SU699684A1

SU699684A1 - Contacting device

Info

Publication number: SU699684A1
Application number: SU772476919A
Authority: SU
Inventors: Евгений Евгеньевич Онегин; Владимир Иванович Виноградов; Валентин Иванович Полотаев; Анатолий Иванович Епифанов; Анатолий Владимирович Ярош
Original assignee: Предприятие П/Я Р-6495
Priority date: 1977-04-22
Filing date: 1977-04-22
Publication date: 1979-11-25

Description

II

Изобретение относитс к микроэлектронике и может быть использовано в устройствах дл контрол интегральных схем.The invention relates to microelectronics and can be used in devices for controlling integrated circuits.

Известны контактирующие устройства, в которых держатель зонда дл контрол. микросхем выполнен в виде кронштейна, на котором закреплены рычаг в виде упругой балки П-образного сечени , консольно закрепленной на кронштейне, и пружина нагружени - в виде изогнутого стержн , расположенного вдоль рачата, один конец которого упираетс в рычаг, а другой закреплен на кронштейне .Contacting devices are known in which the probe holder for control. the microcircuits are made in the form of a bracket, on which a lever is fixed in the form of an elastic U-shaped beam, which is cantilever-mounted on a bracket, and a loading spring is in the form of a curved rod located along the rachat, one end of which rests on the lever and the other is fixed on the bracket.

Однако в таком устройстве недостаточна продольна и поперечна жесткость держател зонда и возникают боковые смещени зонда нри регулировке нагружени .However, in such a device, the longitudinal and transverse rigidity of the probe holder is insufficient, and lateral displacements of the probe occur when the load is adjusted.

Известен измерительный зонд дл контрол микросхем, выполненный в виде игольчатого щупа, размещенного на держателе, соединенном с механизмом перемещени щупа и механизмом подъема и опускани щупа в виде струны, закрепленной на регулируемой планке, св занной с механизмом перемещени щупа. Зонд снабжен рамкой, соединенной с мехапиз.мом перемещени щупа , две параллельные стороны которой выполнены в виде пружин и щуп, одним концо .м жестко закреплен на корпусе, а другим на упругом элементе, выполненном с возможностью перемещени в вертикальном направлении 2.A measuring probe for controlling microcircuits is known, made in the form of a needle probe placed on a holder connected to the mechanism for moving the probe and a mechanism for raising and lowering the probe in the form of a string fixed on an adjustable bar connected to the mechanism for moving the probe. The probe is equipped with a frame connected to the mechanical movement of the probe, two parallel sides of which are made in the form of springs and a probe, one end rigidly fixed to the housing, and the other on an elastic element made with the possibility of movement in the vertical direction 2.

Однако измерительный зонд не обладает достаточной поперечной жесткостью при контактировании, так как две плоские пружины обеспечивают только продольную жесткость , не устран вибрацию зонда при перемещени х его в вертикальной плоскости. Механизм нагружени зонда при регулировке давлени не исключает бокового смещени последнего, т. е. в конструкции отсутствуют элементы ограничени величины бокового смещени . Кроме того, подвеска стакана при помощи пружины значительно ухудшает жесткость системы, что не исключает возможности автоколебаний в свободно подвещенной упругой системе под действием собственных колебаний и внешних возмущающих воздействий. Все это приводит к ухудщению качества контактировани и увеличению переходных сопротивлений пары зонд-контактна площадка и усложн ет конструкцию .However, the measuring probe does not have sufficient transverse rigidity in contacting, since two flat springs provide only longitudinal rigidity without eliminating the vibration of the probe when it moves in a vertical plane. The loading mechanism of the probe when adjusting the pressure does not exclude lateral displacement of the latter, i.e. the design does not contain elements limiting the magnitude of the lateral displacement. In addition, the suspension of the glass with the help of a spring significantly impairs the rigidity of the system, which does not exclude the possibility of auto-oscillations in a freely subtended elastic system under the action of natural oscillations and external disturbing influences. All this leads to a deterioration in the quality of contact and an increase in the transient resistances of the probe-contact pair of the pair and complicates the design.