SU646705A1 - Устройство для диффузии и окисления подложек - Google Patents

Устройство для диффузии и окисления подложек

Info

Publication number
SU646705A1
SU646705A1 SU2469895/21A SU2469895A SU646705A1 SU 646705 A1 SU646705 A1 SU 646705A1 SU 2469895/21 A SU2469895/21 A SU 2469895/21A SU 2469895 A SU2469895 A SU 2469895A SU 646705 A1 SU646705 A1 SU 646705A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
defusing
oxidizing substrates
oxidizing
substrates
absent
Prior art date
Application number
SU2469895/21A
Other languages
English (en)
Inventor
А.И. Лизин
Т.В. Романова
Ю.П. Жидков
Original Assignee
Проектно-технологический и научно-исследовательский институт научно-производственного объединения "Темп"
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Проектно-технологический и научно-исследовательский институт научно-производственного объединения "Темп" filed Critical Проектно-технологический и научно-исследовательский институт научно-производственного объединения "Темп"
Priority to SU2469895/21A priority Critical patent/SU646705A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU646705A1 publication Critical patent/SU646705A1/ru

Links

Landscapes

  • Micro-Organisms Or Cultivation Processes Thereof (AREA)
  • Peptides Or Proteins (AREA)
  • Medicines That Contain Protein Lipid Enzymes And Other Medicines (AREA)

Abstract

УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДИФФУЗИИ И ОКИСЛЕНИЯ ПОДЛОЖЕК, содержащее реактор с нагревателями, соединенный с системой ввода газа-реагента и инертного газа, отличающееся тем, что, с целью повышения равномерности глубины диффузии по подложке, реактор выполнен в виде двух коаксиальных труб, входы которых соединены соответственно с системами подачи инертного газа и газа-реагента, а выходные отверстия соединены между собой, причем на цилиндрической образующей внутренней трубы выполнены отверстия для подвода газа-реагента.
SU2469895/21A 1977-04-04 1977-04-04 Устройство для диффузии и окисления подложек SU646705A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2469895/21A SU646705A1 (ru) 1977-04-04 1977-04-04 Устройство для диффузии и окисления подложек

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU2469895/21A SU646705A1 (ru) 1977-04-04 1977-04-04 Устройство для диффузии и окисления подложек

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU646705A1 true SU646705A1 (ru) 1996-02-10

Family

ID=60522824

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU2469895/21A SU646705A1 (ru) 1977-04-04 1977-04-04 Устройство для диффузии и окисления подложек

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU646705A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU507020B2 (en) Diffusion device
AU3705778A (en) Auxiliary device. power supply
SU646705A1 (ru) Устройство для диффузии и окисления подложек
SU849893A1 (ru) Вычислительная система
SU686454A1 (ru) Магнитореологическая суспензия
SU766464A1 (ru) Свч-прибор
JPS5313592A (en) Portable oxygen inspirator
JPS5222482A (en) Vmost transistor
SU612113A1 (ru) Горелочное устройство
SU741618A1 (ru) Центробежно-шестеренный насос
SU714968A1 (ru) Свч-прибор
SU601986A2 (ru) Запорное устройство
SU788681A1 (ru) Способ получения водоэмульсионных силоксанакрилатных сополимеров
JPS51113402A (en) Receiving amplification circuit for telephone
SU669877A1 (ru) Временной дискриминатор
SU795390A1 (ru) Электроразрядное устройство
SU845310A1 (ru) Контактное устройство для тепломассообменных и химических процессов
SU674559A1 (ru) Токопроводящая композиция
JPS53112378A (en) Vibration preventing sliding body supporting device
SU862753A1 (ru) Фототранзистор
SU818388A1 (ru) Устройство для охлаждения
SU586662A1 (ru) Способ получения биомассы
SU854232A1 (ru) Рамочная антенна
SU850765A1 (ru) Устройство для выращивания кристаллов
SU1215443A1 (ru) Дроссельно-регулирующее устройство