анализирующа щель S, датчик 9 дефокусировки располагаютс последовательно. Блок 2 светофильтров помещен между источником / света и конденсором 3, датчик 9 дефокусировки св зан со след щей системой .10 и они образуют фотоэлектрическую след щую систему. Блом 3 светофильтров св зан со след щей системой 10 и жестко соединен с преобразователем Ii2 «угол - код, преобразователь 11 св зан с датчиком 9 дефокусировки и вычислителем 13.analyzing slit S, defocus sensor 9 are arranged in series. The light filter unit 2 is placed between the source / light and the condenser 3, the defocus sensor 9 is connected to the tracking system .10 and they form a photoelectric tracking system. Blom 3 light filters are connected to the tracking system 10 and are rigidly connected to the angle-code converter I2, the converter 11 is connected to the defocus sensor 9 and the calculator 13.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Свет от источника 1, иройд через один из светофильтров блока 2, собираетс конденсором 3 на диафрагме 4. Пройд диафрагму, световой поток фокусируетс объективом 5 на отражатель 7, закреплеппый на объекте, перемещени которого исследуютс . Отразившись от отражател 7, полупрозрачного зеркала 6 и пройд через анализирующую щель S, световой поток попадает на датчик 9 дефокусировки. Датчик 9 преобразует падающий на него световой поток в электрический ток, причем сигнал на выходе датчика 9 равен нулю в том случае, если световой поток фокусируетс в плоскость апалпзирующей щели 8. Если световой поток фокусируетс не в плоскости анализирующей щели 8, то датчиком 9 вырабатываетс сигнал рассогласовани , знак которого и величина пропорциональны величине отклонени плоскости фокусировки светового потока от плоскости анализирующей щели.Light from source 1, irod through one of the filters of unit 2, is collected by condenser 3 on diaphragm 4. Passing the diaphragm, the light flux is focused by lens 5 onto reflector 7, fixed on the object, the movements of which are examined. Reflected from the reflector 7, the translucent mirror 6 and passed through the analyzing slit S, the luminous flux hits the defocus sensor 9. Sensor 9 converts the luminous flux incident on it into an electric current, and the signal at the output of sensor 9 is zero if the luminous flux is focused in the plane of the appalisation slit 8. If the luminous flux is not focused in the plane of the analyzing slit 8, then the sensor 9 produces a signal the mismatch whose sign and magnitude is proportional to the deviation of the plane of focus of the light flux from the plane of the analyzing slit.
Поскольку объектив обладает заведомо значительным хроматизмом, подбором соответствующего светофильтра можно скомпенсировать дефокусировку, возникающую при перемещении зеркала. В устройстве сигнал рассогласовани отрабатываетс след щей системой 10, котора перемещает набор светофильтров, провод тем самым смену светофильтра, компенсирующего дефокусировку оптической системы. Сигнал рассогласовани , оставщийс после отработки, преобразуетс в код преобразователем 11. Информаци о номере светофильтра, введенного в ход лучей из набора светофильтров , представл ет двоичный код и считываетс через преобразователь «угол - код 12. Перемещени отражател , св занного с объектом, рассчитываютс в вычислителе .Since the lens has a deliberately significant chromatism, the selection of the appropriate light filter can compensate for the defocusing that occurs when the mirror is moved. In the device, the error signal is processed by the tracking system 10, which moves a set of light filters, thereby changing the light filter that compensates for the defocusing of the optical system. The error signal remaining after the test is converted into code by converter 11. The information about the number of the light filter entered into the path of the rays from the set of light filters represents the binary code and is read through the angle-to-code converter 12. The movements of the reflector associated with the object are calculated in the calculator.
Отклонени светофильтра,ограничивающего поток излучени от источника, от номинального положени и изменение взаимного положени его и кодирующего устройства не вли ют на точность измерени . Обработка информации, заключенной в номере светофильтра, ограничивающего поток излучени от источника, и величина сигнала рассогласовани с помощью цифрового вычислительного блока позвол ет исключить вли ние зоны нечувствительности и «мертвого хода след щей системы па точность измерений. Кроме того, устройство обеспечивает полную автоматизацию пзмерений .Deviations of the light filter, which limits the radiation flux from the source, from the nominal position, and the change in the relative position of it and the encoder do not affect the measurement accuracy. Processing the information contained in the number of the filter limiting the radiation flux from the source and the magnitude of the error signal using a digital computing unit eliminates the influence of the deadband and the dead path of the tracking system on the measurement accuracy. In addition, the device provides full automation of measurements.