SU728683A1

SU728683A1 - Линейный ускоритель ионов

Info

Publication number: SU728683A1
Application number: SU782685553A
Authority: SU
Inventors: В.Л. Ауслендер; И.А. Баранов; А.Д. Панфилов; С.М. Трофименко; В.П. Шилов; В.П. Эйсмонт
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6710
Priority date: 1978-11-15
Filing date: 1978-11-15
Publication date: 1981-06-07

Description

(54) ЛИНЕЙНЬЙ УСКОРИТЕЛЬ ИОНОВ

1

Изобретение относитс к ускорительной технике и может быть использовано при разработке ускорителей ионов дл ионной промышленной технологии .

Известны линейные ускорители ионо образованные резонаторами с параллельным соединением ускор к цих зазоров , ускорение в которых производитс сто чей волной высококачественного электромагнитного пол .

Наиболее близким по техническому решению к изобретению вл етс линейный ускоритель ионов, содержащий коаксиальный резонатор с параллельным соединением ускор ющих зазоров, импульсный вычокочастотный генератор и вакуумный объем.

Основным недостатком такого линейного ускорител вл етс невозможность ускорени ионов, имеющих различные значени удельного зар да, начальной и конечной энергий. Это вызываетс тем, что в данном ускорителе , характеризуемом посто нством длин ускор ющих зазоров и дрейфовой трубки, при ускорении ионов, имеющих различные значени энергии инжекций, удельного зар да, или при изменении напр жени на резонаторе

дл регулировани энергии ускоренных ионов, нарушаетс условие фаз оптимального , с точки зрени наибольшей интенсивности ускоренного пучка с заданным энергетическим разбросом, прохождени ионов через ускор кщую систему. Кроме того, при регулировании энергии путем уменьшени напр жени на резонаторе падает эффек0 тивность ускор ющих зазоров.

Целью изобретени вл етс уско-т рение ионов, имеющих различные значени энергии инжекций и удельного зар да, в плавно регулируемом диапа5 зоне энергий, при максимальной интенсивности пучка с заданным энергетическим разбросом.

Цель достигаетс тем, что в резонаторе установлены дрейфовые трубки

0 и полутрубки переменной длины, снабженные дистанционными приводами .

Дрейфовые трубка и полутрубки снабжены сильфонными вставками и исполнительными механизмами электро5 приводов .

На чертеже изображен предлагаемый линейный ускоритель ионов, общий вид.

Резонатор линейного ускорител представл ет собой короткозамкнутую

Claims

0 на одном конце и разомкнутую на другом коаксиальную линию, образованную внешней 1 и внутренней 2 трубами. Резонатор помещен в вакуумный контей нер 3 и возбуждаетс петлей св зи 4 от импульсного высокочастотного гене ратора 5. Ускор ющие зазоры образованы дрейфовыми трубкой 6 и полутруб ками переменной длины 7 и 8. Исполнительные механизмы электроприводов 9, 10 и 11 расположены внутри дрейфовой трубки и на наружной поверхнос ти внешней трубки резонатора. Инжектируемые ионы ускор ютс в зазорах, образуемых дрейфовыми трубками и полутрубками. В зависимости от выбранного режима работы ускорител , т.е. ь зависимости от значени удельного зар да, энергии инжекции и конечной энергии ускор емых ионов устанавливаютс длина дрейфовой труб ки, определ юща оптимальную фазу взлета частицы во второй зазор, и длины полутрубок, определ ющие величины ускор ющих зазоров. При этом длина ускор ющих зазоров устанавливаетс минимально возможной величины Применение дрейфовой трубки и полутрубок переменной длины, снабженных дистанционными приводами, в пред лагаемом линейном ускорителе позвол ет ускор ть ионы, имеющие различные значени удельного зар да и энергии инжекции, плавно регулироват конечную энергию при обеспечении максимальной интенсивности пучка с заданным энергетическим разбросом. Это позвол ет существенно расширить возможности применени линейных ускорителей , особенно в области практического использовани пучков т желых ионов, в частности, в имплантационной технологии. Формула изобретени 1.Линейный ускоритель ионов, содержащий коаксиальный резонатор с параллельным соединением ускор ющих зазоров, импульсный высокочастотный генератор, вакуумный объем, отличающийс тем, что, с целью ускорени ионов, имеклцих различные значени энергии инжекции и удельного зар да, в плавно регулируемом диапазоне энергий, при максимальной интенсивности пучка с заданным энергетическим разбросом, в резонаторе установлены дрейфовые трубка и полутрубки переменной длины, снабженные дистанционными приводами.
2.Ускоритель поп.1, отливающийс тем, что дрейфовые трубка и полутрубки снабжены, например , сильфонными вставками и исполнительными механизмами электроприводов .