SU790041A1

SU790041A1 - Substrate indexing device

Info

Publication number: SU790041A1
Application number: SU782694967A
Authority: SU
Inventors: Ромуальд Эдвардович Курыло; Казимерас Миколо Рагульскис; Ромуальдас Прано Шаткус
Original assignee: Каунасский Политехнический Институт Им. Антанаса Снечкуса
Priority date: 1978-12-08
Filing date: 1978-12-08
Publication date: 1980-12-23

Description

1one

Изобретение относитс к приборостроению и может быть использовано в оптико-механических приборах, в координатных измерительных устройства х .The invention relates to instrument making and can be used in optical-mechanical devices, in coordinate measuring devices x.

Известно устройство дл ориентации подложек, содержащее основание, 1координатный стол и расположённые между ними пьезокерамические элементы , снабжённое демпфирующим элементому соедин ющим основание с координатным столом, а упом нутый координатный стол выполнен в виде круглой мембраны, на поверхности которой жестко закреплены пьезокерамические элементы с образованием шестиугольника .A device for orientation of substrates is known, comprising a base, an 1-coordinate table and piezoceramic elements arranged between them, provided with a damping element connecting the base with a coordinate table, and said coordinate table is made in the form of a circular membrane, on the surface of which piezoceramic elements are rigidly fixed with a hexagon.

Недостатком известного устройстав вл етс сложность конструкции, заключающа с в трудности подбора демпфирующего элемента дл исключени отражени волны.A disadvantage of the known device is the complexity of the design, which involves the difficulty of selecting a damping element to eliminate the reflection of the wave.

Известно устройство дл ориентации подложек, содержеицее координатный стол и основание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезо- j .керамические элементы 2.A device for orientation of substrates is known, including a coordinate table and a base with longitudinal and transverse grooves in which rod-shaped piezo js are fixed. Ceramic elements 2.

Недостатком этого устройства вл етс малый возможный диапазон перемещений , сложность конструкции. Цель изобретени - расширение The disadvantage of this device is the small possible range of displacement, the complexity of the design. The purpose of the invention is the expansion

5 функциональных возможностей.5 features.

Указанна цель достигаетс тем, что устройство дл ориентации подложек , преимутцественно микросхем, содержащее координатный стол и основание с продольными и поперечными пазами, в которых закреплены стержнеобразные пьезокераг 1ические элементы, снабженно соединительными пластинами, кажда из которыхThis goal is achieved by the fact that the device for orientation of the substrates, mainly microcircuits, contains a coordinate table and a base with longitudinal and transverse grooves in which rod-shaped piezokeragical elements are fixed, equipped with connecting plates, each of which

15 одним концом жестко закреплена на одном из пьезокерамических элементов , fi другим - с координатным столом с возможностью фрикционного взаимодействи , при этом пьезокерами20 ческие элементы подпружинены.15 is rigidly fixed at one end to one of the piezoceramic elements, fi to the other with a coordinate table with the possibility of frictional interaction, while the piezoceramic 20 elements are spring-loaded.

На фиг.1 показана схема устройства; на фиг.2 - вид устройства сверху.Figure 1 shows a diagram of the device; figure 2 is a top view of the device.

Устройство содержит основание 1,The device contains a base 1,

25 в котором выполнено, четыре паза 2, расположенных в форме креста. В пазах 2 упруго, например, при помощи пружин 3, установлены стержнеобразные пьезокерамические элементы 4.25 in which there are four grooves 2 arranged in the shape of a cross. In the slots 2 is elastic, for example, by means of springs 3, rod-shaped piezoceramic elements 4 are installed.

30 Электроды стержнеобразных пьетокерамических элементов расположены на боковых (вертикальных) плоскост х и разделены накрест на четыре зоны 5,6,7 и 8.30 Electrodes of rod-shaped pie-ceramic elements are located on the lateral (vertical) planes and are divided crosswise into four zones 5,6,7 and 8.

На концах пьезокерамических элементов 4 жестко закреплены пластины 9 . На пластинах 9 помещен с возможностью фрикционного взаимодействи столик 10.. At the ends of the piezoceramic elements 4 rigidly fixed plate 9. On the plates 9 is placed with the possibility of frictional interaction table 10 ..

Устройство работает следующим образом.The device works as follows.

При подключении двух напротцвлежащих зон, например 5 и 8, стержнеобразных пьезокерамических элементов 4 к источнику высокочастотного напр жени через коммутирующее устройство (не показано) пьезокерамические элементы 4 совершают продольные и поперечные (в вертикальном направлении ) колебани . Пьезокерамические элементы 4 питаютс -на частоте продольного резонанса. Собственна частота колебаний пьезокерамических элементов 4 в поперечном направлении отличаетс от частоты колебаний в продольном направлении, поэтому имеетс сдвиг по фазе продольных и поперечных колебаний. Концы пьезокерамических элементов, на которых закреплены пластины 9, совершают эллипсообразные движени , столик 10 совершает поступательное движение. Реверсирование осуществл етс подключением двух других зон, например б и,7, к источнику высокочастотного напр жени посредством переключающего устройства (не показано).Движение по одной из координат осуществл етс подключением к источнику высокочастотного напр жени двух напротиволежащих пьезокерамическихWhen two opposite zones, for example 5 and 8, are connected, the rod-shaped piezoceramic elements 4 are connected to a high-frequency voltage source through a switching device (not shown), the piezoceramic elements 4 make longitudinal and transverse (in the vertical direction) oscillations. The piezoceramic elements 4 are fed at the frequency of the longitudinal resonance. The natural frequency of oscillation of the piezoceramic elements 4 in the transverse direction is different from the frequency of oscillation in the longitudinal direction, therefore there is a phase shift of the longitudinal and transverse oscillations. The ends of the piezoceramic elements, on which the plates 9 are fastened, make ellipsoidal movements, the table 10 performs a translational movement. The reversal is performed by connecting two other zones, for example, b and 7, to a high-frequency voltage source by means of a switching device (not shown). Movement along one of the coordinates is carried out by connecting two oppositely located piezoceramic to the high-frequency voltage source.

7 (О 7 (O

КС у Cop y

/ k SS5oN ГЗГ/ k SS5oN GZG

ЛL

L...L ...

II II I S S II II I S S

Фие.1Phie.1

элементов 4, движение по другой подключением других пьезокерамических элементов 4.elements 4, movement on another connection of other piezoceramic elements 4.

Устройство позвол ет упростить конструкцию, исключа необходимость подбора демпфирующего элемента. Наилучшими динамическими характеристиками устройство обладает при соотношении продольного и поперечного размеров (в вертикальном направлении пьезокерамического элемента 4.The device allows to simplify the design, eliminating the need for selecting a damping element. The device has the best dynamic characteristics when the ratio of the longitudinal and transverse dimensions (in the vertical direction of the piezoceramic element 4.

Claims

1. USSR Author's Certificate for Application No. 2608445 / 18-21,

cl. H 01 L 21/70, 21..04.78.

2. USSR author's certificate number 541305, cl. H 05 K 3/00, 01/06/75 (prototype). /

451/1

-4t3l