SU602796A1 - Термометр сопротивлени - Google Patents

Description

(54) ТЕРМОМЕТР СОПРОТИВЛЕНИЯ

Claims (2)

1. Изобретение относитс  к области температур ных измерений, а именно к пленочным термометрам сопротивлени . Известны термометры сопротивлени , чувстви тельный элемент которых вьшолнен из высокоомного кремни , легированного золотом 1 . Они имеют высокую чувствительность, однако их недостатком  вл етс  нелинейна  зависимость сопротив лени  от температуры в широком диапазоне температур . Из известных термометров сопротивлени  наи более близким по технической сущности к предлагаемому  вл етс  пленочный термометр сопротивлени  2, чувствительный элемент которого выполнен в виде монокристаллических слоев твердых растворов Ge+Si. Однако такой термометр отличаетс  недостаточно широким диапазоном измер емых температур . Целью изобретени   вл етс  расширение температурного диапазона измерений. Цель достигаетс  тем, что в предлагаемом тер мометре элемент выполнен из гетерозпитаксиально структуры кремний на сапфире. Конструктивно термометр сопротивлени  выполнен в виде диэлектрической подложки с контактными площадками, на которую метЪдом эпитаксиального осаждени  нанесена пленка кремни . Термометр сопротивлени  имеет линейную зависимость сопротивлени  от температурь в интервале температур от -100 до +400° С. Область измерени  температур простираетс  до -200° С. Удельное сопротивление гетероэпитаксиальной структуры лежит в пределах 0,0007 - 0,007 Ом-см. При изготовлении термометра сопротивлени  из материала с удельным сопротивлением выше 0,007 ОмСМ по вл етс  нелинейность в его характеристике . Вел1тчшт номинального сопротивлени  термометра может измен тьс  в 1Ш1роких пределах от 100 Ом до 10 кОм и определ етс  заданной чувствительностью , необходимой точностью измерени , услови ми теплоотвода. Например, при сопротивлении термометра, равном 5 кОм и напр жении питани  5 В его чувствительность составл ет 2,5 мВ/градус при точности измерени  0,5° С. 3 Термометр сопротивлени  стоек к радиащюниому излучению. Его удельное сопротивление не измен етс  вплоть до доз облучени  5 10 нейтронов/см . Вьшрлнение чувствительного злемента термо- s метра из структуры кремний на сапфире позвол ет использовать при изготовлении термометра сопротивлени  хорошо отработанную технологию изготовлени  кремниевых приборов и микросхем. Мала  толщина эпитаксиальной пленки кремни  л/1 мкм ю позвол ет изготавливать термометры сопротивлений с любым начальным сопротивлением и размерами. не превышающими 1 1 6027 96 4 Формула изобретени  Термометр сопротивлени , содержащий чувствительный злемент в виде пленки, нанесенной на диэлектрическую подпо ску, отличающий с   тем, что, с целью расширени  температурного диапазона измерений, чувствительный злемент выполней из гетерозпитаксиальной структуры кремний на сапфире. Источники информации, прин тые во внимание призкспертизе: i. Патент США М 3292129, кл. 338-22, 1966.
2. 2. Авторское свидетельство СССР М 478202 кл. G 01 К 7/16, 1973.