SU792539A1 - Датчик на поверхностных акустических волнах - Google Patents
Датчик на поверхностных акустических волнах Download PDFInfo
- Publication number
- SU792539A1 SU792539A1 SU792739233A SU2739233A SU792539A1 SU 792539 A1 SU792539 A1 SU 792539A1 SU 792739233 A SU792739233 A SU 792739233A SU 2739233 A SU2739233 A SU 2739233A SU 792539 A1 SU792539 A1 SU 792539A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- surface acoustic
- acoustic waves
- sensor based
- sensor
- transducers
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Description
1
Изобретение относитс к области радиоэлектроники и может быть использовано как составна часть измерительных приборов дл измерени давлени , перемещени , деформации, теплового расширени тел путем преобразовани изменени перечисленных параметров в соответствующее измене;ние времени запаздывани поверхност ных акустических волн, которое может Ъыть непосредственно измерено или преобразовано в свою очередь в частотный , фазовый или другой выходной сигнал.
Известно устройство с переменньм коэффициентом передачи сигнала к нагрузке , содержащее подложку с входным и выходным преобразовател ми акустических поверхностных волн. В устройстве предусмотрено средство дл изгибани подложки, за счет чего измен етс фазова скорость поверхностных волн и, следовательно, задержка выходного сигнала относительно входного 1 .
Недостатком известного устройства вл етс малый рабочий диапазон измерений из-за ограниченного предела прочности материала подложки.
Известен датчик на поверхностных акустических волнах, содержащий диэлектрическую подложку с размещенными на ней пьезоэлектрическими преобразовател ми встречно-штыревого типа 2.
Недостатком известного датчика вл етс невысока точность и малый рабочий диапазон измерений.
10
Целью изобретени вл етс повышение точности измерений и расширение рабочего диапазона.
Данна цель- достигаетс тем, что, в датчик на поверхностных акусти15 ческих волнах, содержащий диэлектрическую подложку с размещенными на ней пьезоэлектрическими преобразовател ми встречно- -штыревого типа, введена подвижна пластина, выполненна
20 из анизотропного материала и установленна над преобразовател ми парал- лельно плоскости их расположени .
На чертеже представлено устройство , вид сверху.
25
Датчик на поверхностных акустических волнах состоит из диэлектрической подложки 1 с нанесенными на нее встречно-штыревьми преобразовател ми 2,3,4,5 и подвижной пластины 30 6. Подвижна пластина 6 уста новле
Claims (1)
- Формула изобретенияДатчик на поверхностных акустичес25 ких волнах, содержащий диэлектрическую подложку с размещенными на ней пьезоэлектрическими преобразователями встречно-штыревого типа, о т л и ч ающийс я тем, что, с целью jQ повышения точности измерений и расширения рабочего диапазона, в датчик введена подвижная пластина , выполненная из анизотропного материала и установленная над преобразователями 35 параллельно плоскости их расположения.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792739233A SU792539A1 (ru) | 1979-03-11 | 1979-03-11 | Датчик на поверхностных акустических волнах |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU792739233A SU792539A1 (ru) | 1979-03-11 | 1979-03-11 | Датчик на поверхностных акустических волнах |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU792539A1 true SU792539A1 (ru) | 1980-12-30 |
Family
ID=20816334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU792739233A SU792539A1 (ru) | 1979-03-11 | 1979-03-11 | Датчик на поверхностных акустических волнах |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU792539A1 (ru) |
-
1979
- 1979-03-11 SU SU792739233A patent/SU792539A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4096740A (en) | Surface acoustic wave strain detector and gage | |
| SU593674A3 (ru) | Датчик давлени | |
| US4107626A (en) | Digital output force sensor using surface acoustic waves | |
| US20050056098A1 (en) | Surface acoustic wave sensing system and method for measuring pressure and temperature | |
| US7053319B2 (en) | Electronic weighing apparatus utilizing surface acoustic waves using sensors operating at different frequencies, having temperature compensation, and a push oscillator | |
| SU792539A1 (ru) | Датчик на поверхностных акустических волнах | |
| CN87104176A (zh) | 谐振筒式压力传感器 | |
| US3280628A (en) | High precision capacitive strain gage | |
| SU741060A1 (ru) | Датчик механических величин | |
| SU1093891A1 (ru) | Датчик угла поворота на поверхностных акустических волнах | |
| SU1746511A1 (ru) | Ультразвуковое устройство дл измерени физических величин | |
| SU1384979A1 (ru) | Датчик давлени | |
| SU373539A1 (ru) | Ультразвуковой уровнемер | |
| SU1190210A1 (ru) | Пьезоэлектрический преобразователь давлени и температуры | |
| SU939968A1 (ru) | Датчик температуры | |
| SU1029085A1 (ru) | Датчик линейных ускорений | |
| SU1131024A1 (ru) | Датчик давлени на поверхностных акустических волнах | |
| SU1026025A1 (ru) | Датчик разности давлений | |
| SU636493A2 (ru) | Датчик давлени | |
| SU581393A1 (ru) | Устройство дл измерени усилий | |
| SU1597540A1 (ru) | Устройство дл измерени линейных перемещений | |
| SU798501A1 (ru) | Емкостной вибропреобразователь | |
| SU846998A1 (ru) | Емкостный преобразователь перемещений | |
| SU938069A1 (ru) | Датчик усилий | |
| SU951089A1 (ru) | Датчик давлений |