SU584208A1 - Сильфонный манометр - Google Patents

Description

Точность измерений этим манометром ограничена из-за нелинейности характеристик нружин , неточности измерени  неремещений наружного конца штока и- остаточной деформации цружин.

Дл  повышени  точности измерений в предлагаемом сильфонном манометре компенсирующее устройство выполнено в виде управл емых через сальниковые вводы программных кулачковых механизмов с набором гирь дл  уравновешивани  измер емого давлени  и этажерки с вырезами дл  гирь, подвешенной к сильфонам с помощью механизма перемещени  точки подвеса.

Применение такого компенсирующего устройства позвол ет уравновешивать измер емое давление гир ми с точностью, на 2-3 пор дка превышающей точность известных сильфонных манометров.

На приведенном чертеже изображен общий вид предложенного сильфонного манометра.

Сильфонный манометр включает в себ  сильфон - чувствительный элемент 1, вспомогательный сильфОн 2 и конденсатор 3, св занные т гой 4 и укрепленные в корпусе 5. Подвижна  обкладка 6 конденсатора 3 - стекл нный диск, три сектора которого покрыты слоем серебра. Сектора электрически изолированы друг от друга и имеют самосто тельные электровводы. С т гой 4 рычагами 7 св зан механизм 8 дл  перемещени  точки подвеса этажерки 9. Этажерка 9 изготовлена в виде тонкого стержн  с поперечными (перпендикул рно плоскости чертежа) планками 10 с вырезами . Пад планками 10 на программных кулачковых механизмах 11 подвешены гири 12. Программные механизмы 11 включают в себ  управл ющие валики 13, выведенные из вакуумного кожуха 14 через сальниковые уплотнени  15. Измер емое давление подают по трубке 16.

Попадание гирь 12 в вырезы планок 10 обеспечиваетс  при монтаже перемещением втулок 17 и рычагов 18 кулачковых механизмов И.

При работе прибора полость кожуха 14 и св занную с ней полость сильфона 2 откачивают . Измер емое давление раст гивает сильфон 1. При этом измен етс  емкость конденсатора 3, измер ема  вторичным прибором. Дл  возвращени  сильфонов 1 и 2 в исходное положение поворачивают вокруг оси валики 13. При этом кулачковые механизмы И укладывают гири в вырезы планок 10, нагружа  тем самым этажерку 9 и уравновешива  силу измер емого давлени . В момент равновеси  сил емкость конденсатора 3 возвращаетс  к своему исходному значению. Вес гирь 12, требующихс  дл  уравновешивани , служит мерой давлени .

Отсутствие нежелательных изгибающих моментов при уравновешивании сил провер ют по значени м емкостей секторов конденсатора 3, которые также должны оставатьс  равными исходным. Этого равенства добиваютс  при настройке манометра, перемеша  точку подвеса этажерки 9 механизмом 8. Механизм 8 позвол ет перемещать точку подвеса в двух взаимно перпендикул рных направлени х в плоскости , перпендикул рной плоскости чертежа.

Уравновешивание сил давлени  гир ми в совокупности с правильным выбором точки подвеса этажерки 9 обеспечивает точность измерений в пределах стабильности нулевого положени  сильфонов. Погрешность прибора составл ет ±0,03% на уровне давлений 100- 1000 Па, что на 1-2 пор дка выше точности образцовых и эталонных приборов на тот же диапазон давлений.

Claims (2)

1.Востров и др. Вакуумметры, Машиностроение , Л., 1959, с. 50.

2.Гершаник А, П. и др. Сильфонный вакуумметр повышенной точности, ж. «Физическа  хими , jYo 1, 1975, с. 256.