SU575513A1

SU575513A1 - Pressure sensor

Info

Publication number: SU575513A1
Application number: SU7602316930A
Authority: SU
Inventors: Владимир Николаевич Черняев; Николай Иванович Газеев
Original assignee: Московский авиационный технологический институт им. К.Э.Циолковского
Priority date: 1976-01-27
Filing date: 1976-01-27
Publication date: 1977-10-05

Description

(54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ(54) PRESSURE SENSOR

1one

Изобретение относитс к контропьно-измрйтельной технике и предназначено дл измрений давпени в области высоких температур . ,The invention relates to a counter-measuring technique and is intended to measure pressure in a high temperature region. ,

Известны датчики давлени , испопьзук щие механические перемеще 1и эпектродов в вакуумированном приборе Ш.Pressure sensors are known that use mechanical displacement of 1 and electrode in an evacuated instrument Sh.

Однако они включают большое число деталей , что снижает их надежность.However, they include a large number of parts, which reduces their reliability.

Наиболее близким к изобретению вп етс устройство, содержащее корпус с неподвижным электродом и мембрану с подвижнь1м электродом. Один из электродов снабжен источником альфа-част1щ, создающи ионный электрический ток между электродами . Под действием давлени , которое подаетс во внутреннюю полость корпуса, мембрана прогибаетс наружу, рассто ние между электродами мен етс , что приводит к именению ионного тока, который измер етс прибором в цепи электродов 2 .Closest to the invention is a device comprising a housing with a fixed electrode and a membrane with a movable electrode. One of the electrodes is supplied with a source of alpha-part1, creating an ionic electric current between the electrodes. Under the action of pressure, which is fed into the internal cavity of the housing, the membrane bends outward, the distance between the electrodes changes, which leads to the naming of the ion current, which is measured by the device in the circuit of the electrodes 2.

Однако такие приборы чувствительны к изменению температуры, что исключает возможность их применени при высоких температурах .However, such devices are sensitive to temperature changes, which excludes the possibility of their use at high temperatures.

Цель изобретени -расширение диапазона рабочих температур устройства.The purpose of the invention is to expand the operating temperature range of the device.

Дл этого неподвижный электрод снабже нагревателем, а внутренн полость вакуумирована .For this, the stationary electrode is supplied with a heater, and the internal cavity is evacuated.

На фиг. 1 схематические изоб1 ажено преложенное устройство в разрезе: на фиг. 2 разрез А-А фиг. 1.FIG. 1 is a schematic illustration of the proposed device in section: FIG. 2, section A-A of FIG. one.

Датчик давлени содержит корпус 1, мембрану 2, анод 3, катод 4, нагреватель 5, токопроводы 6, электрические контакты 7 и подложку 8. Мембрана с тонкопленочным анодом и токопроводом, соедин ющим анод с электрическим контактом, запа на в корпус, где на подложке размешен тонкопленочный нагреватель, закрытый сверху оксидным пленочным катодом. Нагреватель и катод соединены токопроиодами с двум другими электрическими контактами.The pressure sensor comprises a housing 1, a membrane 2, an anode 3, a cathode 4, a heater 5, conductors 6, electrical contacts 7 and a substrate 8. A membrane with a thin-film anode and a conductor connecting the anode with an electrical contact, sealed in the housing where placed thin film heater, closed on top of the oxide film cathode. The heater and the cathode are connected by current leads to two other electrical contacts.

Прибор действует следующим образом.The device operates as follows.

При включении электрических контактов в соответствующие цепи между анодом и катодом.протекает электрический ток, завис щий от рассто ни анодом и катодом .When electrical contacts are switched to the corresponding circuits between the anode and the cathode, an electric current flows depending on the distance between the anode and the cathode.

Давлет не окружающей соецы создайт прнгиб мембраны, что приводит к изменению указанного рассто ни соответствующему изменению электрического тока. Поскольку межэлектродное рассто ние вакуумировано , прибор измер ет абсолютное давление .A non-ambient pressure is created by membrane membrane, which leads to a change in the indicated distance to a corresponding change in the electric current. Since the interelectrode distance is evacuated, the instrument measures absolute pressure.

формула изобретени invention formula

Датчик давлени , содержащий корнус с неподвижным электродом и мембрану с под вижным электродом, о т л и ч а ю ш и i с тем, что, с целью расширени диапазона рабочих температур, неподвижный электрид снабжен подогревателегчд, а внутренн полость вакуумирована,A pressure sensor containing a fixed-electrode cornus and a membrane with a sub-electrode, which is so that, in order to expand the range of operating temperatures, the fixed electride is equipped with a heated light and the internal cavity is evacuated,

Ист ччники информации, прин тые во вни .мание при экспертизе:The sources of information taken into consideration during examination:

1,Берлин Г. С. Электронные приборы с механическими управл емыми электродами1, Berlin G.S. Electronic devices with mechanical controlled electrodes

М., Энерги , 1971, с. 106.M., Energie, 1971, p. 106

2,Авторское свидетельство СССР кл, G 01 U 21/36, № 84118, 1949.2, USSR USSR Copyright Certificate, G 01 U 21/36, No. 84118, 1949.