SU670005A1 - Травитель для полупроводниковых соединений - Google Patents

Травитель для полупроводниковых соединений

Info

Publication number
SU670005A1
SU670005A1 SU2572334/25A SU2572334A SU670005A1 SU 670005 A1 SU670005 A1 SU 670005A1 SU 2572334/25 A SU2572334/25 A SU 2572334/25A SU 2572334 A SU2572334 A SU 2572334A SU 670005 A1 SU670005 A1 SU 670005A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
semiconductor compounds
traveler
abc
chromium trioxide
acetic acid
Prior art date
Application number
SU2572334/25A
Other languages
English (en)
Inventor
Е.П. Аграфенина
Ю.В. Аграфенин
Original Assignee
Институт Физики Полупроводников Со Ан Ссср
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Институт Физики Полупроводников Со Ан Ссср filed Critical Институт Физики Полупроводников Со Ан Ссср
Priority to SU2572334/25A priority Critical patent/SU670005A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU670005A1 publication Critical patent/SU670005A1/ru

Links

Landscapes

  • ing And Chemical Polishing (AREA)

Abstract

Травитель для полупроводниковых соединений, содержащий трехокись хрома и соляную кислоту, отличающийся тем, что, с целью получения зеркально-гладкой поверхности пластин кристаллов и пленок полупроводниковых соединений типа АВСи АВС, он дополнительно содержит уксусную кислоту и воду при следующем соотношении компонентов, вес.%:Трехокись хрома - 2,5 - 10Соляная кислота - 2,6 - 18Уксусная кислота - 1,86 - 12,65Вода - Остальное
SU2572334/25A 1978-01-20 1978-01-20 Травитель для полупроводниковых соединений SU670005A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2572334/25A SU670005A1 (ru) 1978-01-20 1978-01-20 Травитель для полупроводниковых соединений

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2572334/25A SU670005A1 (ru) 1978-01-20 1978-01-20 Травитель для полупроводниковых соединений

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU670005A1 true SU670005A1 (ru) 1999-11-10

Family

ID=60521017

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2572334/25A SU670005A1 (ru) 1978-01-20 1978-01-20 Травитель для полупроводниковых соединений

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU670005A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
SE7613651L (sv) Sett att framstella fenylettiksyraderivat
DK420879A (da) Letspaltelige substrater til kvantitativ bestemmelse af proteaser
IT1069080B (it) Acidi alchilammidoalcansolfonici fluorurati procedimento per produrli e composizioni che li contengono
IT1053578B (it) Procedimento per la riutilizzazione di substrati di presentazione di immagini
DK153850C (da) Anvendelse af alkylmonophosphonsyrer som korrosionsinhibitorer til sure oploesninger
DK123679A (da) Fremgangsmaade til fremstilling af carboxylpersyrer
DK148796C (da) Cephalosporansyrederivater til anvendelse som mellemprodukter ved fremstilling af andre cephalosporansyrederivater
IT7948497A0 (it) Composizioni anaerobiche stabilizzate contenenti acidi
IT1051482B (it) Emulsione acquosa stabile di i..i 2..tricloro..1..2..2..trifluoretano .. particolarmente utile come detergente
DK137533B (da) Analogifremgangsmade til fremstilling af 2-carbalkoxyaminobenzimidazolyl-5(6)-sulfonsyrephenylestere
SU670005A1 (ru) Травитель для полупроводниковых соединений
NO792126L (no) Karbazolderivater.
SE7701834L (sv) 4-hydroxi-2-kinolinon-3-karboxylsyraestrar
SE7704198L (sv) Inhibitor for sura vattenlosningar
SU521251A1 (ru) Способ получени дибензоилнафталиндикарбоновой кислоты
JPS51146248A (en) Glasses
IT1125198B (it) Procedimento per il trattamento dei residui di distillazione dei vini bianchi
JPS522540A (en) Stabilizing method for liquid crystal display
JPS51120697A (en) Mirror
DK145463C (da) Fremgangsmaade til isomerisering af 2-(4-indenyloxymethyl)morpholin-forbindelser eller syreadditionssalte deraf til syreadditionssalte af de tilsvarende 2-(7-indenyloxymethyl)morpholin-forbindelser
DK138228B (da) Indoloqvinolizylideneddikesyrealkylester til anvendelse som mellemproudkt ved (+)(-)-eburnamonin samt fremgangsmåde til fremstilling af alklesteren.
JPS5373566A (en) 7,8,9,10,-tetrahydrophenanthridone-3-acetic acids
DK232875A (da) Fremgangsmade til fremstilling af citraconsyreanhydrid
DK99504C (da) Fremgangsmåde til fremstilling af karbonsyreestere af 1-metyl-Δ<1>-androsten-17β-ol-3-on.
CA595701A (en) Method of bleaching alkyl aryl sulfonic acids