SU646705A1 - Устройство для диффузии и окисления подложек - Google Patents
Устройство для диффузии и окисления подложекInfo
- Publication number
- SU646705A1 SU646705A1 SU2469895/21A SU2469895A SU646705A1 SU 646705 A1 SU646705 A1 SU 646705A1 SU 2469895/21 A SU2469895/21 A SU 2469895/21A SU 2469895 A SU2469895 A SU 2469895A SU 646705 A1 SU646705 A1 SU 646705A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- defusing
- oxidizing substrates
- oxidizing
- substrates
- absent
- Prior art date
Links
Landscapes
- Micro-Organisms Or Cultivation Processes Thereof (AREA)
- Peptides Or Proteins (AREA)
- Medicines That Contain Protein Lipid Enzymes And Other Medicines (AREA)
Abstract
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИФФУЗИИ И ОКИСЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК, содержащее реактор с нагревателями, соединенный с системой ввода газа-реагента и инертного газа, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности глубины диффузии по подложке, реактор выполнен в виде двух коаксиальных труб, входы которых соединены соответственно с системами подачи инертного газа и газа-реагента, а выходные отверстия соединены между собой, причем на цилиндрической образующей внутренней трубы выполнены отверстия для подвода газа-реагента.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2469895/21A SU646705A1 (ru) | 1977-04-04 | 1977-04-04 | Устройство для диффузии и окисления подложек |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU2469895/21A SU646705A1 (ru) | 1977-04-04 | 1977-04-04 | Устройство для диффузии и окисления подложек |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU646705A1 true SU646705A1 (ru) | 1996-02-10 |
Family
ID=60522824
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU2469895/21A SU646705A1 (ru) | 1977-04-04 | 1977-04-04 | Устройство для диффузии и окисления подложек |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU646705A1 (ru) |
-
1977
- 1977-04-04 SU SU2469895/21A patent/SU646705A1/ru active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
AU507020B2 (en) | Diffusion device | |
AU3705778A (en) | Auxiliary device. power supply | |
SU646705A1 (ru) | Устройство для диффузии и окисления подложек | |
SU849893A1 (ru) | Вычислительная система | |
SU686454A1 (ru) | Магнитореологическая суспензия | |
SU766464A1 (ru) | Свч-прибор | |
JPS5313592A (en) | Portable oxygen inspirator | |
JPS5222482A (en) | Vmost transistor | |
SU612113A1 (ru) | Горелочное устройство | |
SU741618A1 (ru) | Центробежно-шестеренный насос | |
SU714968A1 (ru) | Свч-прибор | |
SU601986A2 (ru) | Запорное устройство | |
SU788681A1 (ru) | Способ получения водоэмульсионных силоксанакрилатных сополимеров | |
JPS51113402A (en) | Receiving amplification circuit for telephone | |
SU669877A1 (ru) | Временной дискриминатор | |
SU795390A1 (ru) | Электроразрядное устройство | |
SU845310A1 (ru) | Контактное устройство для тепломассообменных и химических процессов | |
SU674559A1 (ru) | Токопроводящая композиция | |
JPS53112378A (en) | Vibration preventing sliding body supporting device | |
SU862753A1 (ru) | Фототранзистор | |
SU818388A1 (ru) | Устройство для охлаждения | |
SU586662A1 (ru) | Способ получения биомассы | |
SU854232A1 (ru) | Рамочная антенна | |
SU850765A1 (ru) | Устройство для выращивания кристаллов | |
SU1215443A1 (ru) | Дроссельно-регулирующее устройство |