SU741060A1

SU741060A1 - Mechanical value sensor

Info

Publication number: SU741060A1
Application number: SU782671988A
Authority: SU
Inventors: Владимир Владимирович Малов; Владимир Михайлович Макаров; Ольга Александровна Кучко; Дмитрий Васильевич Карпеев
Original assignee: Московский Ордена Трудового Красного Знамени Инженерно-Физический Институт
Priority date: 1978-10-05
Filing date: 1978-10-05
Publication date: 1980-06-15

Description

1one

Изобретение относитс к измерительной технике и предназначено дл измерени механических величин.This invention relates to a measurement technique and is intended to measure mechanical quantities.

Известен датчик механических величин, содержащий деформируемый упругий элемент и размещенные на нем излучающий и приёмный преобразователи поверхностных акустических волн 1.The known sensor mechanical values, containing a deformable elastic element and placed on it radiating and receiving transducers of surface acoustic waves 1.

Недостатком известного устройства вл етс низка чувствительность, так как величина минимально измер емых давлений ограничена технологическими трудност ми изготовлени тонкой пьезокристаллической мембраны.A disadvantage of the known device is low sensitivity, since the value of the minimum measured pressures is limited by the technological difficulties of manufacturing a thin piezocrystalline membrane.

Целью изобретени вл етс увеличение чувствительности датчиков механических величин на поверхностных акустических волнах .The aim of the invention is to increase the sensitivity of sensors for mechanical quantities on surface acoustic waves.

.Указанна цель достигаетс тем, что датчик снабжен размещенным между измерительным и приемным преобразовател ми металлическим электродом, установленным параллельно плоскости деформируемого упругого элемента на рассто нии, равном длине поверхностной акустической волны и электрически соединенным с земл ной точкой датчика .The above objective is achieved in that the sensor is provided with a metal electrode placed between the measuring and receiving transducers mounted parallel to the plane of the deformable elastic element at a distance equal to the length of the surface acoustic wave and electrically connected to the earth point of the sensor.

На чертеже схематически изображен датчик механических величин.The drawing shows schematically the sensor mechanical values.

Датчик содержит деформируемый упругий элемент 1, выполненный в виде мембраны в монолитном блоке 2 из пьезоэлектрического материала с размещенными на нем излучающим 3 и приемным 4 преобразовател ми поверхностных акустических волн, и размещенный между ними металлический электрод 5 пластинчатой формы, установленный параллельно плоскости деформируе10 мого упругого элемента 1 на рассто нии, равном длине поверхностной акустической волны , и электрически соединенный с земл ной точкой датчика.The sensor contains a deformable elastic element 1, made in the form of a membrane in a monolithic block 2 of a piezoelectric material with a radiating 3 placed on it and receiving 4 transducers of surface acoustic waves, and a metal plate-shaped metal electrode 5 placed between them, mounted parallel to the plane of the deformable elastic element 1 at a distance equal to the length of the surface acoustic wave and electrically connected to the earth point of the sensor.

Датчик работает следующим образом. Под действием измер емого давлени Р The sensor works as follows. Under the action of the measured pressure P

15 упругий деформируемый элемент 1 деформируетс , что приводит к увеличению времени задержки поверхностной акустической волны. В результате прогиба деформируемого упругого элемента 1 рассто ние между15, the elastic deformable element 1 is deformed, which leads to an increase in the delay time of the surface acoustic wave. As a result of the deflection of the deformable elastic element 1, the distance between

2Q поверхностью распространени поверхностной акустической волны и металлическим электродом 5 уменьщаетс , в результате чего растет электрическое нагружение поверхности распространени и уменьшаетс скорость распространени поверхностной акустической волны.2Q by the surface propagation surface of the acoustic wave and the metal electrode 5 decreases, as a result of which the electrical loading of the propagation surface increases and the propagation velocity of the surface acoustic wave decreases.

Использование дополнительного электрода , нагружающего поверхность распространени поверхностной акустической волны электрически, позвол ет увеличить чувствительность датчика механических величин за счет увеличени времени задержки распространени поверхностной акустической волны.The use of an additional electrode loading the surface of propagation of the surface acoustic wave electrically increases the sensitivity of the sensor of mechanical quantities by increasing the delay time of propagation of the surface acoustic wave.

Claims

Invention Formula

A sensor of mechanical quantities containing a deformable elastic element and radiating and receiving elements placed on it

surface acoustic wave transducers, characterized in that, in order to increase sensitivity, it is provided with a metal electrode placed between the measuring and receiving transducers, installed parallel to the plane of the deflection normalized elastic element at a distance equal to the length of the surface acoustic wave and electrically connected to the ground point sensor.

Sources of information taken into account in the examination 1. Ruder T. M. Culln D. E. Saucher O. A. A. Freguency output pressure sensor SAS Prepr, 1976, No. 760093, p. 9.

77.-