SU723696A1

SU723696A1 - Device for precision moving of articles

Info

Publication number: SU723696A1
Application number: SU782677329A
Authority: SU
Inventors: Вячеслав Павлович Ершов; Валерий Васильевич Веселов; Галина Николаевна Трусова; Ричардас Викторас Козевич Улозас
Original assignee: Предприятие П/Я В-8657
Priority date: 1978-10-20
Filing date: 1978-10-20
Publication date: 1980-03-25

Description

Изобретение относится к сборочному оборудованию и может быть использовано для изготовления и обработки приборов, состоящих из нескольких твердотельных компонентов, сформированных на общей подложке. Например, изготовление интегральных схем или их частей.The invention relates to assembly equipment and can be used for the manufacture and processing of devices consisting of several solid-state components formed on a common substrate. For example, the manufacture of integrated circuits or parts thereof.

Известно устройство для прецизионного перемещения изделий, содержащее основание, платформу и расположенный между ними привод, выполненный в виде пьезокерамических элементов [1]. Однако это устройство не обеспечивает высокой точности перемещения.A device for the precision movement of products containing a base, a platform and a drive located between them, made in the form of piezoceramic elements [1]. However, this device does not provide high accuracy of movement.

Цель изобретения — повышение точности перемещения изделий.The purpose of the invention is to improve the accuracy of the movement of products.

Достигается это тем, что устройство для прецизионного перемещения изделий, содержащее основание, платформу и расположенный между ними привод, выполненный в виде пьезокерамических элементов, снабжено постоянными магнитами, охватывающими зону контакта пьезокерамических элементов с платформой, а пьезокерамические элементы шарнирно закреплены на основании в горизонтальном положении.This is achieved by the fact that the device for precision movement of products containing a base, a platform and a drive located between them, made in the form of piezoceramic elements, is equipped with permanent magnets covering the contact zone of the piezoceramic elements with the platform, and the piezoceramic elements are hinged on the base in a horizontal position.

На фиг. 1 — предлагаемое устройство, вид сверху: на фиг. 2 — то же, разрез А—А на фиг. 1.In FIG. 1 - the proposed device, top view: in FIG. 2 is the same, section A — A in FIG. 1.

Устройство содержит основание 1, платформу 2, привод, выполненный в виде пьезо₅ керамических элементов 3—6, и снабжено постоянными магнитами 7, установленными в зоне контакта пьезокерамических элементов 3—6 с платформой 2. Контакты имеют подковообразную форму и охватывают элементы 3—6. В местах контакта платформы Ю 2 с элементами 3—6 на них установлены контактные площадки 8 из износостойкого материала. Элементы закреплены на шарнирных держателях 9, установленных на основании в узловой нулевой точке 10 пьезокерамики, т. е. точке, в которой отсутствуют ко¹⁵ лебания. Элементы 3—6 установлены на осях попарно с возможностью юстировки их соосности. Юстировка осуществляется регулировочными винтами 11. Элементы 3—6 установлены на держателях 9 в горизонталь20 ном положении. Постоянные подковообразные магниты 7 создают необходимое усилие прижатия платформы к контактным площадкам 8 элементов 3—6, причем зазор между платформой и магнитами можно изменять, например, за счет прокладок (на чертеже не показаны). Регулировка магнитов по высоте осуществляет установку оптимального режима по скорости.The device contains a base 1, platform 2, a drive made in the form of a piezo ₅ ceramic elements 3-6, and is equipped with permanent magnets 7 installed in the zone of contact of the piezoceramic elements 3-6 with the platform 2. The contacts are horseshoe-shaped and cover elements 3-6 . In places of contact of the Yu 2 platform with elements 3-6, contact pads 8 of wear-resistant material are installed on them. Elements are fixed on hinged holders 9 mounted on the base at the nodal zero point 10 of piezoceramics, i.e., the point at which there are no oscillations of ¹⁵ . Elements 3-6 are mounted on the axes in pairs with the possibility of aligning their alignment. Adjustment is carried out by adjusting screws 11. Elements 3-6 are mounted on holders 9 in a horizontal 20 position. Permanent horseshoe magnets 7 create the necessary force to press the platform against the contact pads 8 of elements 3-6, and the gap between the platform and the magnets can be changed, for example, due to gaskets (not shown in the drawing). Height adjustment of the magnets sets the optimal speed mode.

Устройство работает следующим образом.The device operates as follows.

При подаче управляющего напряжения на пьезоэлементы 4 и 6, расположенные соосно вдоль оси Y, возбуждаются упругие деформации типа «бегущей волны», взаимодействующие с перемещаемой платформой 2. При наличии сил сухого трения создается движущая сила, направленная вдоль оси Y. При подаче управляющего напряжения на пьезокерамические элементы 3 и 5 расположенные соосно вдоль оси X, возбуждаются упругие деформации, которые, взаимодействуя с плавающей платформой 2, перемещают ее в направлении оси X. Вращение вокруг вертикальной оси осуществляется возбуждением в пьезокерамических элементах 3—6 волнового движения, векторы направWhen a control voltage is applied to the piezoelectric elements 4 and 6, located coaxially along the Y axis, elastic strains of the “traveling wave” type are excited, which interact with the moving platform 2. In the presence of dry friction forces, a driving force is created that is directed along the Y axis. When a control voltage is applied to piezoceramic elements 3 and 5 located coaxially along the X axis, elastic deformations are excited, which, interacting with the floating platform 2, move it in the direction of the X axis. Rotation around the vertical axis is carried out ozbuzhdeniem in piezoceramic elements 3-6 wave motion vectors direction

ЦНИИПИ Заказ 439/40 Тираж 844 ПодписноеЦНИИПИ Order 439/40 Circulation 844 Subscription

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4 ления распространения которых, образуют замкнутый прямоугольник.Branch of the PPP "Patent", Uzhhorod, st. Project, 4 distribution lines of which form a closed rectangle.

Claims

Claim

IS

A device for precision movement of products containing a base, a platform and a drive located between them, made in the form of piezoceramic elements, characterized in that, in order to improve the accuracy of movement, it is equipped with permanent magnets covering the contact area of the piezoceramic elements with the platform, and the piezoceramic elements are articulated fixed on the base in a horizontal position.