SU79674A1

SU79674A1 - Apparatus for determining the pumping rate of vacuum pumps and measuring the vacuum conductivity

Info

Publication number: SU79674A1
Application number: SU373767A
Authority: SU
Inventors: Г.И. Аркин
Original assignee: Г.И. Аркин
Priority date: 1948-01-31
Filing date: 1948-01-31
Publication date: 1948-11-30

Description

Предметом изобретени вл етс прибор дл определени скорости откачивани вакуумньши насосами и измерени вакуумной проводнм-ости с применением манометров.The subject of the invention is a device for determining the pumping speed of vacuum pumps and measuring vacuum conductors using pressure gauges.

Отличительной |0саб.енн:остью предлагаемого прибора 5гол етс соединение испытуемого насоса, регулируемых дросселей и манометров по схеме моста Уитстона.Distinctive | ad: the strength of the proposed device 5 is the connection of the test pump, adjustable throttles and pressure gauges according to the scheme of the Wheatstone.

На фиг. 1 и 2 приведены пневматические схемы предлатаемого прибора при использовании его дл вышеуказанных измерений. Здесь имеютс след тощие обозначени : ЛР2 - регулируемый дроссель, соединенный с атмосферой; Kpi - кран, соедин ющий дроссель Др с прибором; Wi и W2 - регулируемые дроссели, у которых устанавливаетс одинакова вакуумна проводимость , W - измер ема вакуумна проводимость; Др1 - отградуированный дроссель; MI и Ма - манометры, измер ющие давление соответственно в точках А и В; ДН и ФЯ - диффузионный и форвакуумный насосы; ББ - балластный баллон.FIG. Figures 1 and 2 show the pneumatic diagrams of the device being sold when using it for the above measurements. Here there is a trace of lean designations: LR2 - adjustable choke, connected to the atmosphere; Kpi - tap connecting the choke Dr with the device; Wi and W2 are adjustable chokes in which the same vacuum conductivity is established, W is the measured vacuum conductivity; DR1 - graduated choke; MI and Ma are manometers measuring pressure at points A and B, respectively; DN and FF - diffusion and forevacuum pumps; BB - ballast.

Перед производством измеренийBefore taking measurements

точками Л и С (фиг. 1) при points L and C (Fig. 1) with

по:МОЩ1И дросселей Wi, и Др1 by: Wi throttlepower, and Dr1

устанавливаетс соответствующий период давлений.an appropriate pressure period is established.

Затем кран Kpz ставитс в -такое положение, при котором мано.метр MZ измер ет давление в точке А.Then the Kpz valve is placed in the - such position, at which the manometer MZ measures pressure at point A.

Измен вакуумную проводимость дроссел Дрь можно добитьс равных показаний у манометров М, и Л12, при которых проводимость измер емого элемента W, будет равна проводимости дроссел Др1.By changing the vacuum conductivity of the throttles Dru, it is possible to achieve equal readings for the gauges M, and L12, at which the conductivity of the measured element W will be equal to the conductivity of the throttles D1.

Если необходимо оценить величину течи в вакуумной системе по ее вакуумной проводимости, то перва подключаетс одним концом к точке А. Дроссель Др1 при этом соедин етс с атмосферой, после чего измерени производ тс вышеописанным образом.If it is necessary to estimate the magnitude of the leak in the vacuum system by its vacuum conductivity, then the first is connected at one end to point A. At the same time, choke DR1 is connected to the atmosphere, after which measurements are made as described above.

При измерени х скорости откачки в ветвь / моста (фиг. 2) включаетс испытуемый насос, а в ветвь 2 - насос с известной скоростью откачки и отградуированный дроссель Др2. При этом проводимости ветвей 3 и 4 должны быть равны.When measuring the pumping speed, the test pump is turned on to the branch / bridge (Fig. 2), and pump 2 with a known pumping speed and calibrated throttle Ai2 are included in branch 2. In this case, the conductance of the branches 3 and 4 should be equal.

Дл действительной скорости откачки Se в ветви 2 справедлива 1For actual pumping speed Se in branch 2 is fair 1

где VS - изформула Se jwhere VS is the formula Se j

вестна скорость откачки насоса pump pumping speed is known

9Л79Л7

вакуумна проводимость дроссел в этой ветви. Регзлиру дроссель Др1, можно добитьс совпадени показаний манометров М и М, причем скорость Se будет равна скорости откачки у испытываемого насоса. vacuum conduction of drossel in this branch. By adjusting the throttle drum1, it is possible to achieve a coincidence of the readings of the pressure gauges M and M, and the speed Se will be equal to the pumping speed of the test pump.

Предмет изобретени Subject invention

Прибор дл определени скорости откачивани вакуумными насосами и измерени вакуумной проводимости с применением манометров , присоединенных к вакуумной системе, составленной из испытуемого объекта, форвакуумного и диффузионного насосов, балластного баллона между ними и трубопроводов с кранами и регулируемыми дроссел ми, отличающийс тем, что испытуемый насос и три регулируемые дроссел , в том числе один градуированный, последовательно к которому приключен контрольный насос с известной скоростью откачивани или измер емой проводимостью, соединены по схеме моста Уитстона с установленными в двух его узловых точках манометрами, по равенству показаний которых определ ют равенство скорости откачивани испытуемого и контрольного насосов или равенство вакуумных проводимостей испытуемого объекта и градуированного дроссел .A device for determining the pumping rate of vacuum pumps and measuring the vacuum conductivity using pressure gauges attached to a vacuum system made up of a test object, forevacuum and diffusion pumps, a ballast cylinder between them and pipelines with cranes and adjustable throttles, characterized in that the test pump and three adjustable throttles, including one graduated one, successively to which a control pump with a known pumping rate or measured product is adventurous water content, are connected according to the scheme of the Wheatstone bridge with pressure gauges installed at its two nodal points, the equality of the readings of which determine the equality of the evacuation rate of the test and control pumps or the vacuum conductivities of the test object and the graduated droplets.

«2“2

М,M,