(54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ(54) SUPER-HIGH VACUUM VENT
Изобретение относитс к вакуумной технике, а именно к вакуумной запорной арматуре, Известен сверхвысоковакуумный вентиль содержащий клапан со штоком, резьбова часть которого с гайкой, закрепленной на корпусе, образует винтовую пару. Шток приводитс во вращение через муфту ог раничени крут щего момента электромеханическим приАодом; Величина давлени между клапаном и седлом корпуса с в резьбе винтовой пары ij. , Недостатком этого вентил вл етс отсутствие посто нства давлени , обусловленное изменением сил трени в винтовой паре.. Наиболее близок к предлагаемому изо& ретению сверхвакуумный вентиль, в корпу се которого расположены запорный орган со штоком, образующим винтовую пару с гайкой механизма привода, и узел создани усили уплотнени , выполненный в виде набора предварительно сжатьк тарельгчатых пружин, деформаци которых при уплотнении создает усилие прижати запорного органа к седлу 2. В этом вентиле постеп енный износ кромок тарельчатых пружин и уменьшение их начальной жесткости приводит к уменьшению допустимой величины изменени заданного уплотнени , что снижает надела ность вентил в работе. Белью изобретени вл етс увеличение срока службы и повышение надежности вентил в работе путем обеспечени посто нства усили уплотн1эни на клапане. Дл этого узел создани усили уплотнени выполнен механогйдравлическим с рабочей средой, например, из гидропласта, а на гайке механизма привода установлены резьбова втулка, -кинематически св з анна с Гидропластом, и муфта предельного момента, срабатывающа при закрытии запорного органа. Внутренн поверхность втулки св зана с наружной поверхностью гайки шлицевым соединением, а наружна с механизмом привода..The invention relates to vacuum technology, namely to vacuum valves. An ultrahigh vacuum valve is known, comprising a valve with a stem, the threaded part of which with a nut fixed to the housing forms a screw pair. The rod is rotated through the torque limiter clutch by electromechanical operation; The amount of pressure between the valve and the body seat with the threaded screw pair ij. The disadvantage of this valve is the lack of constant pressure due to the change in friction forces in the screw pair. It is closest to the proposed image. The retracted suction vacuum valve, in which the valve body with a stem is formed, forms a screw pair with a nut of the drive mechanism, and a compaction force assembly, made in the form of a set of precompression traction springs, whose deformation during compaction creates a force to press the valve body against the seat 2. In this valve, gradual wear of the edges of the cup springs and a decrease in their initial stiffness leads to a decrease in the allowable amount of change in the specified seal, which reduces the availability of the valve. work. The object of the invention is an increase in the service life and an increase in the reliability of the valve in operation by providing constant sealing forces on the valve. For this purpose, the compaction unit is made mechanohydraulic with a working medium, for example, of a hydraulic plastic, and on the nut of the drive mechanism there is a threaded bushing, a pneumatic connection with the hydraulic membrane, and a torque limiting clutch that is activated when the valve is closed. The inner surface of the hub is connected to the outer surface of the nut by a splined joint, and outer to the drive mechanism.