Изобретение относитс к устройствам дл измерени давлени газов. Известны акустические преобразователи давлени 1. Наиболее близким по технической сущ ности к изобретению вл етс устройство содержащее мембрану и расположеннувэ н одной ее стороне поверхностно-акустичес кую волновую (ПАВ) структуру 2 Недостатком известного устройства вл етс невозможность измерени малы давлений. Цель изобретени - расширение диапаз на измерени давлени . Поставленна цель достигаетс тем, что на другой стороне мембраны установ лен пленочный резистивный нагреватель. Расширение рабочего диапазона измерительного преобразовател основано на использовании зависимости коэффициента теплопроводности газов от да&лени в области остаточных давлений (менее 1 мм рт. ст). - В области абсолютных давлений газа р свыше 1 мм рт.ст. изменени частоты генерат а обусловлены зависимостью времени ПАВ от величины |дефс5 маций мембраны. В области давлений газа менее 1 мм рт. ст. дефс мадии мембраны практически отсутствуют, однако существенной становитс зависимость коэффициента теплогфовоцности газа от давлени , что приводит к: иэменению температуры, а следовательно, и выходной частоты преобразовател . На чертеже изображен преобразователь давлени . Измерительный преобразователь состо г из мембраны 1, на поверхности котсфой расположена ПАВ структура 2. На противоположной пов х ости мембраны расположен резистивный пленочный нагреватель 3. ПАВ структура включена в качестве частотно-задающего элемента автогенератора 4. Вь1ходным сигналом вл етс изменение частоты автогенератора . Устройство работает следующим обра зом. В диапазоне свыше 1 мм рт.ст измер емое давление деформирует мембрану 1, Вследствие изменени геометрических размеров и вариации упругих свойств мембраны измен етс сксрость расхфостранени поверхностных акустических волн, возбуждаемых преобразовател ми . Это приводит к изменению частоты автогенератора 4, В области давлений более 1 мм рт.ст. коэффициент теплопроводности измер емого газа практически посто нен, и, следовательно , температура преобразовател не зависит от давлени , а определ етс лиш величиной мощности, подводимой к нагре вателю от источника электрического йап р жени . В диапазоне давлений менее 1 мм рт. деформаций мембраны не происходит, однако температура иамерительного 1феобразовател становитс зависимой от коэффициента теплопроводности газовой среды, давление которой измер етс . Изменени теплопроводности, обуслов ленные измер емым давлением газа. привод т к изменению температуры мемб раны 1, и в силу температурной зависимости времени задержки ПАВ измен етс выходна частота автогенератора 4. Выходна частота автогенератора в этой области давлений не зависит от толщины мембраньи Выбором материала мембраны можно обеспечить большую температурную чувствительность времени задержки ПАВ, т.е. обеспечить высокую чувствительност измерительного преобразовател в области малых давлений газа (например, дл кварца термочувствительным вл етс УХ-срез). Кроме того, крутизну преобразовани давление-частота можно в широких пределах варьировать за счет изменени электрической мощности, рассеиваемой в резистивном пленочном нагревагтеле 4. Предлагаемое устройство расшир ет рабочий диапазон преобразователей в область остаточных давлений газа без изменени геометрических размеров мембрань и позвол ет производить измерени при помоши одного и того же преобразовател в диапазоне давлений от мм рт.ст. до дес тков атмосФормула изобретени Преобразователь давлени , содержащий мембрану и расположенную на одной ее стсфоне поверхностно- акустическую волновую структуру, отличающийс тем, что, с целью расширени диапазона измерени , на другой стороне мембраны установлен резистивный пленочный нагреватель. Источники информации, прин тые во внимание при экспертизе 1.Патент США N9 3.978,731, кл. 73-407, опублик. 25.02.74. 2.Ридер, Каллен. Датчики давлени и температуры, использующие поверхностные акустические волны ТИИЭР, М. 1076, т. 64, № 5, с. 226-228 (прототип).
/