SU667031A1 - Способ получени плазменных потоков - Google Patents
Способ получени плазменных потоков Download PDFInfo
- Publication number
- SU667031A1 SU667031A1 SU772557395A SU2557395A SU667031A1 SU 667031 A1 SU667031 A1 SU 667031A1 SU 772557395 A SU772557395 A SU 772557395A SU 2557395 A SU2557395 A SU 2557395A SU 667031 A1 SU667031 A1 SU 667031A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- discharge
- cathode
- anode
- increase
- obtaining plasma
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
(54) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПЛАЗМЕННЫХ ПОТОКОВ
1
Изобретение относитс к способам получени плазмы различных материалов и может бить использовано в технике нанесени тонких пленок и покрытий.
Известен способ получени плазменнык потоков путем зажигани электрического разр да накаливаемым катодом и испарени материала анода i.
Но такой способ имеет малую степень ионизации плазмы и невысокую скорость испарени рабочего воцества.
Известен также способ получени плазменных потоков путем испарени и ионизации материала анода в электрическом разр де с накаливаемым катодом 2,
Однако такой способ характеризуетс небольшой величиной вводимой в разр д мощности и невысокой скоростью испарени материала анода.
Цель изобретени - увеличение подводИмой к разр ду мощности и ускорение испарени материала анода.
Поставленна цель достигаетс тем, что после зажигани разр да накал катода уменьшают и одновреме1шо увеличиваю напр жение горени {Разр да, а через некоторый промежуток времени накал катода вьпслючают.
Способ по сн етс чертежом. Дл реализации способа используют анод 1, катод 2, рабочее вещество 3, подложку 4, катушку 5 высокочастотного пол и источники 6-8 питани .
С помощью источника 7 питани нагревают катод 2 до температуры электронной эмиссии, затем включением источника 6 обеспечивают бомбардировку электронами рабочего воцества 3, в результате чего оно разогреваетс и начинает испар тьс . Напр жение источника 6 питаки увеличивают до тех пор, пока между катодом 2 и анодом 1 не зажжетс разр д в парах анода - рабочего вещества. После этого накал катойа уменьшают, а напр жение источника 6 питани увеличивают , чтобы не происходил срыв разр да. Экспериментами устанрвлеио, что разр д в парах т тана, сканди идругих метал
Claims (2)
- Формула изобретения1. Способ получения плазменных потоков путем испарения, и ионизации ма-15 териала анода в электрическом разряде с накаливаемым катодом, отличающийся тем, что, с целью увеличения подводимой к разряду мощности и увеличения скорости испарения материала 2° анода, после зажигания накал катода уменьшают и одновременно увеличивают напряжение горения разряда.
- 2. Способ поп. 1, отличаю- щ и й с я тем, что накал катода выклю25 чают.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772557395A SU667031A1 (ru) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | Способ получени плазменных потоков |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU772557395A SU667031A1 (ru) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | Способ получени плазменных потоков |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU667031A1 true SU667031A1 (ru) | 1980-02-25 |
Family
ID=20739046
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU772557395A SU667031A1 (ru) | 1977-12-19 | 1977-12-19 | Способ получени плазменных потоков |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU667031A1 (ru) |
-
1977
- 1977-12-19 SU SU772557395A patent/SU667031A1/ru active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| DE3587097D1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur materialverdampfung in einer unterdruckkammer durch bogenentladung. | |
| GB1257015A (ru) | ||
| SE8801145L (sv) | Jonplasmaelektronkanon med dosrat-styranordning via amplitudmodulering av plasmaurladdningen | |
| US4475063A (en) | Hollow cathode apparatus | |
| US4728862A (en) | A method for achieving ignition of a low voltage gas discharge device | |
| EP0211413A2 (en) | Arc ignition device | |
| SU667031A1 (ru) | Способ получени плазменных потоков | |
| JPS57194254A (en) | Cathode for insulator target in rf sputtering | |
| Janosi et al. | Controlled hollow cathode effect: new possibilities for heating low-pressure furnaces | |
| JPH051895Y2 (ru) | ||
| RU2035789C1 (ru) | Способ получения пучка ускоренных частиц в технологической вакуумной камере | |
| JPS56130466A (en) | Film forming method | |
| US1651065A (en) | Method of exhausting thermionic tubes and like devices | |
| RU170029U1 (ru) | Устройство для создания потока металлической плазмы | |
| JP2571421B2 (ja) | プラズマ浸炭熱処理炉 | |
| JPS633021B2 (ru) | ||
| Khomich et al. | Low-pressure uniform plasma generator based on hollow cathode for ion plasma technologies | |
| JPS56100126A (en) | Manufacture of amorphous silicon | |
| SU910837A1 (ru) | Устройство дл термического испарени материалов в вакууме | |
| RU735115C (ru) | Дуоплазматрон | |
| SU365804A1 (ru) | Способ термоэмиссионного нагрева детали | |
| JPS602745B2 (ja) | イオン源装置 | |
| JPS56100127A (en) | Manufacture of amorphous silicon | |
| JPS6476642A (en) | Hollow cathode | |
| SU1267819A1 (ru) | Способ нанесения покрытий в вакууме |