SU529384A1

SU529384A1 - Pressure sensor

Info

Publication number: SU529384A1
Application number: SU2131787A
Authority: SU
Inventors: Генрих Антонович Макаревич; Галина Сергеевна Лисенкова
Original assignee: Предприятие П/Я М-5539
Priority date: 1975-04-25
Filing date: 1975-04-25
Publication date: 1976-09-25

Description

(54) ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ(54) PRESSURE SENSOR

1one

Изобретение относитс к контрольно-измерительной технике , в частности к пьезоэлектрическим датчикам давлени .The invention relates to instrumentation engineering, in particular to piezoelectric pressure sensors.

Известны датчики давлени с закрепленными внутри корпуса волноводчыми стержн ми, демп фирующими собственные колебани чувствительной к давлению пьезоэлектрической пластинки, торцова поверхность которой расположена заподлицо в отверстии торца корпуса и закрыта тонкой мембранной, защищающей боковую поверхность пье зопластинки от действи измер емого давлени 1 . Эти датчики недостаточно точно воспроизвод т форму импульса действующего на датчик давлени , что обусловлено тепловым вли нием исследуемой среды.Pressure sensors are known with waveguide rods fixed inside the housing, damping natural oscillations of the pressure-sensitive piezoelectric plate, the end surface of which is located flush in the opening of the housing face and closed with a thin membrane protecting the side surface of the piezoelectric plate from the action of measured pressure 1. These sensors do not accurately reproduce the shape of the pulse acting on the pressure sensor, which is due to the thermal effect of the medium under study.

Известны также датчики давлени , содержащие цилиндрический корпус с отверстием в центре торца и установленным в нем заподлицо скрепленным с волноводным стержнем чувствительным: элементом в виде соедга1енных между собой наружного теплозащитного элемента и пьезоэлектрической плпстинки, и герметично сое/хиненную с корпусом и чувствительным элементом мембрану, размещенную снаружи корпуса 2. Однако сигнал этих Pressure sensors are also known that contain a cylindrical body with a hole in the center of the end and a sensitive sensor fixed to it flush with the waveguide rod: an element in the form of an external heat shield connected to each other and a piezoelectric plastics, and a membrane sealed to the body and the sensitive element outside the housing 2. However, the signal of these

датчиков искажен вли нием вибраций корпуса, переданных пьезоэлектрической пластинке.The sensors are distorted due to the body vibrations transmitted by the piezoelectric plate.

Дл уменьщенн вли ни вибраций на результаты измерений в предлагаемом устройстве мем- брана размещена; внутри корпуса и ее центральна часть расположена между теплозащитным элементом и пьезоэлектрической пластинкой.To reduce the influence of vibrations on the measurement results in the proposed device, the membrane is placed; inside the case and its central part is located between the heat-shielding element and the piezoelectric plate.

На чертеже изображен общий вид предлагаемого датчика давлени , разрез.The drawing shows a general view of the proposed pressure sensor, a slit.

Внутри цилиндрического корпуса 1 датчика в изол торе 2 закреплен волноводный стержень 3. С торцом стержн скреплен чувствительный элемент в виде соединенных между собой наружного теплозащитного элемента 4 и пьезоэлектрической пластинки 5. Изол тор 2 заключен в металлическую втулку 6, служащую токопроводом и экраном, котора закреплена в корпусе при помощи эпоксидного кле и направл ющей втулки 7. С втулкой 6 наружный электрод пьезоэлектрической пластинки 5 соединен при помощи тонкой проволоки 8. К пьезоэлектрическсй пластинке 5 припа н теплозащитный элемент 4 в виде керамической пластинки того же размера в плане; между пластинкой 5 и элементом 4 зажата мембрана 9 из эластичного материала, например фторопласта с пырсК1М вA waveguide rod 3 is fixed inside the cylindrical body 1 of the sensor in the insulator 2. The sensor element is fastened with the end of the rod in the form of an external heat shield 4 and a piezoelectric plate 5 interconnected. in the housing with an epoxy adhesive and a guide sleeve 7. With the sleeve 6, the outer electrode of the piezoelectric plate 5 is connected with a thin wire 8. To the piezoelectric plate 5 is attached lozaschitny element 4 in the form of a ceramic plate of the same size in plan; between the plate 5 and the element 4, a membrane 9 is clamped of an elastic material, for example, a fluoroplastic with pyrc1M in