SU574044A1 - Способ изготовлени микрофильтров - Google Patents

Description

i Изобретение относитс  к использованию ноиизирующих излучений в технологии .

Известил способы изготовлени  teiKрофильтров .

Ближайшим техническим решением  вл етс  известный способ изготовлени  микрофильтров, заключающийс  в том, что полимерную цпенку облучают пучком т желых ионов и производ т травление , в результате чего в ппенке образуютс  ьмкроканалы.

. В известном техническом решении используют осколки делени  атомных  дер и т желые ионы, полученные на соответствующем ускорителе.

ИспользованиеjocKonKOB далега1  атомных  дер обусловливает образование неоднородных по диаметру ««кроканалов , а кроме того, невозможно использовать пленки с толвщной, большей чем пробег осколков делени .

В случае использовани  пучка т желш ионов, полученного на ускорителе , указанмие недостатки частично устран ютс , однако существует значительна  веро тность перекрывани  микСП роканалов, образованных в результате

падени  на один и тот же участок .

4 пленки нескольких частиц, что 1фиводит также к  еоднородиости площади сечени  микроканалов, ухудавающей качество никрофипьтров.

Цель изобретени  заключаетс  в том, чтобы повысить качество ьикрофильтров .

Поставленна  цель достигаетс  тем, что пучок т желых ионов направл ют под непрерывно измен ющимс  в заданном интервале углом к поверхности пленки.

Способ .реализуют следующим образом .

Поуоимерну ю пленку из лавсана, пог ликарбоната и других полимеров, ре гистрирукщих зар женные частицы, облучают пучком ионов с определенной энергией при непрерывном изменении в заданном ннтервале угла падени  пучка на поверхность пленки Материал облучаемой пленки, ее толщину и тип ионов выбирают таким образам, чтобы удельные потери знергин выбранного типа ионов при прохождении через полимер щ евышали величину критических потерь энергии данного типа ионов в

выбранном материале. После облучени  полимерна  пленка травитс  в выбранном травителе, который удал ет деструктированный вдоль трека материал, Щ)И этом образуютс  сквозные цилиндрические микроканалы с существенно однородным диаметром ) по всей длине канала. Непрерывное изменение угла падени  позвол ет устранить перекрытие каналов, а выбор, углового интервала углов падени  - более зффективно использовать ускоритель т желых ионов.

Claims (1)

154) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОФИЛЬТРОВ, заключающийся в том, что лолимерную пленку облучают пучком тяжёлых Ионов и производят травление, отличающийся тем, что, с целью повышения качества микрофильтров, пучок тяжелых ионов направляют под непрерывно изменяющимся в заданном интервале углом к поверхности пленки.