезда.

На фиг. 1 изображен станок, в .котором лрлменено предлагаемое устройство, общий вид; л а фиг. 2 - лредлагаемое устройство, разрез; «а фиг. 3 - разрез А-А фиг. 2; на флг. 4 - разрез Б-Б фиг. 2; «а флг. 5 - разрез В-В флг. 2; на флг. 6 - разрез Г-Г фиг. 2.

СталоК (см. фиг. 1) состоит из станины, доводочного диска /, обт нутого электростатической замшей (;в случае лолировки), устройства 2 дл  обработки ллоских ловерхностей деталей с приводом и поводка 3, совершающего колебательные движанл  Поводок имеет лружинный меха:Н1Изм лрижима издели  -к доводоч1но,му диску, обеспечивающий поджим пластин к доводочному диску с удельным давлением от 0,1 до 0,5 кГс1см (в случае доллровки .кремниевых лластин).

Устройство (ciM. фиг. 2) дл  О бработки ллоских ловерхностей деталей состолт из жольцеобразного корпуса 4, в то.рц:01вых расточках которого, расположенлых по о.круж«ости колцентрично .центральной ве|ртикальной оси, вак :мно-ллотно закреплены вкладыщи 5, торты которых расположены строго в О.ДНОЙ плоскости .и притерты с высокой точностью и чистотой, к нижней плоскости 1кольце0браз ог-о корпуса прикреплена обойма 6, котора  сеаими отверсти ми охватывает вкладыш, при этом нижн   ллоскость обоймы (Выступает над. торцами в.кладышей на величину меньше, чем окончательна  толщина обработанной пластины . В отверсти  юбоймы встав.л ютс  обрабатываемые пластины 7, .которые своими ллоскостЯМи прилегают к тор.цам вкладышей . Каждый вкладыш имеет множество отверстий дл  .присоса обрабатываемой пласт1И1ны ло .плоокосии. Отверсти  Вкла.дыщей в.месте с его внутренней полостью образуют рабочую поло:сть г гнезда, .котора  соед)инена каналами а (фиг. 3) с полостью б. В этой .полости размещена тарелка тарельчатого штока 8 эксцентрижового клапана . Тарельчатый шток подпружинен и перемещаетс  по отверстию вертикально ра.сположенной ступенчатой втудки 9 с ф.ланчи-ком. Поло1сть б .соединена с помощью верт1ика.льното отверсти  и радиального канала д с основной полостью в «ольпеобразного корпуса. Кол.ичество эксцентриковых клапанов соответствует количеству обрабатываемых пластин.

Руко тка 10 э(К1Сцентрико.вого клапана может занимать три положени :

- горизонтальное положение руко тки

-вертикальное положение руко тки соответствует опусканию тарельчатого штока вниз ПО.Д действием пружины //;

-промен-суточное положение, показанное на фиг. 2 жирными лини ми.

Нагружающий элемент устройства со .держит эксцентриковый вал 12, одна из ступеней которого выполнена полой и смонтирована в расточке стакана 13 иа шари ,ко1под.ши.пнике 14. На ступени эксцентрикового вала установлена втулка 15 на шарикаподшипниках 16 с ;возмож-ностью плоскопарал.лельного iKpyroB:Oiro /колебательного движени  отноаительно верти .кальной оси Oi-О стакана. Втулка она бжена двум  сильф онами - (внутренним .сильфоиом 17 и наружным сильфоном 8. Вн.утренний сильфон верхним .краем .прлжр-еплен к стакану и образует полость, -соедин емую гибким шлангом 19 с источником вакуума. Наружный сильфон через перехо .дное кольцо 20 прикреплен к кольцеобразному корпусу и образует вм-есте с внутренней полостью внутреннего сильфона и расточкой кольцеобразного корпуса 3aiM.Kнутую полость в, -соеди:нен1ную радиальным д .и вертикальными каналами с гнездами дл  обрабатываемых .пластин.

Давление на доводочный (полировочный ) .диск станка от механизма прижима передаетс  по вертикальной оси Oi-Oi через .переходник 2,1, .ста1ка.н 13, жестко -св зан1ный с переходником с помощью штифтов 22, шариколодшниК, далее эксцентриковый вал, шаровой наконечник вала, подшипник 23, корпус, вкладыши и обрабатываемые издели .

Уплотнитель 24 ((фиг. 6) абеслечивает вакуумно-плотное крепление ступенчатой втулки .9 с ф.лаН|Чиком над каждым гнездо .м в расточке кольцеобразноло корпуса. Перемещение тарельчатого штока 8 осуществл етс  с помощью руко тки 10 с экс .центриком, вращающимс  вокруг оси 25.

Нижний торец втулки 9 снабжен верхним зубам 26, а торец цил1И1НДрической расточии (iB полости б) снабжен нижшим зубом 27.

Тарелка штока 8 снабжена двум  уплотнител ми: верх1ним уплотнителем 28 и нижним уплотнителем 29, а также пазами дл  -напуска воздуха при разважуумированл:и гнезда. Сам шток 8 также имеет паз HI дл  напуска воздуха в по.лость б.

Устройство дл  обработки плосмих поВ1е|рх;ностей деталей работает следующим образом. В ИСХО.ДНО.М положении устройство 2 приподн то над доводочным диском 1 стакана. Руко тки .10 эксцентриковых клапанов наход тс  в вертикальном положении , что -соответствует отсечке рабочей полости пиезд от ;источ,ни;ка .вакуума.

Включаетс  источник в.акуума и после достижени  необходимого разр жени . R 1  жчпр ич птпрпг.тий обоймы 6 на тооец

В:кладыша 5 устанавливают пластину 7, подлежущую обработке.

Поворотом руко тки 10 против часовой стрелки ее перевод т в горизонтальное положение , при этом та рельчатый шток 8 поднимаетс  вверх, а его верхний уплотнитель 25 герметизирует нолость б. Ра-боча1Я полость г гнезда соедина етс  через каналы а, полость б, вертикальное отверстие и горизонтальный каиал д с основной нолостью в, .наход щейс  под вакуумом, и пластины 7 закренл ютс  в отверсти х обоймы в под действием давлени  атмосфе|ры (присасываютс  к плоскост м вкладышей 5). После закреплени  Bicex пластин уст|ройство 2 опускаетс  на доводоч ый диск ста.н.ка (см. фиг. 1) и подсоедин етс  к механизму прижима и поводку 3. Доводочный диск 1 смачиваетс  полИ|рующим раствором. Включаетс  станок и начинаетс  пропесс обработки пластин. Скорость Вращени  доводочного диска 1 равна 50- 150 об/мин, а поводок полировочного 1ста;нка совершает один двойной ход за один оборот диска.

При применении предлагаемого устройства в производстве достигаетс  экономи  за счет:

-повышени  производительности труда креплени  пластин .на устройстве;

-исключени  вспомогательных опера .ций по приготовлению наклеечных смол, наклейки их на иметалл, расклейии пластин;

-упрощени  процесса креплени  пластин;

-повышени  геометрической точности обработки пластин;

-.повышени  прощента выхода годных изделий за счет достижени  воспроиз1водиМОСТ1И технологического прО)Цесса;

- расширени  технолопичесиих возможностей и повышени  качества обработки .

Кроме того, исключаетс  вырывание обрабатываемых пластин и их порча.

Формула .изобретени 

Устройство дл  обработки плоских поверх1ностей деталей, содержащее привод, кольцеобразный корпус с гнездами дл  обра батываемых изделий, соед иненными с исТОЧНИКО .М ва1куума посредством гибкого шланга, ки.нематич©ски св занного с механизмом прижима .издели  к доводочному диску, смонтированным в стакане, отличающеес  тем, что, с целью повышени  точности и качества обработки, устройство снабжено сильфо.нами, один из которых закреплен на стакане и на св занной с механизмом прижима втулке привода, образу  полость, соединенную с источ:ником вакуума , а другой - на введенном в устройство и расположенном на корпусе переходном

кольце и втулке, при этом полость, образованна  корпусом и вторым аильфоном, соединена с вн тпрешей полостью первого сильфона и выполненными в .корпусе .радиальными и вертикальными вакуумными каналами с гнездами дл  обрабатываемых изделий.

2. Устройство .по п. 1, отличающеес   тем, что 0;но снабжено расположенным В корпусе над каЖ.дым гнездом экоцентриковым клапаном с тарельчатым што.ком, полость которого соединена с рабочей полостью гнезда.

Источник информации, прин тый во внимание пр.и э.кспврти.зе:

1. Solid State Technology, 1972, v. 15/3, p. 62, Fig. 3.

I ) и,

0,Фаз . 5

Г-Г

Фиг.З

Б-В

фуг. 4

1Ъ

Claims (2)

Формула изобретения Устройство для обработки плоских поверхностей деталей, содержащее привод, кольцеобразный корпус с гнездами для обрабатываемых изделий, соединенными с источником вакуума посредством гибкого шланга, кинематически связанного с механизмом прижима изделия к доводочному диску, смонтированным в стакане, отличающееся тем, что, с целью повышения точности и качества обработки, устройство снабжено -сильфонами, один из которых закреплен на стакане и на связанной с механизмом прижима втулке привода, -образуя полость, -соединенную с источником вакуума, а другой — на введенном в устройство и расположенном на корпусе переходном кольце и втулке, при этом пол-ость, образованная корпусом и вторым сильфоном, соединена с внутренней полостью первого -сильфона и выполненными в корпусе .радиальными и вертикальными вакуумными каналами с гнездами для обрабатываемых изделий. 2. Устройство по π. 1, отличающеес я тем, что оно снабжено расположенным -в корпусе над каждым гнездом эксцентриковым -клапаном с тарельчатым штоком, полость которого соединена с рабочей полостью гнезда. Источник информации, принятый во внимание при экспертизе:

1. Solid State Technology, 1972, v. 15/3, -p. 62, Fig. 3.

Фиг. /

Фиг.

2 β-Β

Фиг. 5

Г-Г фиг. 6

Составитель А. Козлова Редактор Т. Зубкова Техред Л. Орлова Корректор С. Файн

Заказ 420/358 Изд. № 290 Тираж 915 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий _____________________113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5____________________

Тип. Харьк. фил пред. «Патент»