Изобретение относитс к области физической электронщики, в частности к устройствам дл физико-химического анализа поверхностей твердого те ла в вакууме. Известны установки дл анализа .поверхностей, разработанные, например , французской фирмой Рибер С1 В одном варианте установка содер жит цилиндрический шлюзовой вентиль расположенный внутри аналитической камеры,., снабженной Оже и другими анализаторами. В состав шлюзового вентил ; входит подвижна часть, монтируема , на одном из фланцев и содержаща полый цилиндрический-ста кан с уплотнительной прокладкой, со диненна с приводом, и неподвижна представл юща собой цилиндрическую камеру, котора монтируетс на вза имно-противоположном фланце и содер жит с одного конца цилиндрическое седло дл полого клапана, а с другого конца - фланец с условным проходом 100 мм дл монтажа манипул тора с образцом. Образец попадает в аналитическую камеру дл анализа при максимальном раскрытии подвижной и неподвижной частей шлюзового тил . Смена образца и его подготовка происходит при закрытом шлюзовом вентиле. Дл работы такого шлюзового вентил требуетс достаточна механическа прочность, высока точность изготовлени . В другом (более сложном) вариант установка дл анализа поверхностей LASGOO содержит шлюзовую камеру дл .подготовки образцов, аналитическую камеру, систему быстрого ввода образца в аналитически камеру, систему передачи образца на манипул то точного перемещени в аналитической камере, позвол ющий установить образец в положение, необходимое дл анализа. Камера подготовки образцов отсекаетс от аналитической при помощи косого вентил . Система быстрого ввода должна обеспечить рабочий ход в вакууме до 500 мм. Дл передачи образца на манипул тор точного перемещени требуетс очень; высока точность изготовлени всех систем. Кроме того, размер исследуемого образца определ етс размером седла вентил , через кото рое образец переноситс в аналитическую камеру. Как следует из приведенного описани , установки дл анализа поверхностей фирмы Рибер сложны конструктивно и технологических.Требуют большой затраты времени на смену и подготовку образца дл анализа. Ближайшим техническим решением вл етс Оже-спектрометр, содержащий шлю:зовую камеру, .в которой расположены запорный клапан; манипул тор и держатель.образца, аналитическую камеру с Оже-анализатором типа цилиндрического зеркала, корректирующими кольцами злектронной t пушкой 2. Эта система сложна конструктивно , громоздка и не обеспечивает оперативной смены анализируемых образцов. Целью изобретени вл етс сокращение времени измерени и упроще.ни конструкций. Цель достигаетс тем, что в Ожеспектрометре , содержащем шлюзовую камеру, в которой располагаетс запорный клапан, манипул тор и образец, аналитическую камеру с Оже-анализатором типа цилиндрического зеркала, корректирующими кольцами и электронной пушкой, аналитическа и шлюзова камеры объединены в одном корпусе и разделены перегородкой с отверстием , , выполненным в виде седла запорного клапана так, что один из фокусов Оже-анализатора находитс в шлюзовой камере причем запорный клапан установлен соосно с электронно-оптической системой Оже-анализатора. Отверстие в перегородке выполнено в соответствии с углом расхождени Оже-злектронов, в виде конуса с углом 2oi 85° и диаметром 8-12 мм, что обеспечивает прохождение Ожеэлектронов в телесном угле оптимальной фокусировки Оже-анализатора . При этом корректирующие кольца в анализаторе расположены вдоль траектории движени электронов на керамических изол торах. Держатель образцов снабжен системой подготовки образца и установлен на манипул торе ма тникового типа с возможностью перемещени как в плоскости , перпендикул рной оптической оси анализатора, так и вдоль оси анализатора . Предлагаемый Оже-спектрометр схематически изображен на чертеже. О се-спектрометр состоит из аналитической камеры 1 с патрубком 2 дл высоковакуумной отКачки, перего родки 3 с отверстием 4, сообщающим аналитическую 1 и шлюзовую камеру 5, индивидуальна откачка которо выполн етс через патрубок 6. Соосно с отверстием 4 установлен затвор 7 с коническим клапаном, отсекающий аналитическую камеру от шлюзовой . . Образец 8 с нагревателем 9 установлены в шпюзовой камере и закреп-г лены на Держателе 10 манипул тора тникового типа 11. Термопара и ток йводы нагревател 9 соединены с гер Мовводом 12. Оже-анапизатор содержит внутренний цилиндр электростатического зе кала 13 с электронной пушкой 14, ко тора установлена коаксиально зеркалу 13. В зеркале 13 выполнены пазы 15 под углом расхождени Оже- . электронов. Наружный цилиндр электростатичес кого зеркала 16 соединен с внутренним 13 посредством ступенчатых изол торов 17, на внутренних ступен х торых смонтированы кольца электростатической корректировки 18, расположенные вдоль траек тории движени Оже-электронов. Оже-анализатор закреплен- посредством переходного фланца 19 и установочных шпилек 20 на фланце 21. Магнитна экранировка анализатора осуществлена посредством экрана 22. Оже-спектрометр работает следую щим образом. В исходном состо нии аналитическ камера 1 Оже-спектрометра вакуумирована до давлени и закры та запорным клапаном 7. Образец смо тирован на манипул торе. После установки образца в шлюзовую камеру 5 и откачки ее до необходимого давлени производитс его термическа обработка . Затем клапан 7 полноС-тью рт рываетс , а образец посредством УГЛОВОГО перемещени держател маНипул тором ма тникового типа 11 устанавливаетс соосно отверстию 4. Включаетс электронна пушка 14. Часть вторичных электронов, выбитых с поверхности образца первичным электронным пучком, проходит через конусное отверстие 4 в перегородке 3 и попадает в электростатическое поле анализатора, срздаваемое электродами 13 и 16. Задава определенное напр жение на электроде 16 и корректирующих кольцах 18 добиваютс фокусировки Оже-электронов на приемном конце, анализатора. Так как геометри отверсти 4 выбг рана в соответствии с углом расхождени Оже-гзлектронов равным 2ot 85, то данна конструкци обеспечивает услови , оптимальной фокусировки электронов, проход щих под углом . оС 42°30 и углом расхождени ±6°. После регистрации спектров Ожеэлектронов образец отводитс в сторону от оптической оси. Отверстие 4 закрываетс . запорным клапаном 7 и производитс смена образца. Предложенна конструкци Ожеспектрометра позвол ет вывести фокус Оже-анализатора в шлюзовую камеру. Этим исключаетс необходимость вывода образца в аналитическую камеру и его перенос на манипул тор дл сн ти Оже-спектров. В результате повьш1аетс быстродействие Оже-спектрометра. Выполнение шлюзовой и аналитической камер в одном корпусе упрощает конструкцию и уменьшает габариты прибора .The invention relates to the field of physical electronics engineering, in particular to devices for the physicochemical analysis of solid surfaces in vacuum. Plants for analyzing surfaces are known, such as those developed by the French company Reiber C1. In one embodiment, the installation contains a cylindrical sluice gate located inside the analytical chamber, equipped with Auger and other analyzers. The composition of the gateway valve; includes a movable part, mounted on one of the flanges and containing a hollow cylindrical-cann with a gasket, connected with a drive, and a stationary, which is a cylindrical chamber, which is mounted on a mutually opposite flange and has a cylindrical saddle at one end for a hollow valve, and at the other end - a flange with a 100 mm conditional passage for mounting the manipulator with the specimen. The sample enters the analytical chamber for analysis at maximum opening of the movable and fixed parts of the lock gate. The change of the sample and its preparation takes place with the gate valve closed. For the operation of such a sluice valve, sufficient mechanical strength is required, the accuracy of manufacturing is high. In another (more complicated) version, the LASGOO surface analyzing unit contains a lock chamber for sample preparation, an analytical chamber, a system for quickly introducing a sample into an analytical chamber, a system for transferring the sample to a manipulator for precise movement in the analytical chamber, allowing the sample to be positioned necessary for analysis. The sample preparation chamber is cut off from the analytic using an oblique valve. The quick entry system should provide a working stroke in vacuum up to 500 mm. To transfer the sample to the manipulator, precise movement is required; high manufacturing accuracy of all systems. In addition, the size of the sample to be examined is determined by the size of the valve seat, through which the sample is transferred to the analytical chamber. As follows from the above description, the installations for analyzing the surfaces of the Ribere company are structurally complex and technological. They take a lot of time to replace and prepare the sample for analysis. The closest technical solution is the Auger spectrometer, which contains a forwarding chamber, in which the stop valve is located; a manipulator and a sample holder, an analytical chamber with a Auger-analyzer of the type of a cylindrical mirror, corrective rings by an electronic t gun 2. This system is structurally complex, cumbersome and does not provide for a quick change of the analyzed samples. The aim of the invention is to reduce the measurement time and the simpler structure. The goal is achieved by the fact that in a spectrophotometer containing a lock chamber in which there is a shut-off valve, a manipulator and a sample, an analytical chamber with a Auger-analyzer of a cylindrical mirror type, corrective rings and an electron gun, the analytical and gateway chambers are combined in one building and separated by a partition with a hole, made in the form of a shut-off valve seat, so that one of the focuses of the Auger analyzer is in the lock chamber, the shut-off valve is installed coaxially with the electro-optical system emoy Auger analyzer. The hole in the partition is made in accordance with the angle of divergence of Auger electrons, in the form of a cone with an angle of 2oi 85 ° and a diameter of 8-12 mm, which ensures the passage of Auger electrons in the solid angle of optimum focusing of the Auger analyzer. At the same time, the correction rings in the analyzer are located along the trajectory of the electrons on the ceramic insulators. The sample holder is equipped with a sample preparation system and is mounted on a pan-type manipulator with the ability to move both in the plane perpendicular to the optical axis of the analyzer and along the axis of the analyzer. The proposed Auger spectrometer is shown schematically in the drawing. The ce-spectrometer consists of an analytical chamber 1 with a nozzle 2 for a high-vacuum knuckle, a bulkhead 3 with an aperture 4, communicating an analytical 1 and a lock chamber 5, which is individually pumped through a nozzle 6. Coaxially with an orifice 4, a shutter 7 with a conical valve is installed that cuts off the analytical chamber from the airlock. . Sample 8 with a heater 9 is installed in a shmuzy chamber and fixed on the holder 10 of a manipulator type 11. The thermocouple and current of the heater 9 are connected to Movvod 12. The Auger anapisator contains an internal cylinder of electrostatic mirror 13 with an electron gun 14, The ring is mounted coaxially with the mirror 13. In the mirror 13, the grooves 15 are made at an angle of divergence of the Auger. electrons. The outer cylinder of the electrostatic mirror 16 is connected to the inner 13 by means of stepped insulators 17, and the electrostatic correction rings 18 are located along the trajectory of the Auger electrons on the inner steps of the latter. The Auger analyzer is fixed by means of the transition flange 19 and the mounting studs 20 on the flange 21. The analyzer is magnetically shielded by means of screen 22. The Auger spectrometer operates as follows. In the initial state, the analytical chamber 1 of the Auger spectrometer was evacuated to pressure and closed by a shut-off valve 7. The sample was mounted on a manipulator. After installing the sample in the lock chamber 5 and pumping it to the required pressure, it is heat treated. Then the valve 7 is completely ripped through the mouth, and the sample is fixed coaxially with the hole 4 by the ANGULAR movement of the holder of the pendulum type 11. The electron gun 14 is turned on. 3 and enters the electrostatic field of the analyzer, which is generated by electrodes 13 and 16. By setting a certain voltage on the electrode 16 and the correction rings 18, the Auger electrons are focused on the receiver the end of the analyzer. Since the geometry of the opening 4 in accordance with the angle of divergence of the Auger electrons is 2ot 85, this construction provides the conditions for optimal focusing of electrons passing at an angle. ° C 42 ° 30 and a divergence angle of ± 6 °. After registration of the Auger electron spectra, the sample is moved away from the optical axis. Hole 4 closes. shut-off valve 7 and the sample is changed. The proposed spectrometer design allows the Auger analyzer to focus on the airlock chamber. This eliminates the need to take the sample to the analytical chamber and transfer it to the manipulator to capture the Auger spectra. As a result, the performance of the Auger spectrometer increases. The implementation of the lock and analytical chambers in one case simplifies the design and reduces the size of the device.
ItIt
2f2f