SU667810A1

SU667810A1 - Rarefied gas rate-of-flow meter

Info

Publication number: SU667810A1
Application number: SU772477217A
Authority: SU
Inventors: Евгений Ануфриевич Пенчко; Леонид Александрович Фальковский
Original assignee: Предприятие П/Я А-1614
Priority date: 1977-04-04
Filing date: 1977-04-04
Publication date: 1979-06-15

Description

Изобретение относитс к области вакуумной техники и касаетс измерени потока разреженного газа: The invention relates to the field of vacuum technology and relates to the measurement of a rarefied gas flow:

йгйИзвестно устройство, в котором величину потока разреженного газа определ ютс Tioмощью манометрического преобразовател и заслонки с приводом, установленным в трубопроводе 1. Манометрический преобразователь измер ет давление газа то с одной , то с другой стороны качающейс , заслонки . Выходной сигнал манометрическбго преобразовател состоит из двух составл ющих - посто нной, указывающей на среднее давление в вакуумной камере измерител потока, и переменной, пр мо пропорциональной потоку разреженного газа.A well-known device in which the magnitude of the rarefied gas flow is determined by Tio using a pressure transmitter and valve with a drive installed in pipe 1. A pressure sensor measures gas pressure from one side of the swing valve to one another. The output signal of a manometric transducer consists of two components, a constant, indicating the average pressure in the vacuum chamber of the flow meter, and a variable directly proportional to the rarefied gas flow.

Это устройство не обеспечивает измерени потока в щироком диапазоне походной щкале.This device does not provide flow measurement in the wide range of the walking bar.

Целью изобретени вл етс обеспечение измерени потока разреженного газа по одной щкале.The aim of the invention is to provide measurement of the flow of rarefied gas along one scale.

Поставленна цель достигаетс тем, что измеритель потока разреженного газа содержит два логарифмирующих устройства, устройство отделени и детектировани переменной составл ющей, фильтр и сумматор.This goal is achieved by the fact that the rarefied gas flow meter contains two logarithmic devices, a device for separating and detecting a variable component, a filter and an adder.

причем вход первого логарифмического устройства соединен с манометрическим преобразователем , а выход через фильтр - с первым входом сумматора и через зстройство отделени и детектировани переменной составл ющей с входом второго логарифмического устройства, выход которого подключен ко второму входу сумматора, аmoreover, the input of the first logarithmic device is connected to the pressure transmitter, and the output through the filter is connected to the first input of the adder and through the separation and detection of the variable component to the input of the second logarithmic device, the output of which is connected to the second input of the adder, and

ВЫХОД сумматора сОединен с регистрирующим прибором.The output of the adder is connected to the recording device.

На чертеже показана принципиальна The drawing shows the principal

схема предлагаемого устройства, обеспечивающего контроль потока по одной шкале с логарифмическим распределением отсчета. Устройство содержит модул тор потока и манометрический преобразователь 1, устанавливаемые в трубопроводе с измер емым потоком газа, первое логарифмическое устройство 2; устройство отделени переменной составл ющей сигнала, например, конденсатор 3; детектор-выпр митель 4 переменного сигнала в посто нный; второе логарифмическое устройство 5; устройство 6, пропускающее посто нную, но задерживающее переменную составл ющую сигнала (фильтр), например в виде йндуВДионного дроссел ; сумматор 7; регистрирующий прибор 8.the scheme of the proposed device that provides control of the flow on a single scale with a logarithmic distribution of reference. The device contains a flow modulator and a pressure gauge converter 1 installed in a pipeline with a measured gas flow, the first logarithmic device 2; a variable component separator, e.g. a capacitor 3; detector-rectifier 4 AC signal to a constant; the second logarithmic device 5; a device 6 which transmits a constant but delaying variable component of the signal (filter), for example, in the form of an inductive throttle; adder 7; recording device 8.