SU800631A1

SU800631A1 - Method of measuring microchannel diameters

Info

Publication number: SU800631A1
Application number: SU782667624A
Authority: SU
Inventors: Игорь Павлович Титов; Виктор Иванович Абрамов; Сергей Валентинович Андреев; Нина Ивановна Севрюкова
Original assignee: Предприятие П/Я М-5671
Priority date: 1978-09-26
Filing date: 1978-09-26
Publication date: 1981-01-30

Description

Изобретение о.тноситс к измерительной технике.The invention relates to measurement technology.

Известен способ измерени диаметров микроканалоЕ, заключающийс в Том, что изделие погружают в жидкост создают избыточное давление газа в канале до выхода пузырьков из конца канала, погруженного в жидкость, и измер ют диаметр образующихс пузырьков газа в жидкости в момент отрыва их от канала l Однако данный способ имеет ограниченный диапазон измер емых диаметров (от 500 до 1000 мк ), так как размер образующихс пузырьков газа в жидкости весьма слабо зависит отгвнутреннего диаметра канала и параметров жидкости б и р, большую погрешность в определении величины диаметра канала-(более 200%), обусловленную значительным иска хением сферической формы пузырька при его измерении под слоем жидкости.There is a known method for measuring microchannel diameters E in that the product is immersed in a liquid, the gas is pressurized in the channel until bubbles leave the end of the channel immersed in the liquid, and the diameter of the gas bubbles formed in the liquid is measured at the moment of their separation from the channel. the method has a limited range of measurable diameters (from 500 to 1000 microns), since the size of the gas bubbles formed in the liquid very poorly depends on the inner diameter of the channel and the parameters of the liquid b and p, a large error in determining the size of the channel diameter- (more than 200%), due to a significant distortion of the spherical shape of the bubble when it is measured under a layer of liquid.

Цель изобретени - расширение диапазона измер емых диаметров и повышение точности измерени .The purpose of the invention is to expand the range of measurable diameters and increase the measurement accuracy.

Указанна цель достигаетс тем, что измен ют давл.ение в канале и фиксируют его в момент исчезновени мениска на погруженном в жидкость кон2 це канала, о диаметре канала суд т по зависимостиThis goal is achieved by changing the pressure in the channel and fixing it at the time of the disappearance of the meniscus on the channel immersed in liquid, the channel diameter is judged by the dependencies

k6k6

(1)(one)

d d

РR

где d - диаметр измер емого канала; J - коэффициент поверхностногоwhere d is the diameter of the measured channel; J - surface coefficient

нат жени жидкости; р - давление, при котором происходит исчезновение мениска.fluid tension; p is the pressure at which the meniscus disappears.

00

Как видно из зависимости, давление газа, при котором мениск входит внутрь канала или начинаетс выделение газа из канала, обратно пропорционально диаметру канала.As can be seen from the relationship, the gas pressure at which the meniscus enters inside the channel or the gas starts to flow out of the channel is inversely proportional to the diameter of the channel.

5five

Следовательно, диапазон измер емых диаметров практически ограничен только диапазоном измер емых давлений и минимально фиксируемым мениском .Consequently, the range of measured diameters is practically limited only by the range of measured pressures and the minimum fixed meniscus.

00

.Сущность способа заключаетс в следующем.The essence of the method is as follows.

Дл измерени внутреннего диаметра капилл ра один из концов капилл ра погружают в жидкость, а в другой To measure the internal diameter of the capillary, one of the ends of the capillary is immersed in a liquid, and in the other

5 конец подают сжатый газ. Повьидгиот давление газа в канале и фиксируют значение давлени в момент выхода мениска из капилл ра. Снижгиот давление газа в канале и фиксируют его 5 end serves compressed gas. Go through the pressure of the gas in the channel and record the pressure at the moment the meniscus leaves the capillary. Reduce the gas pressure in the channel and fix it

0 значение в момент исчезновени мениска . В моменты по влени и исчезновени мениска давление газа равно лапласову давлению, вызванному силами поверхностного нат жени . По зависимости (1) рассчитывают значение внутреннего диаметра капилл ра.0 value at the time of the disappearance of the meniscus. At the moments of the appearance and disappearance of the meniscus, the gas pressure is equal to the Laplace pressure caused by surface tension forces. According to (1), the value of the internal diameter of the capillary is calculated.

Результаты расчетов могут быть определены известными способами, Например по методу наименьших квадратов .The results of the calculations can be determined by known methods, for example, by the method of least squares.

Claims

1. Lanis V.A., Levina A.N. Technique in-akumnyh tests. M.-L., Gosenergoizdat, 1963, p. 133-134 (prototype).