СХ)CX)
о Изобретение относитс к области температурных измерений и может использоватьс дл измерени низких температур. Известно устройство дл измерени низких температур, состо щее из датчика температуры, представл ющего собой резистор, сопротивление которо го мен етс с изменением температуры и системы регистрации изменений омического сопротивлени датчика температуры Г 1 3. Известно также устройство дл измерени температуры с датчиком темпе ратуры, представл ющем собой конденсатор , емкость которого вл етс функцией температуры 12 3. Недостатком описанных выше устройств вл етс невысока точность измерени температуры. Наиболее близким по технической сущности к изобретению вл етс устройство дл измерени температуры, содержащее датчик температуры, выполненный в виде кварцевого резонатора , включенного в цепь обратной св зи высокостабильного генератора частоты, частотомер и регистратор t Собственна частота колебаний кварцевого резонатора зависит от температуры. Поскольку частота колебаний вл етс наиболее точно изме р емым параметром, в таком устройств может быть достигнута высока разрешающа способность. Недостатком устройства вл етс его мала чувствительность при низки температурах, обусловленна слабой температурной зависимостью упругих свойств кварца при низких температуpax . Целью изобретени вл етс повыше ние чувствительности устройства при измерении низких температур гелиевог диапазона. Поставленна цель достигаетс тем что в устройстве дл измерени температуры , содержащем резонансный дат чик температуры, включенный в цепь обратной св зи частотного генератора частотомер и регистратор, резонансный датчик температуры выполнен в виде объемного резонатора СВЧ с подвижной торцовой стенкой, свободно взвешенной в магнитном поле короткозамкнутой сверхпровод щей катушки, жестко соединенной с корпусом объемного резонатора. На чертеже, приведена структурна схема устройства. Оно содержит объемный резонатор СВЧ 1 с подвижной торцовой стенкой 2, короткозамкнутую сверхпровод щую катушку 3, коаксиальные линии 4 св зи, соедин ющие объемный резонатор СВЧ 1 с высокостабильным генератором 5 частоты, частотомер 6 и регистратор 7. Объемный резонатор СВЧ выполнен из сверхпровод щего материала и расположен в гелиевой ванне. Подвижна торцова стенка 2 и короткозамкнута сверхпровод ща катушка 3 в совокупности представл ют собой сверхпровод щий электромагнитный подвес. Устройство работает следующим образом . В исходном состо нии электромагнитный сверхпровод щий подвес включен . Подвижна торцова стенка 2 объемного резонатора 1 находитс во взвешенном состо нии, не име механического контакта со стенками объемного резонатора СВЧ 1. При изменении температуры подвижна торцова стенка 2 смещаетс вдоль оси объемного резонатора СВЧ 1 коротко замкнутой сверхпровод щей катущки 3, что влечет за собой изменение резонан- сной частоты объемного резонатора СВЧ и соответственно частоты высокостабильного генератора 5, которое измер етс частотомером b и фиксируетс регист атором 7. Чувствительность предлагаемого устройства дл измерени температуры (2-7) 10 Гц/К в интервале температур 2,2-6 К; чувствительность известного устройства не превьшает величины 50-100 Гц/К при температуре жидкого гели .o The invention relates to the field of temperature measurements and can be used to measure low temperatures. A device for measuring low temperatures is known, consisting of a temperature sensor, which is a resistor, the resistance of which varies with temperature, and a system for recording changes in the ohmic resistance of a temperature sensor D 1 3. A device for measuring temperature with a temperature sensor is also known. A capacitor, whose capacitance is a function of temperature 12 3. A disadvantage of the devices described above is the low temperature measurement accuracy. The closest to the technical essence of the invention is a temperature measuring device comprising a temperature sensor made in the form of a quartz resonator connected to a feedback circuit of a highly stable frequency generator, frequency meter and recorder t The natural frequency of oscillation of the quartz resonator depends on temperature. Since the oscillation frequency is the most accurately measured parameter, high resolution can be achieved in such devices. The disadvantage of the device is its low sensitivity at low temperatures, due to the low temperature dependence of the elastic properties of quartz at low temperatures. The aim of the invention is to increase the sensitivity of the device when measuring low temperatures in the helium range. The goal is achieved by the fact that in a temperature measuring device containing a resonant temperature sensor, a frequency meter and a recorder connected to the feedback circuit of a frequency generator, the resonant temperature sensor is made in the form of a microwave microwave cavity with a moving end wall freely weighted in a short-circuited superconducting magnetic field coil rigidly connected to the body of the cavity resonator. In the drawing, a block diagram of the device. It contains a microwave cavity 1 with a movable end wall 2, a short-circuited superconducting coil 3, coaxial communication lines 4 connecting the microwave cavity 1 with a highly stable frequency generator 5, frequency meter 6 and a recorder 7. The volume microwave resonator is made of superconducting material and is located in a helium bath. The movable end wall 2 and the short-circuited superconducting coil 3 together constitute a superconducting electromagnetic suspension. The device works as follows. In the initial state, the electromagnetic superconducting suspension is on. The movable end wall 2 of the cavity resonator 1 is in a suspended state, without mechanical contact with the walls of the microwave cavity resonator 1. As the temperature changes, the movable end wall 2 moves along the axis of the microwave resonator cavity 1 of the short-closed superconducting coil 3, which entails a change the resonant frequency of the microwave cavity resonator and, accordingly, the frequency of the highly stable oscillator 5, which is measured by the frequency meter b and recorded by the registrar 7. The sensitivity of the proposed device Properties for measuring temperature (2-7) 10 Hz / K in the temperature range 2.2-6 K; the sensitivity of the known device does not exceed 50-100 Hz / K at the temperature of the liquid gel.