SU574044A1 - Способ изготовлени микрофильтров - Google Patents
Способ изготовлени микрофильтров Download PDFInfo
- Publication number
- SU574044A1 SU574044A1 SU742054365A SU2054365A SU574044A1 SU 574044 A1 SU574044 A1 SU 574044A1 SU 742054365 A SU742054365 A SU 742054365A SU 2054365 A SU2054365 A SU 2054365A SU 574044 A1 SU574044 A1 SU 574044A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- microfilters
- ions
- film
- irradiated
- heavy
- Prior art date
Links
Landscapes
- Measurement Of Radiation (AREA)
Description
i Изобретение относитс к использованию ноиизирующих излучений в технологии .
Известил способы изготовлени teiKрофильтров .
Ближайшим техническим решением вл етс известный способ изготовлени микрофильтров, заключающийс в том, что полимерную цпенку облучают пучком т желых ионов и производ т травление , в результате чего в ппенке образуютс ьмкроканалы.
. В известном техническом решении используют осколки делени атомных дер и т желые ионы, полученные на соответствующем ускорителе.
ИспользованиеjocKonKOB далега1 атомных дер обусловливает образование неоднородных по диаметру ««кроканалов , а кроме того, невозможно использовать пленки с толвщной, большей чем пробег осколков делени .
В случае использовани пучка т желш ионов, полученного на ускорителе , указанмие недостатки частично устран ютс , однако существует значительна веро тность перекрывани микСП роканалов, образованных в результате
падени на один и тот же участок .
4 пленки нескольких частиц, что 1фиводит также к еоднородиости площади сечени микроканалов, ухудавающей качество никрофипьтров.
Цель изобретени заключаетс в том, чтобы повысить качество ьикрофильтров .
Поставленна цель достигаетс тем, что пучок т желых ионов направл ют под непрерывно измен ющимс в заданном интервале углом к поверхности пленки.
Способ .реализуют следующим образом .
Поуоимерну ю пленку из лавсана, пог ликарбоната и других полимеров, ре гистрирукщих зар женные частицы, облучают пучком ионов с определенной энергией при непрерывном изменении в заданном ннтервале угла падени пучка на поверхность пленки Материал облучаемой пленки, ее толщину и тип ионов выбирают таким образам, чтобы удельные потери знергин выбранного типа ионов при прохождении через полимер щ евышали величину критических потерь энергии данного типа ионов в
выбранном материале. После облучени полимерна пленка травитс в выбранном травителе, который удал ет деструктированный вдоль трека материал, Щ)И этом образуютс сквозные цилиндрические микроканалы с существенно однородным диаметром ) по всей длине канала. Непрерывное изменение угла падени позвол ет устранить перекрытие каналов, а выбор, углового интервала углов падени - более зффективно использовать ускоритель т желых ионов.
Claims (1)
154) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МИКРОФИЛЬТРОВ, заключающийся в том, что лолимерную пленку облучают пучком тяжёлых Ионов и производят травление, отличающийся тем, что, с целью повышения качества микрофильтров, пучок тяжелых ионов направляют под непрерывно изменяющимся в заданном интервале углом к поверхности пленки.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU742054365A SU574044A1 (ru) | 1974-08-15 | 1974-08-15 | Способ изготовлени микрофильтров |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
SU742054365A SU574044A1 (ru) | 1974-08-15 | 1974-08-15 | Способ изготовлени микрофильтров |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
SU574044A1 true SU574044A1 (ru) | 1991-02-15 |
Family
ID=20594331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
SU742054365A SU574044A1 (ru) | 1974-08-15 | 1974-08-15 | Способ изготовлени микрофильтров |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
SU (1) | SU574044A1 (ru) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0732705A1 (fr) * | 1995-03-14 | 1996-09-18 | Commissariat A L'energie Atomique | Dispositif de microcollimation de particules, détecteur et procédé de détection de particules, procédé de fabrication et utilisation dudit dispositif de microcollimation |
WO1997005580A1 (en) | 1995-08-01 | 1997-02-13 | Boris Iliich Belousov | Tape data carrier, method and device for manufacturing the same |
-
1974
- 1974-08-15 SU SU742054365A patent/SU574044A1/ru active
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
Патент US 9 3335278, кл. 250-83.1, опублик. 1963.Патент US » 3303085, кл, 161-109, опублнк. 1962.Т54)(57>& СШеОВ ИЗГОТОВЛЕ1НЯ ЖКРО- ФИЛЬТРОВ, эаключаю1Щ1йс в том, что <полнмерную пленку облучают пучком т жёлых Ионов и производ т травление, отличающийс тем, что, с целью повьшени качества микро^ильтров, пучок т желых ионов направл ют под непрерывно измен ющимс в заданном интервале углом к поверхности пленки. * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0732705A1 (fr) * | 1995-03-14 | 1996-09-18 | Commissariat A L'energie Atomique | Dispositif de microcollimation de particules, détecteur et procédé de détection de particules, procédé de fabrication et utilisation dudit dispositif de microcollimation |
FR2731832A1 (fr) * | 1995-03-14 | 1996-09-20 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif de microcollimation de particules, detecteur et procede de detection de particules, procede de fabrication et utilisation dudit dispositif de microcollimation |
WO1997005580A1 (en) | 1995-08-01 | 1997-02-13 | Boris Iliich Belousov | Tape data carrier, method and device for manufacturing the same |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Bethge et al. | Elastic scattering of lithium nuclei | |
Fischer et al. | Production and use of nuclear tracks: imprinting structure on solids | |
McCargo et al. | Range of Xe133 and Ar41 ions of keV energies in tungsten | |
Buenerd et al. | Elastic and inelastic scattering of 1.03 GeV 12C projectiles | |
US5045439A (en) | Process for the lithographic manufacture of electroformable microstructures having a triangular or trapezoidal cross-section | |
SU574044A1 (ru) | Способ изготовлени микрофильтров | |
Tolk et al. | Strong Optical Polarization Effects in Radiation from Low-Energy Na+-Ne Collisions | |
Mazzei et al. | Radiation grafting studies of acrylic acid onto cellulose triacetate membranes | |
DE3046629A1 (de) | Verfahren zur herstellung von isolatoroberflaechen | |
Nuryanthi et al. | Poly (vinylidene fluoride)-based ion track membranes with different pore diameters and shapes. SEM observations and conductometric analysis | |
DE60044140D1 (de) | Bestrahlungsverfahren mit konstanten tiefe/dosisprofil | |
Ashton et al. | Search for quarks using a flash tube chamber | |
Durrani et al. | Electrochemical etching studies of the CR-39 plastic | |
RU2047285C1 (ru) | Способ изготовления трековых мембран | |
Heusch et al. | A Čerenkov shower counter | |
Hassib et al. | Neutron energy dependence of different track etch detectors | |
RU2054302C1 (ru) | Способ изготовления фильтрующего материала | |
Nuryanthi et al. | Applied-voltage dependence on conductometric track etching of poly (vinylidene fluoride) films | |
Perez et al. | Background reduction in the Forward RICH detector of DELPHI | |
Tretyakova et al. | A STUDY OF THE REGISTRATION | |
Barutcugil et al. | Angular distributions of fragments in the fission of uranium and thorium near the (n, 2n′ f) threshold | |
Mayo et al. | Interaction of deuterons with O16 and Ni58 | |
Ranft | Angular distribution of secondary particles in the thermodynamic model | |
Kanasaki et al. | Sensitization effect of carbon dioxide treatment on CR-39 track detectors for protons and heavy ions | |
SU1141629A1 (ru) | Способ получени пористых микрофильтров и устройство дл его осуществлени |