SU748148A1 - Method and apparatus for measuring temperature gradient on semiconductor material layer - Google Patents
Method and apparatus for measuring temperature gradient on semiconductor material layer Download PDFInfo
- Publication number
- SU748148A1 SU748148A1 SU782647803A SU2647803A SU748148A1 SU 748148 A1 SU748148 A1 SU 748148A1 SU 782647803 A SU782647803 A SU 782647803A SU 2647803 A SU2647803 A SU 2647803A SU 748148 A1 SU748148 A1 SU 748148A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- radiation
- temperature
- layer
- black body
- measured
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 26
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 claims description 6
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 claims description 4
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 claims description 3
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 claims description 2
- 238000011835 investigation Methods 0.000 claims description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 claims 1
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
Description
юследовательно модель черного тела оптическую систему, инфракрасный приемник излучени с фильтром, выдел ющим область сильного поглощени исследуемого материала, и автоматическую регистрирующую аппаратуру .In this case, the blackbody model is an optical system, an infrared radiation detector with a filter that highlights the area of strong absorption of the material under study, and an automatic recording equipment.
Основным недостатком известного способа и устройства дл измерени перепада температур на слое частично прозрачного материала вл етс невысока точность измерени ,, обусловленна значительными погрешност ми измерени температуры в области сильного поглощени материала, и необходимостью последовательно измер ть температуру на обеих границах сло частично прозрачного материала с последующим вЕлчислением перепада температур на слое как разности двух измеренных температур границ .The main disadvantage of the known method and device for measuring temperature differences on a layer of partially transparent material is the low measurement accuracy, due to significant errors in temperature measurement in the region of strong absorption of the material, and the need to consistently measure the temperature at both boundaries of the layer of partially transparent material followed by calculating temperature difference on the layer as the difference between the two measured temperature boundaries.
Цель изобретени - повышение точности измерени перепада температур на слое частного прозрачного материала, а также повышение эффективности устройства.The purpose of the invention is to improve the accuracy of measuring the temperature drop across a layer of a particular transparent material, as well as to increase the efficiency of the device.
Эта цель достигаетс тем, что при градуировке дополнительно измер ют отношение ркостей дл узкого спектрального диапазона в видимой области спектра и по известным -соотношени м рассчитывают перепад температур на модели черного тела, затем по градуировочной кривой зависимости отношени ркостей излучени от перепада температур определ ют исходную величину.This goal is achieved by the fact that when calibrating, the ratio of the vibrations is additionally measured for a narrow spectral range in the visible spectral range, and the temperature difference on the black body model is calculated using known β-ratios, then the initial value is determined from the calibration curve of the ratio of radiation intensity to temperature. .
Устройство дл осуществлени этого способа, включающее расположенные последовательно модель черного тела, оптическую систему, инфракрасный приемник излучени с фильтром дл вьщелени области сильного поглощени исследуемого материала и автоматическую регистрирующ аппаратуру. Устройство дополнительно содержит приемник излучени с узкополоснЫм фильтром, зеркальный модул тор , снабженный приводом, приче модул тор расположен в плоскости, проход щей через биссектрису угла между ос ми приемников излучени .A device for carrying out this method, comprising a sequentially arranged black body model, an optical system, an infrared radiation detector with a filter to select a region of strong absorption of the material under investigation, and automatic recording equipment. The device further comprises a radiation receiver with a narrow-band filter, a mirror modulator equipped with a drive, and the modulator is located in a plane passing through the bisector of the angle between the axes of the radiation receivers.
На фиг. 1 показана схема устройства дл измерени перепада температур на слое частично прозрачного мaтep iaлa, на фиг. 2 - график кривых , жохорые используют при определениьг перепада температур на слое частично прозрачного материала.FIG. 1 shows a diagram of a device for measuring temperature differences on a layer of partially transparent material alaa, FIG. 2 is a graph of curves; johorns are used in determining the temperature drop across a layer of partially transparent material.
Устройство включает инфракрасный охлаждаемы приемник 1 излучени , чувствительным элементом которого вл етс германий, легированнь1й золотом , типа Свод.The device includes an infrared cooled radiation receiver 1, the sensitive element of which is germanium doped with gold, such as Arch.
Перепад инфракрасным приемником 1 излучени установлен инфракрасный интерференционный фильтр 2, вырезаюDifferential infrared receiver 1 radiation set infrared interference filter 2, cut out
щий область сильного поглощени исследуемого материала.the area of strong absorption of the material under study.
Градуировку провод т по трубчатой модели черного тела 3 с трем отверсти ми 4, 5 и б. .Graduations are carried out on a tubular black body model 3 with three holes 4, 5 and b. .
Модель черного тела 3 с помощью токоподводов 7 нагреваетс проход щим током.The black-body model 3 is heated by a passing current by means of current leads 7.
Отверсти 4 и 6 модели черного тела 3 визируют либо инфракрасным приемником 1 излучени с фильтром 2, либо приемником 8 излучени дл видимой области спектра, например, ФЭУ-79. Перед приемником излучени установлен красный интерференционный светофильтр 9, вырезающий излучение в области длины волн от 0,65 до 0,66 мкм. Попеременное направление излучени модели черного тела 3 (при градуировке) или образца (при измерени х), устанавливаемого на место модели черного тела, и модул ци излучени на частоте 37- Гц с последующим синхронным детектированием осуществл ют оптической системой 10 и зеркальным модул тором 11, снабженным приводом 12, причем модул тор 11 расположен в плкости , проход щей через биссектрису угла между ос ми приемников излучен 1 и 8. Регистрацию сигналов с приемников излучени 1 и 8 осуществл ют с использованием автоматической регистрирующей аппаратуры 13. Измерение опорной температуры осуществл ют оптическим пирометром 14 либо термопарой. The holes 4 and 6 of the blackbody model 3 are sighted either by an infrared radiation receiver 1 with filter 2 or radiation receiver 8 for the visible spectral region, for example, a PMT-79. A red interference filter 9 is installed in front of the radiation receiver, cutting out the radiation in the wavelength range from 0.65 to 0.66 µm. The alternating direction of emission of the blackbody model 3 (with graduation) or sample (with measurements) installed in place of the black body model, and the modulation of radiation at a frequency of 37 Hz with subsequent synchronous detection is performed by the optical system 10 and a mirror modulator 11, equipped with a drive 12, wherein the modulator 11 is located in a tangling angle passing through the bisector of the axes of the receivers is radiated 1 and 8. Signals from radiation receivers 1 and 8 are recorded using an automatic recording equipment 13. Measurement of the reference temperature is carried out using an optical pyrometer 14 or a thermocouple.
Устройство работает следующим образом .The device works as follows.
Трубчатую модель черного тела 3 нагревают до стационарного состо ни . После этого визируют отверсти 4 и 6 с помощью зеркального модул тора 11 на приемных диафрагмах инфракрасного приемника излучени 1 и приемника излучени в видимой области излучени в инфракрасной облати . Затем на несколько градусов (5-15 к) увеличивают температуру модели черного тела 3 и измер ют излучение в видимой и инфракрасной област х спектра.The tubular model of the black body 3 is heated to a stationary state. Thereafter, holes 4 and 6 are sighted using a mirror modulator 11 at the receiving apertures of the infrared radiation receiver 1 and the radiation receiver in the visible radiation region in the infrared plate. Then, the temperature of the blackbody model 3 is increased by several degrees (5-15 K) and the radiation in the visible and infrared regions of the spectrum is measured.
Последовательно измен темперс туру модели черного тела 3. определ ют Т и, соответственно, ДТ и стро т градуировочную зависимость.Successively changing the temperature of the blackbody model 3. determine T and, accordingly, DT and build a calibration dependence.
|--(.т)| - (. t)
где J , JP интенсивность излучени where J, JP is the radiation intensity
при температуре Т и i;, соответственно , дТ - разность температур, дТ рассчитываетс по формулеat temperature T and i ;, respectively, dT is the temperature difference, dT is calculated by the formula
AT-- °AT-- °
Claims (2)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782647803A SU748148A1 (en) | 1978-06-23 | 1978-06-23 | Method and apparatus for measuring temperature gradient on semiconductor material layer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU782647803A SU748148A1 (en) | 1978-06-23 | 1978-06-23 | Method and apparatus for measuring temperature gradient on semiconductor material layer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU748148A1 true SU748148A1 (en) | 1980-07-15 |
Family
ID=20778404
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU782647803A SU748148A1 (en) | 1978-06-23 | 1978-06-23 | Method and apparatus for measuring temperature gradient on semiconductor material layer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU748148A1 (en) |
-
1978
- 1978-06-23 SU SU782647803A patent/SU748148A1/en active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US5029117A (en) | Method and apparatus for active pyrometry | |
| US3672221A (en) | Temperature sensor | |
| CN111024258B (en) | An Alkali Metal Gas Chamber Internal Heat Distribution and Thermal Stability Measuring Device | |
| US3482448A (en) | Differential radiation pyrometer system | |
| US6082892A (en) | Temperature measuring method and apparatus | |
| RU2083961C1 (en) | Method of measurement of temperature and emissivity of surface | |
| US5258602A (en) | Technique for precision temperature measurements of a semiconductor layer or wafer, based on its optical properties at selected wavelengths | |
| JPS6312938A (en) | Gas analyzer and gas analyzing method | |
| SU748148A1 (en) | Method and apparatus for measuring temperature gradient on semiconductor material layer | |
| US4605314A (en) | Spectral discrimination pyrometer | |
| US4035654A (en) | Optical alignment sensor | |
| US3610592A (en) | Method and apparatus for estimating errors in pyrometer readings | |
| US5084621A (en) | Radiometric standard infrared detector | |
| JPS55144513A (en) | Measuring method of emissivity | |
| GB2116317A (en) | Infrared radiation gas analyzer | |
| US3376748A (en) | Method and apparatus for radiation pyrometry | |
| RU2219504C2 (en) | Actual temperature pyrometer | |
| RU1904U1 (en) | Optical Pyrometer | |
| SU823989A1 (en) | Device for measuring absolute reflection and transmission factors | |
| SU763699A1 (en) | Method for contactless measurement of temperature | |
| RU128322U1 (en) | MULTI-CHANNEL CALORIMETRIC SPECTROMETER | |
| JPH0815036A (en) | How to correct radiation thermometers and optical measurement equipment using a new interpolation formula | |
| JPH09126889A (en) | Method and apparatus for measuring temperature of semiconductor substrate | |
| SU473906A1 (en) | Infrared radiometer | |
| JPS6138806B2 (en) |