SU621278A1 - Способ получени токового сло в плазме - Google Patents
Способ получени токового сло в плазме Download PDFInfo
- Publication number
- SU621278A1 SU621278A1 SU762425483A SU2425483A SU621278A1 SU 621278 A1 SU621278 A1 SU 621278A1 SU 762425483 A SU762425483 A SU 762425483A SU 2425483 A SU2425483 A SU 2425483A SU 621278 A1 SU621278 A1 SU 621278A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- plasma
- current
- metal
- layer
- current layer
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
С1ЮСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОКОВОГО СЛОЯ в ПЛАЗМЕ, включающий созданиеэв1ектрнческого пол , отличаю-, щ.и и с тем:^ что, с целью получени токового ютаз»4енного сло еб^шзи метагшичес'Кой поверздаости, контакти- рующ^ с плазмой, ускор ющее электрическое поле в пристеночной области создшот путем облучени поверхности световые потоком вакуумной ультрафиолетовой области спектра с энергией, болывей энергии но11изации ат(Я4ОВ, испар ющихс из металла, в пределах пристеночного токового сло .
Description
§
W
с
Изобретение относитс к области техиики получени токовых слоев в плазме и может быть использовано дл создани в плазме магнитных погрей высокой плотности и коротких импульсов электрического пол , ускор ющих плазму и частицы.
Известны способы создани нейтрального токового сло вблизи нулевых линий магнитного пол путем сближени двух ударных волн Cl}, Эти способы не позвол ют, однако, получать токовые слои с высокой плотностью энергии.
Известен способ получени токового сло в плазме, включающий создание электрического пол 2. Существующий способ не позвол ет получать токовый плазменный слой вблизи (до рассто ни 1 ым) металлических пове хностей , а следовательно, и ускор ть тонкие пристеночные плазменные слои.
Целью изобретени вл етс получение токового плазменного сло вблизи металлической поверхности, контактирующей с плазмой.
Поставленна цепь достигаетс тем, что ускор ющее электрическое Поле в пристеночной области создают путем облучени поверхности светоBKW потоком вакуумной ультрафиопетовой области спектра с энергией, большей энергии ионизации атомов, испар ющихс из металла, в пределах пристеночного токового сло .
Сущность способа по сн етс чертежом , на котором представлена схема способа получени токового сло в плазме, где 1 - металлическа пластина , 2 - токовый спой, 3 - световой поток. При контакте плазмы с поверхностью металла в пристеночной области создаетс контактна разность потенциалов плазма - металл V с отрицательным потенциалом на металле. Если плотность плазмы Ne и ее температура Т имеют Отличный от нул градиент вдоль поверхности, контактна разность потенциалов в разных участкак металлической поверхности окажетс неодинаковой, что, в свою очередь , вызовет по вление в пристеночном слое касательной составл ющей электрического пол Е. В результате в пристеночнсм слое образуетс VOKOвый слой с направлением, противоположным градиенту Т и Ке, а в металле - ток, совпадакнвдй с этим градиейтом (см.(иг. 1). Возниюше токи создают магнитные пол в плоскост х перпендикул рных току с нулевой ли- нией вблизи поверхности металла.
Возникший пристеночный ток вл етс одним из эффективных каналов устранени касательных градиентов в плазме. Дл того, чтобу этот процесс поддерживалс заданное врем , необходимо к слою подводить энергию, создающую касательную неоднсфодность плазмы.
В предлагаемом способе эту роль осуществл ет ионизируюдай световой поток, иаправл емьй на пластинку и раслределенный неравномерно вдоль ее поверхности (плотность потока должна быть больше там, где требуетс поддерживать более высокие значени Т и N). Энерги квантов светового потока должна быть вьппе энергии ионизации испар ющихс : атомов, чтобы происходала эффективна ионизаци
5 последних, т.е. необходимо использовать вакуумное ультрафиолетовое излучение . Величина потока должна быть выбрана такой, чтобы обеспечивать ионизацию испар ющихс атомов в пределах пристеночного сло .
В этих услови х может поддерживатьс необходимый градиент плазмы, создакйпнй касательное электрическое поле Е.,, и токовое поверхностное движение зар дов в Ш1а:зме,
Пример практической реализации способа состоит в следующем. В вакуумном объеме ( торр) устанавливают плоскую металлическую пласQ тинку (30x10x2 мм). Тип металла безразличен . В стороне от пластины устанавливае с твердое тело с высвёоjieHHbW внем капилл ром ф 0,5 мм, внутри которого на короткое врем
5 fl мксек) создают плотную плазму ( Р-100 атм) с те1«1ературой 40000 К. Плотна плазма образует разлетающуюс в в «суум разреженную плазму, котора при своем расщирении сталкиваетс под острьм углом с пластинкой. Эта плазма вл етс затравочной. Плотность ее и температура уменьшаютс вдоль пластинки.
Плотна плазма вл етс одновременно источником световой радиации с большим числом квантов вакуумной ультрафиолетовой области, энерги которых превьщтает энергию ионизации
паров металла. При выбранном положении источника и пластинки плотность световой энергии также уменьшаетс вдоль пластинки и находщтс
в пределах 10 - 0 вт/см, что обеспечивает ионизацию паров металла в пределах пристеночного сло толщиной в 1 мм.
/ /z/////////.
v//w//A///z:
Claims (1)
- СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ТОКОВОГО СЛОЯ В ПЛАЗМЕ, включающий создание электрического поля, отличаю-, щ.и й с я тем* что, с целью получения токового плазменного слоя вблизи металлической поверхности, контактирующей с плазмой, ускоряющее электрическое поле в пристеночной области создают путем облучения поверхности световьм потоком вакуумной ультрафиолетовой области спектра с энергией, большей энергии ионизации атомов, испаряющихся из металла, в пределах пристеночного токового слоя.ьэ м Q01 621278 >
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU762425483A SU621278A1 (ru) | 1976-12-01 | 1976-12-01 | Способ получени токового сло в плазме |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU762425483A SU621278A1 (ru) | 1976-12-01 | 1976-12-01 | Способ получени токового сло в плазме |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU621278A1 true SU621278A1 (ru) | 1982-08-15 |
Family
ID=20684890
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU762425483A SU621278A1 (ru) | 1976-12-01 | 1976-12-01 | Способ получени токового сло в плазме |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU621278A1 (ru) |
-
1976
- 1976-12-01 SU SU762425483A patent/SU621278A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
. Ptvys. Fluids, II>& 2696, 1970.Франк А.Г., Труды ФШШ, 74; 108, 1? 7 4, ^ прототип) * |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4419203A (en) | Apparatus and method for neutralizing ion beams | |
Zhurin | Industrial ion sources: Broadbeam gridless ion source technology | |
Waits | Planar magnetron sputtering | |
EP0132015B1 (en) | An ion beam machining device | |
US6120656A (en) | Topographically precise thin film coating system | |
Rossnagel et al. | Negative ion effects during magnetron and ion beam sputtering of YBa2Cu3Ox | |
GB2138449A (en) | Method for pure ion plating using magnetic fields | |
DE69602131T2 (de) | System zur Elektronstrahlabscheidung aus der Gasphase | |
FI890497A0 (fi) | Hiukkaslähde reaktiivista ionisäde-etsaus- tai plasmakerrostuslaitteistoa varten | |
US20050051517A1 (en) | Method and system for nanoscale plasma processing of objects | |
US3562142A (en) | R.f.sputter plating method and apparatus employing control of ion and electron bombardment of the plating | |
Kidd | A magnetically confined and electron cyclotron resonance heated plasma machine for coating and ion surface modification use | |
US4716340A (en) | Pre-ionization aided sputter gun | |
Keidar et al. | Magnetic field effect on the sheath thickness in plasma immersion ion implantation | |
EP0387904B1 (en) | Method of producing thin film | |
Ernst et al. | On the full-width-at-half-maximum of field ion energy distributions | |
SU621278A1 (ru) | Способ получени токового сло в плазме | |
EP0463303A2 (en) | Apparatus for ion-plasma machining workpiece surfaces | |
KR930001317A (ko) | 박막(薄膜) 형성장치 및 박막 형성 방법 | |
Siekmann et al. | VUV-photoelectron spectroscopy on lead clusters deposited from the pulsed arc cluster ion source (PACIS) | |
Metel et al. | Role of electrostatic and magnetic electron confinement in a hollow-cathode glow discharge in a nonuniform magnetic field | |
JPS5720920A (en) | Magnetic recording medium and its manufacture | |
Bilek et al. | The effects of transmission through a magnetic filter on the ion charge state distribution of a cathodic vacuum arc plasma | |
JPS56121629A (en) | Film forming method | |
Petrov | Characteristics of steady-state plasma flow in the tokamak limiter scrape-off layer |