SU635441A1 - Устройство дл измерени емкости мдп-структур - Google Patents

Устройство дл измерени емкости мдп-структур

Info

Publication number
SU635441A1
SU635441A1 SU772503409A SU2503409A SU635441A1 SU 635441 A1 SU635441 A1 SU 635441A1 SU 772503409 A SU772503409 A SU 772503409A SU 2503409 A SU2503409 A SU 2503409A SU 635441 A1 SU635441 A1 SU 635441A1
Authority
SU
USSR - Soviet Union
Prior art keywords
mds
measuring arrangement
capacitance measuring
structure capacitance
arrangement
Prior art date
Application number
SU772503409A
Other languages
English (en)
Inventor
Алексей Николаевич Благодаров
Валерий Флорианович Бородзюля
Original Assignee
Ленинградский Ордена Ленина Политехнический Институт Имени М.И.Калинина
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ленинградский Ордена Ленина Политехнический Институт Имени М.И.Калинина filed Critical Ленинградский Ордена Ленина Политехнический Институт Имени М.И.Калинина
Priority to SU772503409A priority Critical patent/SU635441A1/ru
Application granted granted Critical
Publication of SU635441A1 publication Critical patent/SU635441A1/ru

Links

SU772503409A 1977-07-05 1977-07-05 Устройство дл измерени емкости мдп-структур SU635441A1 (ru)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772503409A SU635441A1 (ru) 1977-07-05 1977-07-05 Устройство дл измерени емкости мдп-структур

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
SU772503409A SU635441A1 (ru) 1977-07-05 1977-07-05 Устройство дл измерени емкости мдп-структур

Publications (1)

Publication Number Publication Date
SU635441A1 true SU635441A1 (ru) 1978-11-30

Family

ID=20716261

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
SU772503409A SU635441A1 (ru) 1977-07-05 1977-07-05 Устройство дл измерени емкости мдп-структур

Country Status (1)

Country Link
SU (1) SU635441A1 (ru)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
AU516969B2 (en) Tunnel-profile measuring machine
GB2006970B (en) Capacitance measuring device
AU3069177A (en) Inkduct
AU3347978A (en) Phenyl-benzimidazoyl-furanes
GB2006442B (en) Measuring low capacitances
AU3216278A (en) Phenylcarbamoyl-pyrazolines
AU3216478A (en) Phenylcarbamoyl-2-pyrazolines
AU3901478A (en) Pseudotrisaccharides
AU516439B2 (en) Indicating instruments
AU3239278A (en) Dithienylalkylamines
AU3401278A (en) Sipper-seal
AU3307178A (en) Chloroacetanylides
JPS53137122A (en) Capacitive recorder
AU523959B2 (en) Test materials
AU3246878A (en) Arylenedioxy-bis-diketones
SU635441A1 (ru) Устройство дл измерени емкости мдп-структур
SU637698A1 (ru) Экстензометр
AU3397178A (en) N-hydroxy-n-phosphonomethylglycines
SU654393A1 (ru) Устройство дл контрол жесткости
SU648352A2 (ru) Устройство дл шевинговани зубчатых колес
AU3360278A (en) Triazolo-thieno-diazepin-1-ones
AU3234978A (en) Carbimidocarbonylphenylformamidines
AU515042B2 (en) Capacitor structure
SU638902A1 (ru) Устройство дл измерени напр жени шума
SU634090A1 (ru) Устройство дл измерени ординат поверхности