Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Физики Полупроводников Со Ан СссрfiledCriticalИнститут Физики Полупроводников Со Ан Ссср
Priority to SU2799336/25ApriorityCriticalpatent/SU782605A1/ru
Application grantedgrantedCritical
Publication of SU782605A1publicationCriticalpatent/SU782605A1/ru
Способ выращивания многослойных структур на основе соединений типа ABс использованием химических газотранспортных реакций, включающий загрузку в реактор источника элемента третьей группы, подложек, подачу газовой смеси, содержащей галогенид пятой группы и пары воды, отличающийся тем, что, с целью упрощения технологии и улучшения качества структур в источник элемента третьей группы добавляют кремний в количестве, превышающем предел растворимости, а концентрацию паров воды изменяют в интервале 10 - 500 ррт.
SU2799336/25A1979-06-151979-06-15Способ выращивания многослойных структур на основе соединений типа ab
SU782605A1
(ru)